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公開番号2025071239
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2025025808,2024569377
出願日2025-02-20,2024-03-04
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01M 11/00 20060101AFI20250424BHJP(測定;試験)
要約【課題】フォトニック集積回路から出力される光の情報を取得することにより、フォトニック集積回路を適切に検査すること。
【解決手段】検査装置1は、PIC100を保持するステージ10と、PIC100の動作を制御するPICコントローラ20と、所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有し、導波路108によって導光されて少なくとも1つの光出力部102から出力された光を、透過特性に基づいて透過又は反射するLRGフィルタ61と、LRGフィルタ61を透過した光を撮像し透過画像を出力すると共に、LRGフィルタ61を介さずに到達した光を撮像し全光量画像を出力するカメラ62と、透過画像及び全光量画像に基づいて、光出力部102から出力された光の波長情報を導出する第1処理を実行するコンピュータ70と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも１つの光出力部及び導波路を有するフォトニック集積回路を検査する検査装置であって、
前記フォトニック集積回路を保持するステージと、
前記フォトニック集積回路の動作を制御する制御部と、
所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有し、前記導波路によって導光されて前記少なくとも１つの光出力部から出力された光を、前記透過特性に基づいて透過又は反射する光学フィルタと、
前記光学フィルタを透過又は反射した光を撮像し第１の画像データを出力すると共に、前記光出力部から出力された光であって前記光学フィルタを介さずに到達した光を撮像し第２の画像データを出力する撮像部と、
前記第１の画像データ及び前記第２の画像データに基づいて、前記光出力部から出力された光の波長情報を導出する第１処理を実行する解析部と、を備える検査装置。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
少なくとも１つの光出力部及び導波路を有するフォトニック集積回路を検査する検査方法であって、
前記フォトニック集積回路の動作を制御することと、
所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有する光学フィルタによって、前記導波路によって導光されて前記少なくとも１つの光出力部から出力された光を、前記透過特性に基づいて透過又は反射することと、
前記光学フィルタを透過又は反射した光を撮像して第１の画像データを出力することと、
前記光出力部から出力された光であって前記光学フィルタを介さずに到達した光を撮像して第２の画像データを出力することと、
前記第１の画像データ及び前記第２の画像データに基づいて、前記光出力部から出力された光の波長情報を導出することと、を含む検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、フォトニック集積回路（ＰＩＣ：Photonic IC）の開発が進んでいる。フォトニック集積回路は、様々な光学的な機能を統合したデバイスであり、光によって情報信号を伝達する。フォトニック集積回路を検査する方法として、フォトニック集積回路内の導波路における欠陥によって散乱された赤外光を撮像し、該撮像画像をディスプレイに表示して欠陥の空間的な位置を把握する方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－５８０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した検査方法では、撮像画像から欠陥の空間的な位置が把握されるものの、フォトニック集積回路から出力される光の情報（例えば波長情報）を得ることができない。このため、フォトニック集積回路について適切な検査を行うことができない場合がある。
【０００５】
本開示は上記実情に鑑みてなされたものであり、フォトニック集積回路から出力される光の情報を取得することにより、フォトニック集積回路を適切に検査することができる検査装置及び検査方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る検査装置は、［１］「少なくとも１つの光出力部及び導波路を有するフォトニック集積回路を検査する検査装置であって、フォトニック集積回路を保持するステージと、フォトニック集積回路の動作を制御する制御部と、所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有し、導波路によって導光されて少なくとも１つの光出力部から出力された光を、透過特性に基づいて透過又は反射する光学フィルタと、光学フィルタを透過又は反射した光を撮像し第１の画像データを出力すると共に、光出力部から出力された光であって光学フィルタを介さずに到達した光を撮像し第２の画像データを出力する撮像部と、第１の画像データ及び第２の画像データに基づいて、光出力部から出力された光の波長情報を導出する第１処理を実行する解析部と、を備える、検査装置」である。
【０００７】
本開示の一態様に係る検査装置では、フォトニック集積回路の光出力部から出力された光が、光学フィルタによって、波長に応じて透過又は反射される。そして、光学フィルタを透過又は反射した光を撮像した第１の画像データ、及び、光学フィルタを介さずに到達した光を撮像した第２の画像データに基づいて、光出力部から出力された光の波長情報が導出される。このように、本開示の一態様に係る検査装置においては、光学フィルタが用いられて波長に応じて光が透過又は反射されているので、第１の画像データは、光の波長に応じた画像データとなる。また、第１の画像データが光学フィルタを透過又は反射した光を撮像した画像データであり、第２の画像データが光学フィルタを介さずに到達した光を撮像した画像データであるので、これらの画像データからは、光学フィルタを透過した光及び光学フィルタを反射した光の情報を取得することができる。このように、波長に応じて透過又は反射された光の情報が取得されることにより、高精度に光の波長情報を取得することができる。以上のように、本発明の一態様に係る検査装置によれば、フォトニック集積回路から出力される光の情報（具体的には波長情報）を取得することができ、その結果、該波長情報を用いてフォトニック集積回路を適切に検査することができる。
【０００８】
本開示の一態様に係る検査装置は、［２］「フォトニック集積回路は、複数の光出力部を有し、光学フィルタは、複数の光出力部から出力された各光を、透過特性に基づいて透過又は反射する、［１］記載の検査装置」であってもよい。このような構成によれば、空間的に互いに異なる位置に設けられた複数の光出力部からの光の波長情報が一括して取得され、フォトニック集積回路をより迅速且つ適切に検査することができる。
【０００９】
本開示の一態様に係る検査装置は、［３］「撮像部は、光学フィルタを透過又は反射した光を撮像すると共に、光出力部から出力された光であって光学フィルタを介さずに到達した光を撮像するイメージセンサを有する、［１］又は［２］記載の検査装置」であってもよい。このようなイメージセンサによれば、所望の光を適切に撮像することができる。
【００１０】
本開示の一態様に係る検査装置は、［４］「光出力部と撮像部との間の光路に、光学フィルタが設けられた状態と、光学フィルタが設けられていない状態とを切り替え可能に構成された切替部を更に備える、［１］～［３］のいずれか一つに記載の検査装置」であってもよい。このような構成によれば、光学フィルタの有無を切り替えながら、上述した第１の画像データ及び第２の画像データを共に適切に取得することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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