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公開番号2025120801
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-18
出願番号2024015903
出願日2024-02-05
発明の名称固体撮像装置及び電子機器
出願人ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
代理人個人
主分類H10F 39/18 20250101AFI20250808BHJP()
要約【課題】しきい値電圧のばらつきに強く、又は、測距のばらつきが小さいイメージセンサを提供する。
【解決手段】固体撮像装置は、受光素子と、1又は複数の蓄積部と、複数の転送ゲートと、を備える画素を有する。前記1又は複数の蓄積部は、前記受光素子が出力する信号を蓄積する。前記複数の転送ゲートは、前記受光素子が出力する信号を、前記蓄積部に所定のタイミングにおいて転送する。また、前記複数の転送ゲートは、少なくとも2つの前記転送ゲートがそれぞれの前記蓄積部に対する転送において用いられ、前記蓄積部が複数である場合に、少なくとも1つの前記転送ゲートが複数の前記蓄積部への転送において用いられる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
受光素子と、
前記受光素子が出力する信号を蓄積する、1又は複数の蓄積部と、
前記受光素子が出力する信号を、前記蓄積部に所定のタイミングにおいて転送する、複数の転送ゲートと、
を備える画素において、
前記複数の転送ゲートは、
少なくとも2つの前記転送ゲートがそれぞれの前記蓄積部に対する転送において用いられ、
前記蓄積部が複数である場合に、少なくとも1つの前記転送ゲートが複数の前記蓄積部への転送において用いられる、
固体撮像装置。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記複数の蓄積部の少なくとも1つは、電荷蓄積領域である、
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記複数の蓄積部の少なくとも1つは、浮遊拡散領域である、
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記転送ゲートは、少なくとも1つの縦型トランジスタにより形成される、
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記複数の転送ゲートは、少なくとも2つが同じタイミングでオンする、
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記画素は、iToF (indirect Times of Flight) センサを形成する、
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
少なくとも1つのオーバーフロードレインを備える、
請求項1に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記複数の転送ゲートのうち少なくとも1つは、前記オーバーフロードレインに信号を転送するオーバーフローゲートである、
請求項7に記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記複数の転送ゲートは、前記複数の蓄積部のそれぞれに対して対応する2つの前記転送ゲートが線対称に配置される、
請求項7に記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
前記複数の転送ゲートは、多角形を形成する位置に配置され、
前記複数の蓄積部は、前記複数の転送ゲートの外側において、それぞれへの信号の転送が2つの前記転送ゲートにより制御される位置に配置される、
請求項7に記載の固体撮像装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、固体撮像装置及び電子機器に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ToF (Times of Flight) センサを含むイメージセンサにおいては、受光した光を変換した信号が蓄積され、所定のタイミングで転送ゲートにより浮遊拡散層等の蓄積部に信号が転送される。この転送ゲートは、一般的に1つの蓄積部に対して1つ備えられるが、このような構成においては、それぞれの転送ゲートのしきい値電圧の個体差による性能差が画像信号や測距信号の処理において影響を及ぼすことがある。また、これを回避するために1つの転送ゲートにおいて、転送ゲートを形成するトランジスタのゲート電極が複数個搭載されて構成されることがあるが、この構成は、面積効率が悪く、微細化が困難であるという課題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開2021-097214号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本開示の実施形態が解決しようとする限定されない課題の1つは、しきい値電圧のばらつきに強く、又は、測距のばらつきが小さいイメージセンサを提供することである。本開示の実施形態により解決しようとする課題は、さらに限定されないいくつかの例として、実施形態において記載した効果に対応する課題、とすることもできる。すなわち、本開示の実施形態の説明において記載された効果のうち任意の少なくとも1つに対応する課題を本開示における解決しようとする課題とすることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態によれば、固体撮像装置は、受光素子と、1又は複数の蓄積部と、複数の転送ゲートと、を備える画素を有する。
前記1又は複数の蓄積部は、前記受光素子が出力する信号を蓄積する。
前記複数の転送ゲートは、前記受光素子が出力する信号を、前記蓄積部に所定のタイミングにおいて転送する。
また、前記複数の転送ゲートは、
少なくとも2つの前記転送ゲートがそれぞれの前記蓄積部に対する転送において用いられ、
前記蓄積部が複数である場合に、少なくとも1つの前記転送ゲートが複数の前記蓄積部への転送において用いられる。
【０００６】
前記複数の蓄積部の少なくとも1つは、電荷蓄積領域であってもよい。
【０００７】
前記複数の蓄積部の少なくとも1つは、浮遊拡散領域であってもよい。
【０００８】
前記転送ゲートは、少なくとも1つの縦型トランジスタにより形成されてもよい。
【０００９】
前記複数の転送ゲートは、少なくとも2つが同じタイミングでオンしてもよい。
【００１０】
前記画素は、iToF (indirect Times of Flight) センサを形成してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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