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公開番号2025106744
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-16
出願番号2024000321
出願日2024-01-04
発明の名称磁界検出装置、及び、磁界検出方法
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01R 33/10 20060101AFI20250709BHJP(測定;試験)
要約【課題】高精度の検出が可能な磁界検出装置、及び、磁界検出方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、磁界検出装置は、検出対象からの磁界に関する2次元のデータを取得する取得部と、データを処理する第1動作を実施する処理部と、を含む。データは、第1～第3平面に沿う第1～第3磁界分布を含む。検出対象と第1平面との間の第1距離は、検出対象と第2平面との間の第2距離よりも短い。第2距離は、検出対象と第3平面との間の第3距離よりも短い。処理部は、第1動作において、第1～第3磁界分布に基づいて、第1平面に対して平行な第1導出平面における第1導出磁界分布を導出する。第1方向における前記検出対象と前記第1導出平面との間の第1導出距離は、第1～第3距離とは異なる。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
検出対象からの磁界に関する２次元のデータを取得するように構成された取得部と、
前記取得部が取得した前記データを処理する第１動作を実施するように構成された処理部と、
を備え、
前記データは、第１平面に沿う第１磁界分布と、前記第１平面に対して平行な第２平面に沿う第２磁界分布と、前記第１平面に対して平行な第３平面に沿う第３磁界分布と、を含み、
前記第１平面に対して垂直な第１方向における前記検出対象と前記第１平面との間の第１距離は、前記第１方向における前記検出対象と前記第２平面との間の第２距離よりも短く、
前記第２距離は、前記第１方向における前記検出対象と前記第３平面との間の第３距離よりも短く、
前記処理部は、前記第１動作において、前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布に基づいて、前記第１平面に対して平行な第１導出平面における第１導出磁界分布を導出し、
前記第１方向における前記検出対象と前記第１導出平面との間の第１導出距離は、前記第１距離とは異なり、前記第２距離とは異なり、前記第３距離とは異なる、磁界検出装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記第１距離と前記第２距離との間の第１差の第１絶対値は、前記第１磁界分布に含まれる第１ノイズの第１振幅に対応する前記第１方向に沿う第１長さよりも長い、請求項１に記載の磁界検出装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記第１動作において、前記第１平面に対して平行な平面における磁界分布と、前記第１方向における前記検出対象と前記第１平面に対して平行な前記平面と、の間の距離と、に関する第１関数を用いて、前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布に基づいて、前記第１導出磁界分布を導出する、請求項１に記載の磁界検出装置。
【請求項４】
前記導出された前記第１導出磁界分布における解像度が第１値よりも低い場合、前記処理部は、第２動作において第４磁界分布にさらに基づいて前記第１導出磁界分布を導出し、
前記第４磁界分布は、前記第１平面に対して平行な第４平面に沿い、
前記第１方向における前記検出対象と前記第４平面との間の第４距離は、前記第１距離とは異なり、前記第２距離とは異なり、前記第３距離とは異なり、前記第１導出距離とは異なる、請求項１～３のいずれか１つに記載の磁界検出装置。
【請求項５】
前記データを検出するように構成された検出部をさらに備え、
前記検出部が前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布を検出した後に、前記処理部は前記第１動作を実施し、
前記第１動作において前記導出された前記第１導出磁界分布における前記解像度が前記第１値よりも低い場合に、前記検出部は前記第４磁界分布を検出する、請求項４に記載の磁界検出装置。
【請求項６】
検出対象からの磁界に関する２次元のデータを取得し、
前記データを処理する第１動作を実施し、
前記データは、第１平面に沿う第１磁界分布と、前記第１平面に対して平行な第２平面に沿う第２磁界分布と、前記第１平面に対して平行な第３平面に沿う第３磁界分布と、を含み、
前記第１平面に対して垂直な第１方向における前記検出対象と前記第１平面との間の第１距離は、前記第１方向における前記検出対象と前記第２平面との間の第２距離よりも短く、
前記第２距離は、前記第１方向における前記検出対象と前記第３平面との間の第３距離よりも短く、
前記第１動作において、前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布に基づいて、前記第１平面に対して平行な第１導出平面における第１導出磁界分布を導出し、
前記第１方向における前記検出対象と前記第１導出平面との間の第１導出距離は、前記第１距離とは異なり、前記第２距離とは異なり、前記第３距離とは異なる、磁界検出方法。
【請求項７】
前記第１距離と前記第２距離との間の第１差の第１絶対値は、前記第１磁界分布に含まれる第１ノイズの第１振幅に対応する前記第１方向に沿う第１長さよりも長い、請求項６に記載の磁界検出方法。
【請求項８】
前記第１動作において、前記第１平面に対して平行な平面における磁界分布と、前記第１方向における前記検出対象と前記第１平面に対して平行な前記平面と、の間の距離と、に関する第１関数を用いて、前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布に基づいて、前記第１導出磁界分布を導出する、請求項６に記載の磁界検出方法。
【請求項９】
前記導出された前記第１導出磁界分布における解像度が第１値よりも低い場合、第２動作を実施し、
前記第２動作において第４磁界分布にさらに基づいて前記第１導出磁界分布を導出し、
前記第４磁界分布は、前記第１平面に対して平行な第４平面に沿い、
前記第１方向における前記検出対象と前記第４平面との間の第４距離は、前記第１距離とは異なり、前記第２距離とは異なり、前記第３距離とは異なり、前記第１導出距離とは異なる、請求項６～８のいずれか１つに記載の磁界検出方法。
【請求項１０】
検出部により前記データを検出し、
前記検出部が前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布を検出した後に、前記第１動作を実施し、
前記第１動作において前記導出された前記第１導出磁界分布における前記解像度が前記第１値よりも低い場合に、前記検出部により前記第４磁界分布を検出する、請求項９に記載の磁界検出方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、磁界検出装置、及び、磁界検出方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、電気回路などの評価対象から生じる磁界を検出することで、評価対象が評価される。より高い精度の検出が望まれる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
木村建次郎、美馬勇輝、木村憲明、大藪範昭、稲男健、“磁場顕微鏡の開発と電子部品非破壊検査への応用”、第２６回エレクトロニクス実装学会春季講演大会、8C-07、pp.170-172.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
実施形態は、高精度の検出が可能な磁界検出装置、及び、磁界検出方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態によれば、磁界検出装置は、検出対象からの磁界に関する２次元のデータを取得するように構成された取得部と、前記取得部が取得した前記データを処理する第１動作を実施するように構成された処理部と、を含む。前記データは、第１平面に沿う第１磁界分布と、前記第１平面に対して平行な第２平面に沿う第２磁界分布と、前記第１平面に対して平行な第３平面に沿う第３磁界分布と、を含む。前記第１平面に対して垂直な第１方向における前記検出対象と前記第１平面との間の第１距離は、前記第１方向における前記検出対象と前記第２平面との間の第２距離よりも短い。前記第２距離は、前記第１方向における前記検出対象と前記第３平面との間の第３距離よりも短い。前記処理部は、前記第１動作において、前記第１磁界分布、前記第２磁界分布及び前記第３磁界分布に基づいて、前記第１平面に対して平行な第１導出平面における第１導出磁界分布を導出する。前記第１方向における前記検出対象と前記第１導出平面との間の第１導出距離は、前記第１距離とは異なり、前記第２距離とは異なり、前記第３距離とは異なる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１及び図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図１に示すように、実施形態に係る磁界検出装置１１０は、取得部７１及び処理部７０を含む。
【０００９】
取得部７１は、検出対象８０からの磁界に関する２次元のデータ１０Ｄを取得するように構成される。処理部７０は、取得部７１が取得したデータ１０Ｄを処理する第１動作を実施するように構成される。取得部７１は、例えばインタフェースで良い。処理部７０は、例えば、プロセッサ回路で良い。処理部７０は、例えば、電気回路で良い。
【００１０】
データ１０Ｄは、検出部８５により検出されて良い。検出部８５は、検出対象８０からの磁界に関する２次元のデータ１０Ｄを検出するように構成される。データ１０Ｄは、有線または無線の任意の方法により、検出部８５から取得部７１に供給されて良い。データ１０Ｄは、記憶部７０Ｍに保存されても良い。記憶部７０Ｍに保存されたデータ１０Ｄが、処理部７０により処理されて良い。
（【００１１】以降は省略されています）

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