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公開番号2025069081
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-30
出願番号2024175940
出願日2024-10-07
発明の名称ポンプ
出願人プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250422BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】より経済的で、よりコンパクトで、そして汎用性のより高いポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ10であって、ステータとロータ149とを備え、ステータとロータとが相俟ってポンプ段26を形成し、ポンプ段は、ポンプハウジング14内に配置されていて、回転軸線151は、軸方向を規定し、ポンプハウジングは、ポンプ吸気口115とポンプ排気口117とを規定し、ポンプ排気口は、軸方向に見て、回転軸線に対して側方にずらして形成されていて、ポンプ吸気口は、少なくとも1つの吸気口開口14を有し、吸気口開口は、吸気口平面18を規定し、ポンプ排気口は、排気口開口16を有し、排気口開口は、排気口平面20を規定し、吸気口平面と排気口平面とは、同一平面又は平行の平面である、又は吸気口平面と排気口平面とは、90°より大きく180°より小さい角度40を形成する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプ（１１１）であって、
少なくとも１つのステータ要素を有するステータと、
モータ（１２５）によって回転軸線（１５１）を中心に回転駆動可能な、少なくとも１つのロータ要素（１２）を有するロータ（１４９）と、
を備え、
前記ステータと前記ロータ（１４９）とが相俟ってポンプ段（２６）を形成し、前記ポンプ段（２６）は、ポンプハウジング（１４）内に配置されていて、
前記回転軸線（１５１）は、軸方向を規定し、前記ポンプハウジング（１４）は、ポンプ吸気口（１１５）と少なくとも１つのポンプ排気口（１１７）とを規定し、
少なくとも１つのポンプ排気口（１１７）は、軸方向に見て、回転軸線（１５１）に対して側方にずらして形成されていて、
前記ポンプ吸気口（１１５）は、少なくとも１つの吸気口開口（１４）、特に正確に１つの吸気口開口（１４）を有し、前記吸気口開口（１４）は、吸気口平面（１８）を規定し、少なくとも１つの前記ポンプ排気口（１１７）は、少なくとも１つの排気口開口（１６）、特に正確に１つの排気口開口（１６）を有し、前記排気口開口（１６）は、排気口平面（２０）を規定し、
前記吸気口平面（１８）と前記排気口平面（２０）とは、同一平面又は平行の平面である、又は前記吸気口平面（１８）と前記排気口平面（２０）とは、９０°より大きく１８０°より小さい角度（４０）を形成する、ポンプ（１０）。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記吸気口平面（１８）及び／又は排気口平面（２０）は、軸方向に対して垂直に位置する、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項３】
前記ポンプ排気口（１１７）は、前記ポンプ（１０）の側方から見て、流体の流れ（２２）の流入方向（２４）に関して、吸気口側で第１のポンプ段（２６）の上方に又は吸気口側で第１のポンプ段（２６）の領域に配置されている、請求項１又は２に記載のポンプ（１０）。
【請求項４】
少なくとも１つの前記ポンプ排気口（１１７）は、正確に１つの排気口開口（１６）、正確に２つの排気口開口（１６ａ、１６ｂ）又は３つ以上の排気口開口（１６）を有する、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項５】
前記ポンプ（１０）は、０．０１ｍｂａｒと１００ｍｂａｒとの間、特に１ｍｂａｒと１０ｍｂａｒとの間の圧力範囲で作動可能である、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項６】
前記ロータ（１４９）は、４つ以下のロータ要素（１２）、特に動翼（１５５）を有する、及び／又は前記ステータは、４つ以下のステータ要素、特に静翼（１５７）を有する、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項７】
前記ポンプ（１０）は、空気冷却部だけを有し、特に前記ポンプハウジング（１４）は、前記ポンプハウジングから離反して延在する複数の冷却要素、特に冷却フィン（５０）及び／又は冷却ピンを有する、及び／又は前記ポンプ（１０）は、能動的な冷却部を有する、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項８】
前記ポンプ（１０）は、単流ポンプである、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項９】
前記ポンプ（１０）は、少なくとも１つのサイドチャネル、少なくとも１つのホルベック段及び／又は少なくとも１つのジークバーン段を有する、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
【請求項１０】
前記ポンプ吸気口（１１５）は、吸気口面（２８）を有し、少なくとも１つの前記ポンプ排気口（１１７）は、排気口面（３０）を有し、
前記排気口面（３０）は、前記吸気口面（２８）の１００％以上、２００％以上、３００％以上、４００％以上又は５００％以上である、先行請求項の少なくともいずれか一項に記載のポンプ（１０）。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ、特にターボ分子ポンプに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
多くのタイプのポンプ、特にターボ分子ポンプは、ステータと、電気モータによって回転軸線を中心に回転駆動可能なロータとを有し、ステータ及びロータは、ポンプのハウジング内に配置されている。ハウジングは、１つ又は複数の吸気口と１つ又は複数の排気口とを規定する。
【０００３】
ポンプは、流体をポンプ吸気口からポンプ排気口へ圧送するために使用され、これにより、ポンプのハウジングを通る流体の流れが形成される。流体は、気体又は液体であってよい。気体又は液体は、例えば、吸気口に接続されたレシピエントに真空を作り出すために使用される。しかも、ポンプの吸気口圧力が排気口圧力とほぼ完全に同じ大きさである用途も考えられる。これにより、流体は、吸気口に流体技術的に接続された構成要素及び／又は排気口に流体技術的に接続された構成要素を通って圧送してもよい。構成要素は、顧客側で用意される。
【０００４】
顧客側の構成要素は、例えば計測装置のチャンバ等であってよい。ポンプの作動時に作用する吸気口及び／又は排気口の圧力は、例えば低真空の上側の範囲と中真空の中央の範囲との間の範囲にあってよい。
【０００５】
顧客の用途に応じて、ポンプに異なる要求が課されている。例えば、多くの場合、ポンプは可能な限りコンパクトで経済的であることが望ましい。ただし同時に、ポンプは、高出力で長寿命であるべきである。
【０００６】
さらに、ポンプの吸気口及び排気口は、通常、可能な限り良好にアクセス可能であるべきであるので、ポンプは、複雑でない形態で、顧客の構造物の構成要素に接続されてよい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の課題は、より経済的で、よりコンパクトで、そして汎用性のより高いポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題は、本発明によれば、請求項１の特徴によって解決される。
【０００９】
特に、課題は、ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも１つのステータ要素を有するステータと、モータによって回転軸線を中心に回転駆動可能な、少なくとも１つのロータ要素を有するロータと、を備え、ステータとロータとが相俟ってポンプ段を形成し、ポンプ段は、ポンプハウジング内に配置されている、ポンプによって解決される。回転軸線は、軸方向を規定し、ポンプハウジングは、ポンプ吸気口と少なくとも１つのポンプ排気口とを規定する。
【００１０】
少なくとも１つのポンプ排気口は、軸方向に見て、回転軸線に対して側方にずらして形成されている。換言すると、吸気口の中心と排気口の中心とは、軸方向に見て重畳するのではなく、相並んで位置し、これにより、多くの構造物へのポンプの組み込みが簡単になる。
（【００１１】以降は省略されています）

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