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公開番号2025086509
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-09
出願番号2023200530
出願日2023-11-28
発明の名称ウェーハの研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 7/00 20060101AFI20250602BHJP(研削;研磨)
要約【課題】生産性を高めつつ、ウェーハを均一な厚みに研削すること。
【解決手段】第1厚みに研削したウェーハの厚みを測定する第1厚み測定工程と、該第1厚み測定工程で測定した厚みのうち、1つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の測定点における厚みとの差を第1厚み差として算出する第1厚み傾向算出工程と、第2厚みに研削したウェーハの厚みを測定する第2厚み測定工程と、該第2厚み測定工程で測定した厚みのうち、1つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の測定点における厚みとの差を第2厚み差として算出する第2厚み傾向算出工程と、第1厚み差と第2厚み差との差を算出する厚み差算出工程と、第1研削工程と、第1研削厚み測定工程と、第1研削厚み傾向算出工程と、チャックテーブルの傾きを変更する傾き変更工程と、第1研削工程において研削したウェーハを研削する第2研削工程を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
円錐状の保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを前記保持面の中心を軸として回転させるテーブル回転機構と、第１スピンドルに装着した第１砥石でウェーハを研削する第１研削機構と、第２スピンドルに装着した第２砥石でウェーハを研削する第２研削機構と、前記チャックテーブルを前記第１砥石の研削位置と前記第２砥石の研削位置とに位置づける位置づけ機構と、ウェーハの中心部分と外周部分及び径方向中間部分の３つの測定点においてウェーハの厚みを測定する厚み測定器と、前記チャックテーブルの傾きを変更する傾き変更機構と、を用いて実施されるウェーハの研削方法であって、
前記第１砥石でウェーハを第１厚みに研削し、該ウェーハの前記３つの測定点における厚みを測定する第１厚み測定工程と、
該第１厚み測定工程で測定した前記３つの測定点における厚みのうち、１つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の２つの測定点における厚みとの差を第１厚み差として算出する第１厚み傾向算出工程と、
前記第２砥石でウェーハを前記第１厚みよりも小さい第２厚みに研削し、該ウェーハの前記３つの測定点における厚みを測定する第２厚み測定工程と、
該第２厚み測定工程で測定した前記３つの測定点における厚みのうち、１つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の２つの測定点における厚みとの差を第２厚み差として算出する第２厚み傾向算出工程と、
前記第１厚み傾向算出工程において算出した第１厚み差と前記第２厚み傾向算出工程において算出した第２厚み差との差を算出する厚み差算出工程と、
前記チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを前記第１砥石で前記第１厚みに研削する第１研削工程と、
該第１研削工程において研削したウェーハの前記３つの測定点における厚みを測定する第１研削厚み測定工程と、
該第１研削厚み測定工程で測定した前記３つの測定点における厚みのうち、１つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の２つの測定点における厚みとの差を算出する第１研削厚み傾向算出工程と、
該第１研削厚み傾向算出工程において算出した３つの算出値と、前記厚み差算出工程において算出した３つの算出値に基づいて前記チャックテーブルの傾きを変更する傾き変更工程と、
該傾き変更工程の後、前記第１研削工程において研削したウェーハを前記第２砥石で前記第２厚みに研削する第２研削工程と、
を備えることを特徴とするウェーハの研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１砥石を備える第１研削機構と第２砥石を備える第２研削機構によってウェーハを所望の厚みに研削するウェーハの研削方法に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研削する研削装置は、保持面にウェーハを保持したチャックテーブルをウェーハと共に回転させながら、回転する環状の研削砥石をウェーハに接触させて該ウェーハを研削する装置であるが、チャックテーブルの保持面は、中心を頂点とする円錐状に形成されている。このため、チャックテーブルの保持面と研削砥石の下面との平行度を調整してウェーハの面内厚みが均一になるように該ウェーハを研削している（例えば、特許文献１参照）。そして、特許文献１には、ウェーハが仕上げ厚みに達する前に研削を一時停止し、厚み測定器によってウェーハの厚みを測定し、測定された厚みに基づいてチャックテーブルの傾きを調整した後、ウェーハを所望の仕上げ厚みになるまで再度研削する方法が提案されている。
【０００３】
また、特許文献２には、ウェーハを保持するチャックテーブルを第１の研削位置と第２の研削位置に移動させ、第１の研削位置で研削されたウェーハの形状を第１センサで測定し、第２の研削位置で研削されたウェーハの形状を第２センサで測定し、第１センサによって測定されたウェーハの形状に基づいて第１の研削位置におけるチャックテーブルの傾きを調整するとともに、第２センサで測定されたウェーハの形状に基づいて第１の研削位置におけるチャックテーブルの傾きの調整に補正を加えることによって、ウェーハを均一な厚みに研削するようにしたウェーハの研削方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－１１９１２３号公報
特開２０１６－２０１４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１において提案されているように、ウェーハが仕上げ厚みに達する前に研削を一時停止し、厚み測定器によってウェーハの厚みを測定し、測定された厚みに基づいてチャックテーブルの傾きを調整した後、ウェーハを所望の仕上げ厚みになるまで再度研削すると、研削時間が長くなって生産性が低下するという問題がある。
【０００６】
また、特許文献２において提案されている方法によれば、第２センサで測定されたウェーハの形状が所望の形状になるまで第１の研削位置におけるチャックテーブルの傾きの補正を繰り返す必要があるため、トータルの研削時間が長くなって生産性の低下を招くという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、生産性を高めつつ、ウェーハを均一な厚みに研削することができるウェーハの研削方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、円錐状の保持面によってウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを前記保持面の中心を軸として回転させるテーブル回転機構と、第１スピンドルに装着した第１砥石でウェーハを研削する第１研削機構と、第２スピンドルに装着した第２砥石でウェーハを研削する第２研削機構と、前記チャックテーブルを前記第１砥石の研削位置と前記第２砥石の研削位置とに位置づける位置づけ機構と、ウェーハの中心部分と外周部分及び径方向中間部分の３つの測定点においてウェーハの厚みを測定する厚み測定器と、前記チャックテーブルの傾きを変更する傾き変更機構と、を用いて実施されるウェーハの研削方法であって、前記第１砥石でウェーハを第１厚みに研削し、該ウェーハの前記３つの測定点における厚みを測定する第１厚み測定工程と、該第１厚み測定工程で測定した前記３つの測定点における厚みのうち、１つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の２つの測定点における厚みとの差を第１厚み差として算出する第１厚み傾向算出工程と、前記第２砥石でウェーハを前記第１厚みよりも小さい第２厚みに研削し、該ウェーハの前記３つの測定点における厚みを測定する第２厚み測定工程と、該第２厚み測定工程で測定した前記３つの測定点における厚みのうち、１つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の２つの測定点における厚みとの差を第２厚み差として算出する第２厚み傾向算出工程と、前記第１厚み傾向算出工程において算出した第１厚み差と前記第２厚み傾向算出工程において算出した第２厚み差との差を算出する厚み差算出工程と、前記チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを前記第１砥石で前記第１厚みに研削する第１研削工程と、該第１研削工程において研削したウェーハの前記３つの測定点における厚みを測定する第１研削厚み測定工程と、該第１研削厚み測定工程で測定した前記３つの測定点における厚みのうち、１つの測定点における厚みを基準として該厚みと他の２つの測定点における厚みとの差を算出する第１研削厚み傾向算出工程と、該第１研削厚み傾向算出工程において算出した３つの算出値と、前記厚み差算出工程において算出した３つの算出値に基づいて前記チャックテーブルの傾きを変更する傾き変更工程と、該傾き変更の後、前記第１研削工程において研削したウェーハを前記第２砥石で前記第２厚みに研削する第２研削工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第２研削工程においては、その前工程である傾き変更工程において、厚み差算出工程において算出された３つの測定点における厚み差を相殺する厚み差を算出し、算出された厚み差が３つの測定点において生じるようにチャックテーブルの傾きを変更するようにしたため、第２研削工程において仕上げ研削されるウェーハの厚みが均一となり、ウェーハは、均一な厚みに仕上げ研削される。
【００１０】
そして、本発明に係るウェーハの研削方法においては、仕上げ研削工程である第２研削工程を実施する前に、厚み差算出工程において算出された３つの測定点における厚み差を相殺することができるようにチャックテーブルの傾きを変更するようにしたため、第２研削工程においてチャックテーブルの傾きを変更する必要がなく、この結果、トータルの研削時間が短縮されて生産性が高められるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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