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公開番号2025071683
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-08
出願番号2023182064
出願日2023-10-23
発明の名称熱処理設備
出願人大同特殊鋼株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類F27B 9/02 20060101AFI20250428BHJP(炉,キルン,窯;レトルト)
要約【課題】熱処理チャンバの設置間隔を抑えてスペース効率ならびに被処理物の搬送効率を高く維持しつつ、ロール交換のスペースも確保することができる熱処理設備を提供する。
【解決手段】熱処理設備1は、搬送軌道5に沿って配置され被処理物Wを支持し搬送するロール54が設けられた複数の熱処理チャンバ12と、被処理物Wを支持し搬送するロール84が設けられた搬送用チャンバ60を有するとともに、搬送軌道5に沿って移動し、熱処理チャンバ12との間での被処理物Wの受渡しを行う搬送ユニット20と、を備える。熱処理設備1は、熱処理チャンバ12を、搬送ユニット20に対して接近および離間する接近離間方向に移動させる第一の熱処理チャンバ移動手段を備えている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
搬送軌道に沿って配置され、被処理物を支持し搬送するロールが設けられた複数の熱処理チャンバと、
前記被処理物を支持し搬送するロールが設けられた搬送用チャンバを有するとともに、前記搬送軌道に沿って移動し、前記熱処理チャンバとの間での前記被処理物の受渡しを行う搬送ユニットと、
を備えた熱処理設備であって、
前記熱処理チャンバを、前記搬送ユニットに対して接近および離間する接近離間方向に移動させる第一の熱処理チャンバ移動手段を備えている、熱処理設備。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
上下方向に移動し、前記熱処理チャンバの開口部および／または前記搬送用チャンバの開口部を開閉するゲート扉と、
該ゲート扉の下方に配置され、前記ゲート扉が上昇した状態において前記被処理物の搬送高さまで上昇し、前記被処理物の搬送をサポートとするサポートロールと、
が設けられている、請求項１に記載の熱処理設備。
【請求項３】
前記第一の熱処理チャンバ移動手段は、前記搬送ユニットに対する接近離間方向に敷設された移動軌道と、前記熱処理チャンバを支持し前記移動軌道上を移動する移動台車と、を含んで構成されている、請求項１に記載の熱処理設備。
【請求項４】
前記熱処理チャンバを支持し前記移動台車上を移動可能な連結台車と、該連結台車を前記接近離間方向に移動させるシリンダと、を含んで構成される第二の熱処理チャンバ移動手段を更に備えている、請求項３に記載の熱処理装置。
【請求項５】
前記搬送軌道を挟んで一方の側に配置された前記熱処理チャンバと、他方の側に配置された前記熱処理チャンバは、それぞれの開口部が向かい合うように対向配置され、
前記搬送用チャンバは、互いに向かい合うそれぞれの前記熱処理チャンバに対向する側面に開口部が設けられており、
一方の側に配置された前記熱処理チャンバおよび他方の側に配置された前記熱処理チャンバにおける、前記搬送用チャンバに接近する方向の移動により、これら熱処理チャンバおよび搬送用チャンバの開口部がそれぞれ気密に連結可能とされている、請求項１～４の何れかに記載の熱処理設備。
【請求項６】
複数の前記搬送ユニットのうち少なくとも１つは、前記搬送用チャンバが加熱手段を備えていない真空チャンバで構成されている、請求項５に記載の熱処理設備。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は被処理物に熱処理を行う熱処理設備に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、下記特許文献１には、一連の熱処理工程の一部分を受け持つ同種若しくは異種の処理チャンバを搬送軌道に沿って複数配置し、搬送軌道上を走行する搬送ユニットを用いて処理チャンバとの間での被処理物の受け渡しを行いながら、被処理物に対し一連の熱処理を施す熱処理設備が開示されている。
【０００３】
ここで特許文献１のように被処理物の受け渡し手段としてテレスコピック式の搬送アームを用いた場合、搬送ユニット側のチャンバ内に搬送アームを収容するためにスペースを確保しなければならず、チャンバ容積が大きくなってしまう。これに起因して、設備を設置する際のスペース効率が悪くなってしまう他、被処理物の受け渡しの都度行われる真空排気に要する時間が長くなってしまうことが問題点として挙げられる。
【０００４】
被処理物の受け渡し手段としては、テレスコピック式の搬送アームに代えて搬送ロールを用いることも考えられるが、処理チャンバの側方にロールの抜き代に相当する長さのロール交換用のスペースを確保する必要があり、複数の処理チャンバを横並びに配置したとき、その設置間隔が広くなってしまう。この場合には、スペース効率ならびに被処理物の搬送効率の低下が問題点として挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００６－０６３３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は以上のような事情を背景とし、熱処理チャンバの設置間隔を抑えてスペース効率ならびに被処理物の搬送効率を高く維持しつつ、ロール交換のスペースも確保することができる熱処理設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
而してこの発明の第１の局面の熱処理設備は次のように規定される。即ち、
搬送軌道に沿って配置され、被処理物を支持し搬送するロールが設けられた複数の熱処理チャンバと、
前記被処理物を支持し搬送するロールが設けられた搬送用チャンバを有するとともに、前記搬送軌道に沿って移動し、前記熱処理チャンバとの間での前記被処理物の受渡しを行う搬送ユニットと、
を備えた熱処理設備であって、
前記熱処理チャンバを、前記搬送ユニットに対して接近および離間する接近離間方向に移動させる第一の熱処理チャンバ移動手段を備えている。
【０００８】
第１の局面の熱処理設備によれば、ロール交換時に対象の熱処理チャンバのみを接近離間方向に移動させることで、対象の熱処理チャンバの側方にロールの抜き代に相当するロール交換スペースを確保することができるため、熱処理チャンバの設置間隔を抑えてスペース効率ならびに被処理物の搬送効率を高く維持することができる。
【０００９】
ここで、上下方向に移動し、前記熱処理チャンバの開口部および／または前記搬送用チャンバの開口部を開閉するゲート扉と、
該ゲート扉の下方に配置され、前記ゲート扉が上昇した状態において前記被処理物の搬送高さまで上昇し、前記被処理物の搬送をサポートとするサポートロールと、を設けることができる（第２の局面）。
このようにすれば、ロール間ピッチが他の箇所よりも広い開口部に新たなサポートロールが追加されるため、被処理物Ｗの搬送安定性を高めることができる。
【００１０】
この発明では、前記第一の熱処理チャンバ移動手段を、前記搬送ユニットに対する接近離間方向に敷設された移動軌道と、前記熱処理チャンバを支持し前記移動軌道上を移動する移動台車と、を含んで構成することができる（第３の局面）。
（【００１１】以降は省略されています）

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