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発行日
2024-11-25
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1785385
登録日
2024-11-15
意匠に係る物品
ウェハ洗浄装置用情報表示画像
意匠分類
N3
-11W()
出願番号
2024000313
出願日
2024-01-11
意匠権者
株式会社SCREENホールディングス
,
SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人
個人
,
個人
,
個人
意匠に係る物品の説明
この画像は、ウェハ洗浄装置の設定及び運転状況を表示するための画像であり、使用状態を示す参考図に示すように、アラームの発生数、種類、発生箇所、レベルや発生時間等の情報を表示するものである。
意匠の説明
実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
この意匠をJ-PlatPatで参照する
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