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発行日2024-11-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1700781
登録日2021-11-09
意匠に係る物品基板処理装置用断熱板
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021005833
出願日2021-03-22
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、ウエハを処理する基板処理装置において、ウエハボートの下方に配設されて使用され、ヒータからの輻射熱を遮断する断熱板である。
意匠の説明
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