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公開番号2025069005
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-30
出願番号2023179169
出願日2023-10-17
発明の名称透過率測定方法、及び膜付き基板の製造方法
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人矢野内外国特許事務所
主分類G01N 21/01 20060101AFI20250422BHJP(測定;試験)
要約【課題】光源からの光束を測定対象物に透過させ、検出器によって検出することにより、測定対象物の透過率を測定する透過率測定方法であって、測定対象物における複数個所の透過率を容易に測定することができる透過率測定方法、及び当該透過率測定方法によって膜付き基板の透過率を測定する工程を備えた、膜付き基板の製造方法を提供する。
【解決手段】膜付き基板Gを保持する測定治具6を介して、治具固定板7の所定位置にて膜付き基板Gを支持し、測定治具6は、膜付き基板Gの一方の主面G1を覆うように挟持して当該膜付き基板Gを保持するとともに、当該主面G1を露出させる複数の治具側貫通孔61dを有し、治具固定板7は、光束Lの光軸と交差して配置されるとともに、光束Lが通過可能な固定板側貫通孔71aを有し、前記所定位置において、膜付き基板Gは、何れか1つの治具側貫通孔61dと、固定板側貫通孔71aとを同軸上に重ねて支持される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
光源から発せられた光束を、測定対象物に透過させて検出器によって検出することにより、当該測定対象物の透過率を測定する透過率測定方法であって、
測定治具によって測定対象物を保持し、当該測定治具を治具固定板に固定することにより、測定対象物を所定位置にて支持し、
前記測定治具は、
前記測定対象物の一方の主面を覆うようにして挟持することにより、当該測定対象物を保持するとともに、
前記一方の主面を露出させる複数の治具側貫通孔を有し、
前記治具固定板は、
前記光束の光軸と交差した状態で配置されるとともに、
前記光束が通過可能な固定板側貫通孔を有し、
前記所定位置において、
前記測定対象物は、
何れか１つの前記治具側貫通孔と、前記固定板側貫通孔とを互いに同軸上に重ねた状態で支持される、
ことを特徴とする透過率測定方法。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
前記測定治具は、樹脂製部材からなる、
ことを特徴とする、請求項１に記載の透過率測定方法。
【請求項３】
前記測定治具は、
マグネットからなる接続手段を有し、
前記接続手段を介して、前記治具固定板に対して着脱可能に接続することにより固定される、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の透過率測定方法。
【請求項４】
前記光束の前記光軸上には、
前記測定対象物のみが存在する、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の透過率測定方法。
【請求項５】
前記光源と前記検出器との間において、
前記測定治具によって保持された前記測定対象物は、前記光源側に位置し、
前記治具固定板は、前記検出器側に位置する、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の透過率測定方法。
【請求項６】
前記測定治具及び前記治具固定板は、黒色に着色されている、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の透過率測定方法。
【請求項７】
板ガラスの主面に薄膜を形成して膜付き基板を得る成膜工程と、
前記成膜工程の終了後、請求項１または請求項２に記載の透過率測定方法を用いて、
得られた膜付き基板を測定対象物として、当該膜付き基板の透過率を測定する測定工程とを備える、
ことを特徴とする膜付き基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の透過率を測定する透過率測定方法、及び測定対象物の一例である膜付き基板を製造する方法であって、当該透過率測定方法によって、得られた膜付き基板の透過率を測定する工程を備えた、膜付き基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、板ガラスの主面に薄膜（機能膜）が成膜された膜付き基板の製造工程においては、品質検査の一例として、各工程を経て作製された膜付き基板をランダムに抜き出してサンプル基板とし、当該サンプル基板の透過率を測定することにより、最終製品としての膜付き基板の品質向上が図られている。
【０００３】
測定対象物であるサンプル基板の透過率を測定する手法としては、分光光度計（例えば、「特許文献１」を参照）を用いた測定方法が一般的である。
分光光度計は、主に、開口部を有した積分球と、当該積分球の開口部と対向して配置される光源と、透過率を検出する検出器とを備えており、光源から照射された光は、上記開口部を介して積分球の内面に到達した後、一旦散乱して均一化され、その後、検出器によって受光される構成となっている。
【０００４】
そして、このような構成からなる分光光度計によって、測定対象物の透過率を測定する場合、先ず始めに、積分球の近傍において、当該積分球の開口部を塞ぐようにして測定対象物を配置し、その後、光源から光を照射する。
光源から照射された光は、測定対象物を透過して積分球の内部に到達した後、検出器によって受光され、これにより測定対象物の透過率が検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００３－４２９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、膜付き基板の製造工程において、従来より用いられている分光光度計は、主に５０ｍｍ×５０ｍｍ程度の小型サイズのサンプル基板を測定対象物とするものであり、積分球（より具体的には、積分球の開口部）の近傍には、このような小型サイズのサンプル基板に対応した保持機構しか設けられておらず、当該保持機構によって、例えば２００ｍｍ×３００ｍｍ程度の大型サイズのサンプル基板を安定して保持することが困難であった。
従って、上記大型サイズのサンプル基板に対して、複数個所の透過率を測定する場合には、先ず始めに当該サンプル基板を所定の小型サイズ（５０ｍｍ×５０ｍｍ程度）に切断して複数枚のサンプル片を形成し、その後、これら複数枚のサンプル片の中から所望のサンプル片を逐次抜き出して、上記保持機構によって保持しなければならず、作業者にとって、透過率の測定作業は手間のかかるものであった。
【０００７】
本発明は、以上に示した現状の問題点に鑑みてなされたものであり、光源から発せられた光束を、測定対象物に透過させて検出器によって検出することにより、当該測定対象物の透過率を測定する透過率測定方法であって、測定対象物における複数個所の透過率を容易に測定することができる透過率測定方法、及び当該透過率測定方法によって、得られた膜付き基板の透過率を測定する工程を備えた、膜付き基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
即ち、本発明の態様１に係る透過率測定方法は、光源から発せられた光束を、測定対象物に透過させて検出器によって検出することにより、当該測定対象物の透過率を測定する透過率測定方法であって、測定治具によって測定対象物を保持し、当該測定治具を治具固定板に固定することにより、測定対象物を所定位置にて支持し、前記測定治具は、前記測定対象物の一方の主面を覆うようにして挟持することにより、当該測定対象物を保持するとともに、前記一方の主面を露出させる複数の治具側貫通孔を有し、前記治具固定板は、前記光束の光軸と交差した状態で配置されるとともに、前記光束が通過可能な固定板側貫通孔を有し、前記所定位置において、前記測定対象物は、何れか１つの前記治具側貫通孔と、前記固定板側貫通孔とを互いに同軸上に重ねた状態で支持されることを特徴とする。
このような構成を有することにより、本発明に係る透過率測定方法によれば、治具固定板に固定される測定治具の位置を適宜変更して、当該測定治具に設けられる任意の治具側貫通孔の位置を、固定板側貫通孔に対して同軸上に重なる位置に変更するだけで、測定対象物の所望の位置における透過率を測定することが可能であり、測定対象物における複数個所の透過率を、容易に測定することができる。
また、本発明に係る透過率測定方法によれば、従来のように、測定対象物を切断して小型サイズのサンプル片を形成する必要がなく、当該測定対象物をそのままの状態（製品サイズ）で所定位置に保持して、透過率を測定することができるため、測定後の測定対象物を、廃棄処分の対象とすることなく最終製品として取り扱うことが可能であり、経済的である。
【００１０】
また、本発明の態様２に係る透過率測定方法は、上記態様１において、前記測定治具は、樹脂製部材からなることを特徴とする。
このような構成を有することにより、例えば、板ガラスの主面に薄膜（機能膜）が成膜された膜付き基板を測定対象物とした場合であっても、傷や欠け等を生じることなく、測定治具によって測定対象物を安定して保持することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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