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発行日2025-04-08
公報種別意匠公報(S)
登録番号1795479
登録日2025-03-31
意匠に係る物品シャワーヘッド用バッフル
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024020633
出願日2024-10-04
意匠権者ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、半導体処理システムにおいて処理ガス流れを半導体基板およびペデスタルの周囲に供給するためにシャワーヘッドに備えて用いられるバッフルである。
意匠の説明背面図、右側面図および左側面図は、正面図と同一であるため省略する。実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。第1参考図は、シャワーヘッドに備えられて用いられる本物品の使用態様を示し、第2～第4参考図は、本物品が備えられ得るシャワーヘッドの一例を示している。

この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

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