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公開番号2025115399
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-06
出願番号2025017016,2024009232
出願日2025-02-04,2024-01-25
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250730BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】誘電体基板の外周側端部を突出させた構成としながらも、誘電体基板の上方側におけるプラズマの均一性を確保することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100の内部に設けられたRF電極140と、金属からなる部材であって、誘電体基板100に接合されたベースプレート200と、を備える。上面視において、誘電体基板100は、ベースプレート200の面210よりも外側に突出した突出部101を有し、RF電極140の一部が突出部101に設けられている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板の内部に設けられたＲＦ電極と、
金属からなる部材であって、前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記誘電体基板は、前記ベースプレートの被接合面よりも外側に突出した突出部を有し、
前記ＲＦ電極の一部が前記突出部に設けられていることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記誘電体基板の内部に設けられた吸着電極を更に備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記吸着電極の一部が前記突出部に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記ＲＦ電極は、その外周側端部が前記吸着電極の外周側端部よりも外周側となる範囲に設けられていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記ＲＦ電極は、その外周側端部が前記吸着電極の外周側端部からはみ出さない範囲に設けられていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
半導体製造装置には、プラズマを発生させるための一対の対向電極としてＲＦ電極が設けられる。下記特許文献１に記載されているように、静電チャックのベースプレートが一方のＲＦ電極として用いられる場合もある。また、ＲＦ電極が誘電体基板に内蔵される場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－１１９６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
誘電体基板とベースプレートとの間を接合する接合層としては、例えば硬化したシリコーン接着剤が用いられる。エッチング等の処理が行われているときには、接合層の端部がプラズマに曝されて劣化し飛散して、処理中の基板に対して悪影響を及ぼしてしまうことがある。
【０００６】
このような事態を防止するために、本発明者らは、ベースプレートの被接合面よりも誘電体基板を大きくした構成、すなわち、誘電体基板の外周側端部を被接合面よりも外側に突出させた構成、の静電チャックについて開発を進めてきた。このような構成とすることで、接合層の周囲を覆う部材を、誘電体基板の下方側に配置することが可能となる。これにより、処理中の基板に対する接合層の影響を抑制することができる。
【０００７】
誘電体基板の外周側端部を被接合面よりも外側に突出させると、誘電体基板のうち突出部分の直下となる位置には、ＲＦ電極としてのベースプレートが存在しないこととなる。このため、突出部分の直上においてプラズマが不均一となり、エッチング等の処理が均等には行われなくなってしまう可能性がある。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、誘電体基板の外周側端部を突出させた構成としながらも、誘電体基板の上方側におけるプラズマの均一性を確保することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板の内部に設けられたＲＦ電極と、金属からなる部材であって、誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備える。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、誘電体基板は、ベースプレートの被接合面よりも外側に突出した突出部を有し、ＲＦ電極の一部が突出部に設けられている。
【００１０】
ＲＦ電極の一部を突出部に設けることで、誘電体基板の直上の空間の略全体（突出部の直上を含む）を、ＲＦ電極を含む一対の電極で挟み込むことができる。これにより、誘電体基板の上方側におけるプラズマの均一性を確保することが可能となる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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