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公開番号2025136495
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035113
出願日2024-03-07
発明の名称ワーク加工用シート、ワーク加工用シートの製造方法および加工済みワークの製造方法
出願人リンテック株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C09J 7/38 20180101AFI20250911BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】環境負荷を低減できるとともに、ワークのダイシングを良好に行うことができるワーク加工用シートを提供する。
【解決手段】基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、前記粘着剤層が、23℃および1atmの環境で液状の粘着付与剤を含有する無溶剤型粘着性組成物から形成されたアクリル系粘着剤から構成されているワーク加工用シート。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、
前記粘着剤層が、２３℃および１ａｔｍの環境で液状の粘着付与剤を含有する無溶剤型粘着性組成物から形成されたアクリル系粘着剤から構成されている
ことを特徴とするワーク加工用シート。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記粘着付与剤は、ヒドロキシ基を有するものであることを特徴とする請求項１に記載のワーク加工用シート。
【請求項３】
前記粘着付与剤は、ロジン系樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のワーク加工用シート。
【請求項４】
前記粘着付与剤は、不均化ロジン、水素化ロジンのジエチレングリコールエステルおよびロジンのトリエチレングリコールエステルの少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載のワーク加工用シート。
【請求項５】
請求項１に記載のワーク加工用シートの製造方法であって、
前記製造方法は、
前記無溶剤型粘着性組成物を前記基材の片面側に塗布して塗膜を形成する塗布工程と、
前記塗膜を加熱して、前記塗膜が硬化してなる前記粘着剤層を形成する加熱工程と
を含むことを特徴とする製造方法。
【請求項６】
請求項１に記載のワーク加工用シートの前記粘着剤層における前記基材とは反対側の面と、ワークとを貼合する貼合工程と、
前記ワーク加工用シート上にて前記ワークを加工することで、前記ワーク加工用シート上に積層された加工済みワークを得る加工工程と、
前記ワーク加工用シートから、前記加工済みワークを分離する分離工程と
を備えることを特徴とする加工済みワークの製造方法。
【請求項７】
前記加工工程と前記分離工程との間に、
前記粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射して、前記粘着剤層を硬化させ、前記加工済みワークに対する前記ワーク加工用シートの粘着力を低下させる照射工程
を備えることを特徴とする請求項６に記載の加工済みワークの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等のワークの加工に使用されるワーク加工用シートに関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウエハや各種パッケージ類は、大径の状態で製造され、チップに切断（ダイシング）され、剥離（ピックアップ）された後に、次の工程であるマウント工程に移される。この際、半導体ウエハ等のワークは、基材および粘着剤層を備える粘着シート（以下、「ワーク加工用シート」という場合がある。）上に積層された状態で、バックグラインド、ダイシング、洗浄、乾燥、エキスパンディング、ピックアップ、マウンティング等の加工が行われる。
【０００３】
上記ワーク加工用シートとしては、溶液重合法により作製されたアクリル系共重合体を含有する粘着性組成物を用いて粘着剤層が形成されたものが存在する（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－１０６２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、種々の技術分野において、環境負荷低減の要請が高まっている。このことは、ワーク加工用シートに係る技術分野においても当てはまり、例えば、環境に影響を与え得る成分を可能な限り低減することが求められている。
【０００６】
ここで、特許文献１に開示されるようなワーク加工用シートでは、その製造時に、溶液重合法により作製されたアクリル系共重合体が用いられるため、粘着剤層が所定量の有機溶剤を含有するものとなる。このような有機溶剤は、一般的に、環境に対して影響を与えるものであり、その含有量を可能な限り低減することが望ましい。
【０００７】
このような観点から、有機溶剤を基本的に使用することなく形成されたアクリル系粘着剤を用いて、ワーク加工用シートの粘着剤層を形成することが検討されている。しかしながら、このような無溶剤型の粘着剤を用いて粘着剤層を備えるワーク加工用シートを用いて、半導体ウエハ等のワークのブレードダイシングを行った場合、形成されたチップの飛びが発生し易かったり、チップの端部の欠けが発生し易いという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、環境負荷を低減できるとともに、ワークのダイシングを良好に行うことができるワーク加工用シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、前記粘着剤層が、２３℃および１ａｔｍの環境で液状の粘着付与剤を含有する無溶剤型粘着性組成物から形成されたアクリル系粘着剤から構成されていることを特徴とするワーク加工用シートを提供する（発明１）。
【００１０】
上記発明（発明１）に係るワーク加工用シートは、粘着剤層が、上述の通り、液状の粘着付与剤を含有する無溶剤型粘着性組成物から形成されたアクリル系粘着剤から構成されていることにより、ワークに対する粘着力が良好なものとなり、ダイシングを行った場合であっても、チップの飛びやチップの端部の欠けを良好に抑制することができ、すなわち、良好なダイシングを行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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