意匠ウォッチ

TOP｜特許｜意匠｜商標

意匠ウォッチ Twitter

発行日2025-04-10
公報種別意匠公報(S)
登録番号1795827
登録日2025-04-02
意匠に係る物品基板支持体用シールカバーバンド
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024023183
出願日2024-11-08
意匠権者ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、基板支持体、例えば、静電チャック、を構成する接合層を保護するために備えられているシールを覆うためのシールカバーバンドである。基板支持体において、ベースプレートとトッププレートとは接合層によって接合されている。シールは、接合層を含む、基板支持体の外周縁部において、ベースプレートとトッププレートとの間に配置されている。本物品は、シールを保護するために、基板支持体の外周縁部においてベースプレートとトッププレートとの間にはめ込まれ、シールを覆う。
意匠の説明背面図、右側面図および左側面図は、正面図と同じであるため省略する。底面図は、平面図と同じであるため省略する。

この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

関連意匠

ラムリサーチコーポレーション

シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

シャワーヘッド用バッフル

ラムリサーチコーポレーション

ラムリサーチコーポレーション

ラムリサーチコーポレーション

基板支持体用シールカバーバンド

ラムリサーチコーポレーション

基板支持体用シールカバーバンド

ラムリサーチコーポレーション

基板支持体用シールカバーバンド

ラムリサーチコーポレーション

基板支持具

ラムリサーチコーポレーション

基板支持具

ラムリサーチコーポレーション

キャリアリング

ラムリサーチコーポレーション

キャリアリング

ラムリサーチコーポレーション

シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

プラズマチャンバ用シールド

ラムリサーチコーポレーション

半導体処理用シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

半導体処理用シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

基板処理システム用ペデスタル

ラムリサーチコーポレーション

基板処理システム用ペデスタル

ラムリサーチコーポレーション

基板処理システム用ペデスタル

東京窯業株式会社

東京窯業株式会社

東京窯業株式会社

東京窯業株式会社

大蔵工業株式会社

株式会社寺岡精工

大蔵工業株式会社

株式会社KOKUSAI ELECTRIC

ノードソンコーポレーション

株式会社プロスタッフ

ファインマシーンカタオカ株式会社

株式会社KOKUSAI ELECTRIC

三菱鉛筆株式会社

大蔵工業株式会社

大蔵工業株式会社

ラムリサーチコーポレーション

ラムリサーチコーポレーション

続きを見る