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公開番号2025114968
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-06
出願番号2024009231
出願日2024-01-25
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250730BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】誘電体基板に鍔部を設けた構成としながらも、鍔部の強度を確保することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に接合されたベースプレート200と、を備える。誘電体基板100には、その側面のうちベースプレート200側の部分を全周に亘り外側へと突出させた部分、である鍔部150が設けられている。ベースプレート200は、最も誘電体基板100側の面であって、その一部が誘電体基板100に接合されている面210、を有している。上面視において、面210のうち誘電体基板100に接合されていない部分が、鍔部150を全周に亘り囲んでいる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、
前記誘電体基板には、その側面のうち前記ベースプレート側の部分を全周に亘り外側へと突出させた部分、である鍔部が設けられており、
前記ベースプレートは、最も前記誘電体基板側の面であって、その一部が前記誘電体基板に接合されている平坦面、を有しており、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記平坦面のうち前記誘電体基板に接合されていない部分が、前記鍔部を全周に亘り囲んでいることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記平坦面の外形が前記ベースプレートの外形と一致していることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記ベースプレートの内部には、冷媒を通すための冷媒流路が形成されており、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記冷媒流路の一部が、前記鍔部と重なっており且つ前記鍔部に沿って伸びるように形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記鍔部の径方向に沿った長さが、
前記平坦面のうち前記誘電体基板に接合されていない部分、の径方向に沿った長さよりも短いことを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
上面視における誘電体基板の外形は、基板が載置される載置面の外形と同一とされることが多い。すなわち、誘電体基板は薄い円柱形状とされることが多い。しかしながら、そのような構成においては、誘電体基板とベースプレートとの間を接合している接合層の側面が、載置面の外周端の直下において露出することとなる。載置面上にある基板の近くにおいて、例えば硬化したシリコーン接着剤である接合層を露出させることは好ましくない。
【０００４】
そこで、例えば下記特許文献１に記載されているように、誘電体基板に鍔部を設けた構成が採用されることもある。鍔部は、誘電体基板の側面のうちベースプレート側の部分を、全周に亘り外側へと突出させた部分である。下記特許文献１に記載の構成では、鍔部は、ベースプレートの上面全体を覆うような位置まで伸びている。
【０００５】
誘電体基板に鍔部を設けた場合には、載置面の外周端よりも更に外周側となる位置において、接合層の側面が露出することとなる。従って、誘電体基板に鍔部を設けない場合に比べて、接合層の露出部分を基板から遠ざけることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０２２／２５５１１８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
半導体デバイスの微細化及び高性能化に伴って、近年では、静電チャックに求められる冷却性能等の要求が飛躍的に高くなってきている。それに伴い、誘電体基板は従来に比べて薄くなっており、その厚さが４ｍｍを下回るものも存在している。
【０００８】
誘電体基板に鍔部を設けた場合には、鍔部の厚さは更に薄くなり、例えば１．５ｍｍもしくはそれ以下とする必要がある。誘電体基板の薄肉化は今後も進むものと考えられるため、鍔部の形状によっては、その強度を十分に確保することが難しくなる可能性がある。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、誘電体基板に鍔部を設けた構成としながらも、鍔部の強度を確保することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備える。誘電体基板には、その側面のうちベースプレート側の部分を全周に亘り外側へと突出させた部分、である鍔部が設けられている。ベースプレートは、最も誘電体基板側の面であって、その一部が誘電体基板に接合されている平坦面、を有している。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、平坦面のうち誘電体基板に接合されていない部分が、鍔部を全周に亘り囲んでいる。
（【００１１】以降は省略されています）

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