特許ウォッチ

公開番号2025068887
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-30
出願番号2023178984
出願日2023-10-17
発明の名称真空ポンプ、真空ポンプの回転体及び真空ポンプの上流側の回転翼
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250422BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】下流側の回転翼から上流側の回転翼への熱の流入を抑制する。
【解決手段】第1の回転翼20Aと、第1の回転翼20Aより下流側に配設された第2の回転翼30Aと、第1の回転翼20Aと第2の回転翼30Aとに回転を伝える回転軸113と、回転軸113の駆動機構121と、回転軸113、第1の回転翼20Aおよび第2の回転翼30Aを内包するケーシング127と、を有する真空ポンプ100Aであって、第1の回転翼20Aと第2の回転翼30Aの互いに対向する表面部の間に隙間n1が設けられ、第1の回転翼20Aの対向する表面部の少なくとも一部は、当該対向する表面部以外の表面部に比べて放射率が低くなるように構成されている。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
第１の回転翼と、
前記第１の回転翼より下流側に配設された第２の回転翼と、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼とに回転を伝える回転軸と、
前記回転軸の駆動機構と、
前記回転軸、前記第１の回転翼および前記第２の回転翼を内包するケーシングと、
を有する真空ポンプであって、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼の互いに対向する表面部の間に隙間が設けられ、前記第１の回転翼の前記対向する表面部の少なくとも一部は、当該対向する表面部以外の表面部に比べて放射率が低いことを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記真空ポンプの運転時において、前記第１の回転翼が、前記第２の回転翼によりも低温となるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記第２の回転翼の加熱手段を備えることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記第１の回転翼の冷却手段を備えることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記第２の回転翼を形成する第２の材料は、前記第１の回転翼を形成する第１の材料より耐熱性が高い材料であることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記第１の回転翼は、当該第１の回転翼の外周に配設された複数段の回転ブレードの翼列を有し、
前記真空ポンプは、前記複数段の回転ブレードの翼列の間に配設された静止ブレードの翼列を有し、
前記複数段の回転ブレードの翼列と前記静止ブレードの翼列で、ターボ分子ポンプ機構を形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記第２の回転翼は、当該第２の回転翼に配設された少なくとも１つの回転円筒部を有し、
前記真空ポンプは、前記回転円筒部の外周面または内周面に対向して配設された少なくとも１つの静止円筒部を有し、
前記回転円筒部と前記静止円筒部で、ホルベック型ドラッグポンプ機構を形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記第２の回転翼は、当該第２の回転翼に配設された少なくとも１つの回転円板部を有し、
前記真空ポンプは、前記回転円板部に軸方向に対向して配設された少なくとも１つの静止円板部を有し、
前記回転円板部と前記静止円板部で、シグバーン型ドラッグポンプ機構を形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
第１の回転翼と、
前記第１の回転翼より下流側に配設された第２の回転翼と、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼とに回転を伝える回転軸と、
を有する真空ポンプの回転体であって、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼の互いに対向する表面部の間に隙間が設けられ、前記第１の回転翼の前記対向する表面部の少なくとも一部は、当該対向する表面部以外の表面部に比べて放射率が低いことを特徴とする真空ポンプの回転体。
【請求項１０】
回転軸を共通化して上流側と下流側とに回転翼が配設される真空ポンプの上流側の回転翼であって、
前記上流側の回転翼の径方向内側であって、前記回転軸から離隔した内周面の少なくとも一部は、当該内周面以外の表面部に比べて放射率が低いことを特徴とする真空ポンプの上流側の回転翼。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、真空ポンプの回転体及び真空ポンプの上流側の回転翼に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
真空排気を行うために、回転翼の高速回転を利用した真空ポンプが使用されている。
近年、真空ポンプは、回転翼を上流側の回転翼と下流側の回転翼とに分けて構成し、それぞれの回転翼を異なる材料で形成することが行われている。
真空ポンプは、下流側が高圧となるため上流側の回転翼よりも下流側の回転翼が高温となる。また、一般に、駆動源となるモータは回転翼の下流側に配置されることが多く、その場合、モータからの放熱により、下流側の回転翼がさらに高温となる。
このため、下流側の回転翼には高温に耐久性を有する耐熱性に高い材料を使用し、上流側の回転翼には下流側の回転翼よりも耐熱性の低い材料を使用して、材料コストの低減を図っていた。
なお、ここでいう「耐熱性」とは、材料の高温強度を示し、「耐熱性」が高いという場合には、より高い温度で強度等の物理的性質の低下が生じにくいことを示す。以下、本明細書の記載全体において同様とする。
【０００３】
また、真空排気を行う際に排気されるガスには、真空排気を行う対象によっては固化成分が含まれている場合がある。この固化成分は、高圧又は低温下で昇華して固化するため、下流側の回転翼の付着や堆積を防ぐために、下流側の回転翼を通過する領域では、固化成分の昇華温度以上となる高温状態が要求される場合がある。
【０００４】
このため、上流側の回転翼では低温、下流側の回転翼では高温となるように明確な温度差が要求されていた。
このような要求に対応するために、従来の真空ポンプは、上流側の回転翼と下流側の回転翼との間に、断熱材料を介挿し、下流側の回転翼のから上流側の回転翼への熱流入の抑制が図られていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－３１０３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の真空ポンプは、下流側の回転翼から上流側の回転翼への放射熱の影響を抑えることができず、上流側の回転翼と下流側の回転翼との温度差を維持するには、改善の余地があった。
【０００７】
本発明は、下流側の回転翼から上流側の回転翼への熱の流入を抑制することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明は、
第１の回転翼と、
前記第１の回転翼より下流側に配設された第２の回転翼と、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼とに回転を伝える回転軸と、
前記回転軸の駆動機構と、
前記回転軸、前記第１の回転翼および前記第２の回転翼を内包するケーシングと、
を有する真空ポンプであって、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼の互いに対向する表面部の間に隙間が設けられ、前記第１の回転翼の前記対向する表面部の少なくとも一部は、当該対向する表面部以外の表面部に比べて放射率が低いことを特徴とする。
【０００９】
また、上記の課題を解決するため、本発明は、
第１の回転翼と、
前記第１の回転翼より下流側に配設された第２の回転翼と、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼とに回転を伝える回転軸と、
を有する真空ポンプの回転体であって、
前記第１の回転翼と前記第２の回転翼の互いに対向する表面部の間に隙間が設けられ、前記第１の回転翼の前記対向する表面部の少なくとも一部は、当該対向する表面部以外の表面部に比べて放射率が低いことを特徴とする。
【００１０】
また、上記の課題を解決するため、本発明は、
回転軸を共通化して上流側と下流側とに回転翼が配設される真空ポンプの上流側の回転翼であって、
前記上流側の回転翼の径方向内側であって、前記回転軸から離隔した内周面の少なくとも一部は、当該内周面以外の表面部に比べて放射率が低いことを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許