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発行日2024-09-24
公報種別意匠公報(S)
登録番号1780533
登録日2024-09-12
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置用位置決めピン
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024010887
出願日2024-05-30
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、ウェハ洗浄装置内部において、ウェハを所定の位置に固定するために用いられるものである。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界のみを示す。縮小斜視図、A-A部拡大図及びB-B部拡大図を含めて意匠登録を受けようとする部分を特定している。左側面図は右側面図と対称に表れる。
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