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発行日2024-07-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775444
登録日2024-07-05
意匠に係る物品成膜機用ガスリング
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024001061
出願日2024-01-22
意匠権者JSWアフティ株式会社
代理人弁理士法人筒井国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば半導体ウェハなどの基板に対して成膜を行う成膜機に取り付けられ、成膜ガスの噴き出しのために用いられるガスリングである。正面図に表れている4つの円弧状の模様と底面の3つの円弧部分を含む模様とは、溶接跡であり凹凸を有していない。正面図に表れている4つの円弧状の模様のそれぞれの両端部には、平面側から底面側の途中深さに亘るガス吹出口が設けられている。これらのガス吹出口は、本物品の内部を通じて、底面図の中心の下部に位置する孔部に接続されている。
意匠の説明
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