特許ウォッチ

公開番号2025071089
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2024213927,2023007338
出願日2024-12-06,2023-01-20
発明の名称情報処理装置、配線パターン形成システム、情報処理方法及び制御プログラム
出願人旭化成株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23K 26/00 20140101AFI20250424BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の適切な照射条件を提示することができる情報処理装置、配線パターン形成システム、情報処理方法及び制御プログラムを提供する。
【解決手段】表面に配置された物質にレーザ光が照射されることによって配線パターンが形成される基材の物性値の物性値情報を取得する取得部と、所定の基材の物性値の物性値情報が入力された場合に所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報を出力するように学習された学習モデルに、取得部によって取得された物性値情報を入力し、学習モデルから出力された情報に基づいて、基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の照射条件を算出する算出部と、照射条件を出力する出力部と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
表面に配置された物質にレーザ光が照射されることによって配線パターンが形成される基材の物性値に関する物性値情報を取得する取得部と、
所定の基材の物性値の物性値情報が入力された場合に前記所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報を出力するように学習された学習モデルに、前記取得部によって取得された物性値情報を入力し、前記学習モデルから出力された情報に基づいて、前記基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の照射条件を算出する算出部と、
前記照射条件を出力する出力部と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
続きを表示（約 2,300 文字）【請求項２】
表面に配置された物質にレーザ光が照射されることによって配線パターンが形成される基材の物性値に関する物性値情報と、前記基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報とを取得する取得部と、
所定の基材の物性値の物性値情報と、所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報とが入力された場合に前記所定の基材の表面に配置された物質に前記レーザ光照射に関する情報に基づくレーザ光が照射されることによって形成される配線パターンの品質に関する情報を出力するように学習された学習モデルに、前記取得部によって取得された物性値情報と、所定のレーザ光照射に関する情報とを入力し、前記学習モデルから出力された情報に基づいて、前記基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の照射条件を算出する算出部と、
前記照射条件を出力する出力部と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項３】
前記物性値情報は、前記基材の機械物性に関する情報と、前記基材の光学物性又は電気物性に関する情報と、前記基材の熱物性に関する情報とのうちの少なくとも一つを含む、請求項１又は２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記物性値情報は、前記基材の機械物性に関する情報のうちの少なくとも一つと、前記基材の光学物性又は電気物性に関する情報のうちの少なくとも一つと、前記基材の熱物性に関する情報のうちの少なくとも一つとを含む、請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記基材の機械物性に関する情報は、材質、アイゾット衝撃強度、シャルピー衝撃強度、引張伸び、引張強さ、引張弾性率、引張破壊歪み、引張降伏応力、引裂強さ、曲げ応力、曲げ強度、曲げ弾性率、降伏ひずみ、成形収縮率、吸水率、密度、表面硬度、ロックウェル硬度又は表面粗さを含み、
前記基材の光学物性又は電気物性に関する情報は、色、吸光度、ヘイズ、全光線透過率、屈折率、体積抵抗率、表面抵抗率、誘電正接、絶縁耐力、比誘電率、耐アーク性、耐トラッキング性、反射率又は光沢度を含み、
前記基材の熱物性に関する情報は、耐熱温度、ガラス転移温度、ビカット軟化温度、比熱、熱伝導率、燃焼性、酸素指数、線膨張係数、荷重たわみ温度、融点、メルトマスフローレート又はメルトボリュームフローレートを含む、
請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記取得部は、前記基材の表面に配置された物質の厚さに関する厚さ情報と、前記基材上の配線パターンに関する配線パターン情報とをさらに取得し、
前記学習モデルは、前記所定の基材の物性値情報に加えて、前記所定の基材の表面に配置された物質の厚さ情報と、前記所定の基材上の配線パターンの配線パターン情報とが入力された場合に前記所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報を出力するように学習され、
前記算出部は、前記学習モデルに、前記取得部によって取得された物性値情報と、厚さ情報と、配線パターン情報とを入力し、前記学習モデルから出力された情報に基づいて、前記照射条件を算出する、
請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記取得部は、前記基材の表面に配置された物質の厚さに関する厚さ情報と、前記基材上の配線パターンに関する配線パターン情報とをさらに取得し、
前記学習モデルは、前記所定の基材の物性値情報と、前記レーザ光照射に関する情報とに加えて、前記所定の基材の表面に配置された物質の厚さ情報と、前記所定の基材上の配線パターンの配線パターン情報とが入力された場合に前記品質に関する情報を出力するように学習され、
前記算出部は、前記学習モデルに、前記取得部によって取得された物性値情報と、厚さ情報と、配線パターン情報と、レーザ光照射に関する情報とを入力し、前記学習モデルから出力された情報に基づいて、前記照射条件を算出する、
請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記照射条件は、レーザ光の強度又はレーザ光の走査速度を含む、請求項１又は２に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記物質は、金属、金属酸化物、グラフェン、グラファイト、又は、レーザ光を照射することによって導電性が生じるポリマ材料を含む、請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
情報処理装置と、レーザ光照射装置と、を有する配線パターン形成システムであって、
前記情報処理装置は、
表面に配置された物質にレーザ光が照射されることによって配線パターンが形成される基材の物性値に関する物性値情報を取得する取得部と、
所定の基材の物性値の物性値情報が入力された場合に前記所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報を出力するように学習された学習モデルに、前記取得部によって取得された物性値情報を入力し、前記学習モデルから出力された情報に基づいて、前記基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の照射条件を算出する算出部と、
前記照射条件を出力する出力部と、を有し、
前記レーザ光照射装置は、前記出力部から出力された照射条件に基づいて、前記基材の表面に配置された物質にレーザ光を照射することによって配線パターンを形成する形成部を有する、
ことを特徴とする配線パターン形成システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、情報処理装置、配線パターン形成システム、情報処理方法及び制御プログラムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
基材の表面に配置された金属酸化物等の物質にレーザ光をパターン状に照射することによって、基材の表面に配線パターンを形成する配線パターン形成システムが開発されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基材の金属粒子を含む表面に光線を繰り返し照射して金属粒子を熱焼成させることによって、基板上に所望の配線パターンを形成する金属配線の製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１４０２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
配線パターン形成システムでは、基材の表面に配線パターンを適切に形成するために、基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の適切な照射条件を取得することが求められている。
【０００６】
本開示は、基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の適切な照射条件を提示することができる情報処理装置、配線パターン形成システム、情報処理方法及び制御プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一側面に係る情報処理装置は、表面に配置された物質にレーザ光が照射されることによって配線パターンが形成される基材の物性値に関する物性値情報を取得する取得部と、所定の基材の物性値の物性値情報が入力された場合に所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報を出力するように学習された学習モデルに、取得部によって取得された物性値情報を入力し、学習モデルから出力された情報に基づいて、基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の照射条件を算出する算出部と、照射条件を出力する出力部と、を有することを特徴とする。
【０００８】
本開示の一側面に係る情報処理装置は、表面に配置された物質にレーザ光が照射されることによって配線パターンが形成される基材の物性値に関する物性値情報と、基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報とを取得する取得部と、所定の基材の物性値の物性値情報と、所定の基材の表面に配置された物質に対するレーザ光照射に関する情報とが入力された場合に所定の基材の表面に配置された物質にレーザ光照射に関する情報に基づくレーザ光が照射されることによって形成される配線パターンの品質に関する情報を出力するように学習された学習モデルに、取得部によって取得された物性値情報と、所定のレーザ光照射に関する情報とを入力し、学習モデルから出力された情報に基づいて、基材の表面に配置された物質に照射するレーザ光の照射条件を算出する算出部と、照射条件を出力する出力部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本開示の一側面に係る情報処理装置において、物性値情報は、基材の機械物性に関する情報と、基材の光学物性又は電気物性に関する情報と、基材の熱物性に関する情報とのうちの少なくとも一つを含むことが好ましい。
【００１０】
本開示の一側面に係る情報処理装置において、物性値情報は、基材の機械物性に関する情報のうちの少なくとも一つと、基材の光学物性又は電気物性に関する情報のうちの少なくとも一つと、基材の熱物性に関する情報のうちの少なくとも一つとを含むことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許