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発行日2025-06-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800872
登録日2025-06-04
意匠に係る物品ワーク等保持ユニット
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000972
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社ナガセインテグレックス
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明この意匠に係る物品は、半導体等の製造においてウェハを研磨する研磨装置に取り付けて使用されるワーク等保持ユニットである。使用状態を示す参考図1乃至3は、研磨装置本体にワーク(研磨物)やドレッサーを保持させたワーク等保持ユニットを取り付けた状態を表している。使用時には、本物品の下面にワークやドレッサーを保持させるとともにワークやドレッサーの保持部がガイドレールに沿って上下動する。その際、本物品の周面に設けられた振り回し調整部を調整することによって、ワークやドレッサーが水平になるように調整することができる。
意匠の説明参考図を除く各図において、意匠登録を受けようとする部分を実線で、それ以外の部分を破線で表した。各斜視図、各部の名称を示す参考図に表れる途切れた線は、立体表面の形状を表すためのものである。
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