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公開番号2025089833
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204735
出願日2023-12-04
発明の名称水素ガスバリア被覆体
出願人株式会社デンソー,トヨタ自動車株式会社,株式会社ミライズテクノロジーズ
代理人弁理士法人ゆうあい特許事務所
主分類C23C 16/40 20060101AFI20250609BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】水素ガスバリア機能を向上させる水素ガスバリア被覆体を提供する。
【解決手段】水素ガスバリア被覆体は、基材10と、基材10に成膜されている水素ガスバリア膜20と、を備え、水素ガスバリア膜20は、アモルファスのZnOおよびアモルファスのAlOを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
水素ガスバリア被覆体であって、
基材（１０）と、
前記基材に成膜されている水素ガスバリア膜（２０）と、
を備え、
前記水素ガスバリア膜は、アモルファスのＺｎＯおよびアモルファスのＡｌＯを含む、水素ガスバリア被覆体。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
前記水素ガスバリア膜の膜厚は、１０ｎｍ以上、８０ｎｍ以下とされている、請求項１に記載の水素ガスバリア被覆体。
【請求項３】
前記ＺｎＯと前記ＡｌＯとの合計を１００ａｔ％としたときの前記ＡｌＯの比率が２５ａｔ％以上、７５ａｔ％以下とされている、請求項１に記載の水素ガスバリア被覆体。
【請求項４】
前記基材は、ポリエチレンテレフタレートを含む、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の水素ガスバリア被覆体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、水素ガスバリア被覆体に関するものである。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、異なる種類の金属窒化膜で構成される結晶ナノ薄膜を１０以上かつ１０００以下で複数回積層し、全体膜厚を０．５～２μｍとした水素ガスバリア膜が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１３９００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、金属窒化膜は、材質的に応力が高く、膜厚が大きいとさらに応力が高くなる。応力が高いと、膜中にクラックが発生し易くなる。また、結晶膜では、粒界からクラックが発生し、水素透過経路となるため、水素ガスバリア機能が低下する。
【０００５】
本開示は、水素ガスバリア機能を向上させる水素ガスバリア被覆体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、水素ガスバリア被覆体であって、基材（１０）と、前記基材に成膜されている水素ガスバリア膜（２０）と、を備え、前記水素ガスバリア膜は、アモルファスのＺｎＯおよびアモルファスのＡｌＯを含む、水素ガスバリア被覆体である。
【０００７】
水素ガスバリア膜がアモルファスのＺｎＯおよびアモルファスのＡｌＯを含むことにより、水素が透過しにくくなることから、水素ガスバリア機能が向上する。
【０００８】
なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態の水素ガスバリア被覆体の断面図。
実施例１－７および比較例１－３の膜厚とＡｌＯ比率および水素透過係数との関係を示した図表。
実施例１－５および比較例１－３における膜厚と水素透過係数との関係をまとめたグラフ。
実施例２、６、７および比較例１におけるＡｌＯ比率と水素透過係数との関係をまとめたグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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