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公開番号2025121504
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024016927
出願日2024-02-07
発明の名称発光装置
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01S 5/42 20060101AFI20250813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】個別に駆動可能な複数の発光素子群を有する発光装置において、発光素子の高出力化及び高密度化に好適な技術を提供する。
【解決手段】発光装置は、複数の発光素子と、複数の発光素子を駆動するための複数の駆動配線と、を有する。複数の発光素子は、各々が少なくとも2つの発光素子を含む複数のグループに分けられており、複数の駆動配線は、複数のグループに対応して設けられており、複数の駆動配線は、平面視において少なくとも一部が重なっており、絶縁層によって互いに電気的に分離されており、複数の駆動配線の各々は、複数のグループのうち対応するグループに属する発光素子の上面において発光素子と電気的に接続されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
複数の発光素子と、
前記複数の発光素子を駆動するための複数の駆動配線と、を有し、
前記複数の発光素子は、各々が少なくとも２つの発光素子を含む複数のグループに分けられており、
前記複数の駆動配線は、前記複数のグループに対応して設けられており、
前記複数の駆動配線は、平面視において少なくとも一部が重なっており、絶縁層によって互いに電気的に分離されており、
前記複数の駆動配線の各々は、前記複数のグループのうち対応するグループに属する発光素子の上面において前記発光素子と電気的に接続されている
ことを特徴とする発光装置。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記複数の駆動配線のうちの第１の駆動配線は前記複数のグループのうちの第１のグループに属する発光素子と電気的に接続されており、前記複数のグループのうちの第２のグループに属する発光素子とは電気的に接続されておらず、
前記複数の駆動配線のうちの第２の駆動配線は、前記第１のグループに属する発光素子とは電気的に接続されておらず、前記第２のグループに属する発光素子とは電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項１記載の発光装置。
【請求項３】
前記第２のグループに属する発光素子の前記上面の上に、前記第１の駆動配線が延在している
ことを特徴とする請求項２記載の発光装置。
【請求項４】
前記第２のグループに属する発光素子の前記上面の上に、前記複数の駆動配線のうち前記第２駆動配線を除く他の総ての駆動配線が延在している
ことを特徴とする請求項２記載の発光装置。
【請求項５】
前記複数の発光素子の各々の前記上面に設けられた透明導電膜を更に有する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項６】
前記複数の駆動配線の各々は、前記対応するグループに属する前記発光素子に前記透明導電膜を介して電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項５記載の発光装置。
【請求項７】
前記透明導電膜は、酸化インジウム錫を含む
ことを特徴とする請求項５記載の発光装置。
【請求項８】
前記発光素子は、メサ構造を有する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項９】
前記発光素子は、プレーナ構造を有する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１０】
前記複数の駆動配線の各々は、前記複数の発光素子が配された領域の全体に渡って連続して設けられており、前記複数の発光素子の各々の光の射出口の部分に開口部を有する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の発光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity surface Emitting Laser）素子を二次元に配置した発光装置は、ＬｉＤＡＲ（Light Detection and Ranging）や３Ｄ（Dimension）センサーなどの光源として開発が進められている。例えば測距装置においては、測距の性能向上（感度、分解能、測距レンジ拡大など）のための高出力化や素子の小型化を目的として、発光径の広いＶＣＳＥＬ素子を高密度（狭ピッチ）で配置するための検討がなされている。
【０００３】
ＶＣＳＥＬ素子を用いたＬｉＤＡＲ用光源の駆動方式としては、アレイを構成する総てのＶＣＳＥＬ素子を一括発光させ一度に広いエリアの測距を行うフラッシュ方式や、アレイを構成する複数の発光領域を順番に発光させるシーケンシャルフラッシュ方式がある。例えばシーケンシャルフラッシュ方式において、複数の発光領域のうちの一部の発光領域の光パワー密度を素子全体の光パワー密度と等しくすることができれば、測距性能を向上することが可能である。
【０００４】
特許文献１には、個別に動作可能な複数のＶＣＳＥＬ群を有する発光装置が記載されている。特許文献１では、発光部が配される基板の短辺の側にＶＣＳＥＬ群に接続される電極を配置することで発光装置のサイズ縮小を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－１６５８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
複数個の発光素子が配置された発光領域をそれぞれ個別に発光させるためには、各発光領域を制御するための個別の駆動配線が必要である。しかしながら、発光領域において駆動配線を敷設するスペースは限られており、発光素子の高密度化と駆動配線の増加とを両立することは困難であった。また、複数個の発光素子を含む発光領域を発光させるには高い電流注入値が必要であるため、駆動配線のエレクトロマイグレーションによる断線を回避する観点から配線の幅をできるだけ拡げて限界電流密度を増すことが求められる。この面からも、発光素子の高密度化と駆動配線の増加とを両立することは困難であった。
【０００７】
本発明の目的は、個別に駆動可能な複数の発光素子群を有する発光装置において、発光素子の高出力化及び高密度化に好適な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本明細書の一開示によれば、複数の発光素子と、前記複数の発光素子を駆動するための複数の駆動配線と、を有し、前記複数の発光素子は、各々が少なくとも２つの発光素子を含む複数のグループに分けられており、前記複数の駆動配線は、前記複数のグループに対応して設けられており、前記複数の駆動配線は、平面視において少なくとも一部が重なっており、絶縁層によって互いに電気的に分離されており、前記複数の駆動配線の各々は、前記複数のグループのうち対応するグループに属する発光素子の上面において前記発光素子と電気的に接続されている発光装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、個別に駆動可能な複数の発光素子群を有する発光装置において、発光素子の高出力化及び高密度化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態による発光装置の概略構成を示す平面模式図である。
第１実施形態による発光装置の概略構成を示す断面模式図である。
第１実施形態による発光装置の部分断面図である。
第１実施形態の変形例による発光装置の概略構成を示す断面模式図である。
第１実施形態の変形例による発光装置の概略構成を示す平面模式図（その１）である。
第１実施形態の変形例による発光装置の概略構成を示す平面模式図（その２）である。
第２実施形態による発光装置の概略構成を示す断面模式図である。
第３実施形態による発光装置の概略構成を示す平面模式図である。
第３実施形態による発光装置の概略構成を示す断面模式図である。
第３実施形態による発光装置の部分断面図である。
第３実施形態の変形例による発光装置の部分断面図（その１）である。
第３実施形態の変形例による発光装置の部分断面図（その２）である。
第４実施形態による発光装置の概略構成を示す平面模式図である。
第４実施形態による発光装置の概略構成を示す断面模式図である。
第５実施形態による発光装置の概略構成を示す平面模式図である。
第６実施形態による測距装置の概略構成を示すブロック図である。
第７実施形態による移動体の構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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