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公開番号2025122554
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-21
出願番号2024018128
出願日2024-02-08
発明の名称クリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人籾井特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250814BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異物除去性能に優れ、かつ、クリーニング層の脱離が防止されたクリーニングシートを提供すること。
【解決手段】本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層を備え、該クリーニング層が、脂環式骨格を有する構成単位を含むポリイミド系樹脂を含み、該ポリイミド系樹脂が、脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物由来の構成単位を含む。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
クリーニング層を備え、
該クリーニング層が、脂環式骨格を有する構成単位を含むポリイミド系樹脂を含み、
該ポリイミド系樹脂が、脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物由来の構成単位を含む、
クリーニングシート。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
前記脂環式骨格を有する構成単位の含有割合が、前記ポリイミド系樹脂１００重量部に対して、５重量部～５０重量部である、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項３】
前記ポリイミド系樹脂は、脂環式骨格を有するジアミン由来の構成単位をさらに含む、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項４】
前記脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物由来の構成単位の含有割合が、前記ポリイミド系樹脂１００重量部に対して、５重量部～４０重量部である、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項５】
前記脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物が有する脂環式骨格の炭素数が、４～１６である、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項６】
前記ポリイミド系樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が、２５０℃～３００℃である、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項７】
前記クリーニング層の２５℃における貯蔵弾性率が、１００ＭＰａ～１０００ＭＰａである、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項８】
前記クリーニング層に隣接して配置される支持体をさらに備える、請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項９】
請求項１に記載のクリーニングシートと搬送部材を有する、クリーニング機能付搬送部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う各種の基板処理装置では、搬送装置（代表的には、チャックテーブルなど）と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、搬送装置に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎと汚染するため、定期的に装置を停止し、洗浄処理する必要があった。その結果、処理装置の稼動率が低下するという問題や装置の洗浄処理のために多大な労力が必要となるという問題があった。
【０００３】
このような問題を克服するため、板状部材を基板処理装置内に搬送することにより搬送装置に付着している異物を除去する方法（特許文献１参照）が提案されている。この方法によれば、基板処理装置を停止させて洗浄処理を行う必要がないので、処理装置の稼動率が低下するという問題は解消される。しかし、この方法によっては、搬送装置に付着している異物を十分に除去することができていない。
【０００４】
また、粘着性物質を固着した基板をクリーニング部材として基板処理装置内に搬送することにより、搬送装置に付着した異物を除去する方法（特許文献２参照）が提案されている。この方法は、特許文献１に記載の方法に比べて、異物の除去性能に優れる。しかし、特許文献２に記載の方法においては、粘着性物質と搬送装置との接触部分が強く接着しすぎて離れなくなるという問題が生じ得る。その結果、粘着性物質を固着した基板を確実に搬送できないという問題や、搬送装置を破損させるという問題、また、搬送装置を汚染してしまうという問題が生じ得る。一方、粘着性物質と搬送装置との密着力が小さくなりすぎると、クリーニング部材の異物の除去性が低下してしまい、十分なクリーニング効果が得られないという問題が生じ得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平１１－８７４５８号公報
特開平１０－１５４６８６号公報
特開２００７－３０７５２１号公報
特開２０１０－２５９９７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、異物除去性能および搬送性能に優れたクリーニングシートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
１．本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層を備え、該クリーニング層が、脂環式骨格を有する構成単位を含むポリイミド系樹脂を含み、該ポリイミド系樹脂が、脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物由来の構成単位を含む。
２．上記１に記載のクリーニングシートにおいて、上記脂環式骨格を有する構成単位の含有割合が、上記ポリイミド系樹脂１００重量部に対して、５重量部～５０重量部であってもよい。
３．上記１または２に記載のクリーニングシートにおいて、上記ポリイミド系樹脂は、脂環式骨格を有するジアミン由来の構成単位をさらに含んでいてもよい。
４．上記１から３のいずれかに記載のクリーニングシートにおいて、上記脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物由来の構成単位の含有割合が、上記ポリイミド系樹脂１００重量部に対して、５重量部～４０重量部であってもよい。
５．上記１から４のいずれかに記載のクリーニングシートにおいて、上記脂環式骨格を有するテトラカルボン酸二無水物が有する脂環式骨格の炭素数が、４～１６であってもよい。
６．上記１から５のいずれかに記載のクリーニングシートにおいて、上記ポリイミド系樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が、２５０℃～３００℃であってもよい。
７．上記１から６のいずれかに記載のクリーニングシートにおいて、前記クリーニング層の２５℃における貯蔵弾性率が、１００ＭＰａ～１０００ＭＰａであってもよい。
８．上記１から７のいずれかに記載のクリーニングシートは、前記クリーニング層に隣接して配置される支持体をさらに備えていてもよい。
９．本発明のクリーニング機能付搬送部材は、上記１から８のいずれかに記載のクリーニングシートと搬送部材を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、異物除去性能および搬送性能に優れたクリーニングシートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の実施形態によるクリーニングシートの概略断面図である。
本発明の実施形態によるクリーニングシートの概略断面図である。
本発明の実施形態によるクリーニングシートの概略断面図である。
本発明の実施形態によるクリーニング機能付搬送部材の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
Ａ．クリーニングシート
Ａ－１．概要
本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層を備える。本発明の実施形態によるクリーニングシートは、クリーニング層のみから構成されていてもよいし、他の層を有していてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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