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公開番号2025098493
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-02
出願番号2023214648
出願日2023-12-20
発明の名称計測装置
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01R 33/02 20060101AFI20250625BHJP(測定;試験)
要約【課題】複数の参照センサを用いて、所望の信号の計測結果からノイズを除去する精度を高くすることができる計測装置を提供する。
【解決手段】目的信号とノイズが混在する計測信号を計測する1以上の信号センサを有する信号センサ部、前記ノイズを含む参照信号を計測する2以上の参照センサを有する参照センサ部、処理部を備え、前記処理部は、前記参照センサ部の2以上の前記参照センサにより計測された2以上の前記参照信号のデータである参照センサデータを2個の群に分ける参照センサデータ群分け部、第1群の参照センサデータを使用して、信号センサデータに対してノイズ除去処理を行う1次信号処理部、第2群の参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記1次信号処理部によるノイズ除去処理後の1次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行う2次信号処理部を含む、計測装置。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
目的信号とノイズが混在する計測信号を計測する１以上の信号センサを有する信号センサ部と、
Ｑを２以上の整数として、前記ノイズを含む参照信号を計測するＱ以上の参照センサを有する参照センサ部と、
処理部と、
を備え、
前記処理部は、
前記参照センサ部のＱ以上の前記参照センサにより計測されたＱ以上の前記参照信号のデータである参照センサデータをＱ個の群である第１群～第Ｑ群に分ける参照センサデータ群分け部と、
ｋが１以上Ｑ以下の整数であるとして、ｋが１以上Ｑ以下のそれぞれについてｋ次信号処理部を含み、
１次信号処理部は、前記第１群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサにより計測された前記計測信号のデータである信号センサデータに対してノイズ除去処理を行うこと、あるいは、前記第１群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサにより計測された前記計測信号のデータである信号センサデータと、前記第１群以外の１以上の群の前記参照センサデータに対して、ノイズ除去処理を行うこと、を実行し、
ｕが２以上（Ｑ－１）以下の整数であるとして、ｕ次信号処理部は、第ｕ群の前記参照センサデータ、または、前記第ｕ群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～（ｕ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記（ｕ－１）次信号処理部によるノイズ除去処理後の（ｕ－１）次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行うこと、あるいは、第ｕ群の前記参照センサデータ、または、前記第ｕ群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～（ｕ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記（ｕ－１）次信号処理部によるノイズ除去処理後の（ｕ－１）次信号処理後データと、前記第１群～前記第ｕ群以外の１以上の群の前記参照センサデータまたは前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～前記（ｕ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータに対して、ノイズ除去処理を行うことを実行し、
Ｑ次信号処理部は、前記第Ｑ群の前記参照センサデータ、または、前記第Ｑ群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～（Ｑ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記（Ｑ－１）次信号処理部によるノイズ除去処理後の（Ｑ－１）次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行うことを実行する、
計測装置。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
Ｑは２であり、
前記１次信号処理部は、前記第１群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサデータに対してノイズ除去処理を行い、
２次信号処理部は、前記第１群以外の第２群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記１次信号処理部によるノイズ除去処理後の１次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行う、
請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】
Ｑは２であり、
前記１次信号処理部は、前記第１群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサデータと前記第１群以外の第２群の前記参照センサデータの両方に対してノイズ除去処理を行い、
２次信号処理部は、前記第２群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記１次信号処理部によるノイズ除去処理後の１次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行う、
請求項１に記載の計測装置。
【請求項４】
前記参照センサ部は、前記参照センサとして、前記信号センサと同種類のセンサおよび前記信号センサとは異種類のセンサのうち、２種以上のセンサを含む、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項５】
Ｋが１以上Ｑ以下の整数であるとして、Ｋ次信号処理部は、ノイズ除去処理の手法として、ＡＮＣを使用する、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項６】
Ｕが１以上Ｑ以下でＫ以外の整数であるとして、Ｕ次信号処理部は、ノイズ除去処理の手法として、周波数分割ＡＮＣを使用する、
請求項５に記載の計測装置。
【請求項７】
前記信号センサ部は、前記信号センサとして、磁気センサを含む、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の計測装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、計測装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
各種の計測で良好な解析結果を得るためには、所望の信号に重畳する各種の環境ノイズの除去が必要である。
一般的に、環境ノイズを除去する手法として、所望の信号を計測するための信号センサとは別に参照センサを用意し、当該参照センサによって取得したデータについて時系列にフィルタリング処理する手法が用いられる。
環境ノイズの種類が多い場合には、それに対応して参照センサを増やす必要がある。
【０００３】
特許文献１に記載された測定装置では、測定対象を測定する測定位置に設けられ、入力磁場を少なくとも１つの検出軸方向で検出する複数の測定用センサ部と、当該測定位置から離間した参照位置に設けられ、入力磁場を３軸方向で検出する複数の参照用センサ部と、複数の測定用センサ部の出力に応じた測定信号を複数の参照用センサ部の出力を示す参照用信号を用いて補正する補正部と、を備える（特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１３９８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術では、複数の参照センサが用いられる場合に、所望の信号の計測結果からノイズを除去する精度が不十分な場合があった。
【０００６】
本開示は、このような事情を考慮してなされたもので、複数の参照センサを用いて、所望の信号の計測結果からノイズを除去する精度を高くすることができる計測装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一態様は、目的信号とノイズが混在する計測信号を計測する１以上の信号センサを有する信号センサ部と、Ｑを２以上の整数として、前記ノイズを含む参照信号を計測するＱ以上の参照センサを有する参照センサ部と、処理部と、を備え、前記処理部は、前記参照センサ部のＱ以上の前記参照センサにより計測されたＱ以上の前記参照信号のデータである参照センサデータをＱ個の群である第１群～第Ｑ群に分ける参照センサデータ群分け部と、ｋが１以上Ｑ以下の整数であるとして、ｋが１以上Ｑ以下のそれぞれについてｋ次信号処理部を含み、１次信号処理部は、前記第１群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサにより計測された前記計測信号のデータである信号センサデータに対してノイズ除去処理を行うこと、あるいは、前記第１群の前記参照センサデータを使用して、前記信号センサにより計測された前記計測信号のデータである信号センサデータと、前記第１群以外の１以上の群の前記参照センサデータに対して、ノイズ除去処理を行うこと、を実行し、ｕが２以上（Ｑ－１）以下の整数であるとして、ｕ次信号処理部は、第ｕ群の前記参照センサデータ、または、前記第ｕ群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～（ｕ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記（ｕ－１）次信号処理部によるノイズ除去処理後の（ｕ－１）次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行うこと、あるいは、第ｕ群の前記参照センサデータ、または、前記第ｕ群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～（ｕ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記（ｕ－１）次信号処理部によるノイズ除去処理後の（ｕ－１）次信号処理後データと、前記第１群～前記第ｕ群以外の１以上の群の前記参照センサデータまたは前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～前記（ｕ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータに対して、ノイズ除去処理を行うことを実行し、Ｑ次信号処理部は、前記第Ｑ群の前記参照センサデータ、または、前記第Ｑ群の前記参照センサデータについて前記１次信号処理部～（Ｑ－１）次信号処理部のうちの１以上によるノイズ除去処理後の信号処理後参照センサデータを使用して、前記信号センサデータについて前記（Ｑ－１）次信号処理部によるノイズ除去処理後の（Ｑ－１）次信号処理後データに対してノイズ除去処理を行うことを実行する、計測装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、計測装置において、複数の参照センサを用いて、所望の信号の計測結果からノイズを除去する精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態に係る情報処理装置を含む計測装置の概略的な構成を示す図である。
実施形態に係る情報処理装置の概略的な構成を示す図である。
実施形態の第１構成例に係る処理の流れを模式的に示す図である。
実施形態の第２構成例に係る処理の流れを模式的に示す図である。
実施形態の第３構成例に係る処理の流れを模式的に示す図である。
実施形態の第４構成例に係る処理の流れを模式的に示す図である。
実施形態に係る信号処理後の雑音密度の一例を示す図である。
実施形態に係る信号処理部の構成例を示す図である。
区間分割の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照し、本開示の実施形態について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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