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発行日
2024-11-25
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1700782
登録日
2021-11-09
意匠に係る物品
基板処理装置用ボート
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2021007894
出願日
2021-04-14
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、基板処理装置の縦型反応室内に複数の基板を水平に保持するためのボートで、上端のリングは複数の支柱とネジにより固定されている。
意匠の説明
図面中、実線で表された部分が、意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界線のみを示す線である。
この意匠をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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