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発行日2025-02-04
公報種別意匠公報(S)
登録番号1706322
登録日2022-01-21
意匠に係る物品半導体製造装置用基板支持具
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021018468
出願日2021-08-27
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、複数のウエハを処理する基板処理装置において、処理室内で基板を取り囲むように複数個設けられ、ピンの上で各ウエハを支持する基板支持具である。
意匠の説明
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