特許ウォッチ

公開番号2025164117
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024067911
出願日2024-04-19
発明の名称感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、パターン形成方法、表示装置、及びマイクロLEDディスプレイ
出願人信越化学工業株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20251023BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】高いリソグラフィー解像性、良好な発光特性を有する皮膜を容易に形成できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びこれらを用いるパターン形成方法、並びに前記感光性樹脂組成物を用いて得られる表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】(A)(メタ)アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂、(B1)量子ドット、(B2)前記(B1)成分の表面に配位しているチオールリガンドであって、酸化エチレン、及び酸化プロピレンから選ばれる少なくとも1種の繰り返し単位を含むポリマー構造を有するチオールリガンド、(C)オキシム系光ラジカル発生剤、(D)界面活性剤、及び(E)溶剤を含むものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
（Ａ）（メタ）アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂、
（Ｂ１）量子ドット、
（Ｂ２）前記（Ｂ１）成分の表面に配位しているチオールリガンドであって、酸化エチレン、及び酸化プロピレンから選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位を含むポリマー構造を有するチオールリガンド、
（Ｃ）オキシム系光ラジカル発生剤、
（Ｄ）界面活性剤、及び
（Ｅ）溶剤
を含むものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記（Ａ）成分は、重量平均分子量Ｍｗが１０，０００～５０，０００かつ二重結合当量が≦３００ｇ／ｍоｌかつ酸価が≦１０ｍｇＫＯＨ／ｇであるアルカリ不溶性樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ｂ１）成分は、コアおよび該コアを覆ったシェルを含むコア－シェル構造を有し、前記コアは、Ｉｎ、Ｐ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｃｄ、Ｓｅ、Ｓ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ａｇ、Ｈｇ、Ｎ、ＡｓおよびＯのうちの２種以上の組み合わせからなる化合物の１種以上を含み、前記シェルは、Ｉｎ、Ｐ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｃｄ、Ｓｅ、Ｓ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｈｇ、Ｎ、Ａｓ、Ｏ、ＭｎおよびＳｒのうちの２種以上の組み合わせからなる化合物の１種以上を含むことを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記（Ｂ１）成分を前記感光性樹脂組成物の不揮発成分中に１０～５０質量％含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記（Ｂ２）成分を前記（Ｂ１）成分１００質量部に対して５～４５質量部含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記（Ｃ）成分を前記感光性樹脂組成物の不揮発成分中に０．１～１．５質量％含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の乾燥体であることを特徴とする感光性樹脂皮膜。
【請求項８】
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された請求項７に記載の感光性樹脂皮膜とを備えるものであることを特徴とする感光性ドライフィルム。
【請求項９】
パターン形成方法であって、
（ｉ）請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、前記基板上に感光性樹脂皮膜を形成する工程、
（ｉｉ）前記感光性樹脂皮膜を露光する工程、及び
（ｉｉｉ）前記露光した感光性樹脂皮膜を現像液にて現像し、非露光部を溶解除去してパターンを形成する工程
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１０】
前記（ｉｉ）工程の後にポストベイクを行わないことを特徴とする請求項９に記載のパターン形成方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、パターン形成方法、表示装置、及びマイクロＬＥＤディスプレイに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
赤色、緑色および青色のサブピクセルを含むディスプレイを形成するために、様々な方法が提案されている。その中の一つの方法として、色変換構造体を通してＬＥＤアレイからの光を青色であるより短い波長から、赤色および緑色であるより長い波長の光に変換する方法がある。この色変換を担うものとしては量子ドットが用いられている。
【０００３】
近年、このＬＥＤアレイはマイクロサイズとなっており、これを用いたマイクロＬＥＤディスプレイが注目されている。色変換構造体をＬＥＤアレイ上に形成する方法としては感光性材料を用いたリソグラフィープロセスがあるが（特許文献１）、近年では小型ディスプレイへの適応のためにさらなる微細化が求められている。またディスプレイの鮮明さという観点では発光特性についても高い要求がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－０８９３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みなされたもので、高いリソグラフィー解像性、良好な発光特性を有する皮膜を容易に形成できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びこれらを用いるパターン形成方法、並びに前記感光性樹脂組成物を用いて得られる表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、
（Ａ）（メタ）アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂、
（Ｂ１）量子ドット、
（Ｂ２）前記（Ｂ１）成分の表面に配位しているチオールリガンドであって、酸化エチレン、及び酸化プロピレンから選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位を含むポリマー構造を有するチオールリガンド、
（Ｃ）オキシム系光ラジカル発生剤、
（Ｄ）界面活性剤、及び
（Ｅ）溶剤
を含むものである感光性樹脂組成物を提供する。
【０００７】
このようなものであれば、高いリソグラフィー解像性、良好な発光特性を有する皮膜を容易に形成できる感光性樹脂組成物となる。
【０００８】
また、前記（Ａ）成分は、重量平均分子量Ｍｗが１０，０００～５０，０００かつ二重結合当量が≦３００ｇ／ｍоｌかつ酸価が≦１０ｍｇＫＯＨ／ｇであるアルカリ不溶性樹脂であることが好ましい。
【０００９】
（Ａ）（メタ）アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂の重量平均分子量が前記範囲内にあれば、現像時に露光部の膜減少が生じにくく、非露光部分の溶解性が良好である。
【００１０】
また、前記（Ｂ１）成分は、コアおよび該コアを覆ったシェルを含むコア－シェル構造を有し、前記コアは、Ｉｎ、Ｐ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｃｄ、Ｓｅ、Ｓ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ａｇ、Ｈｇ、Ｎ、ＡｓおよびＯのうちの２種以上の組み合わせからなる化合物の１種以上を含み、前記シェルは、Ｉｎ、Ｐ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｃｄ、Ｓｅ、Ｓ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｈｇ、Ｎ、Ａｓ、Ｏ、ＭｎおよびＳｒのうちの２種以上の組み合わせからなる化合物の１種以上を含むことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許