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発行日2025-02-04
公報種別意匠公報(S)
登録番号1706320
登録日2022-01-21
意匠に係る物品半導体製造装置用断熱ユニットカバー
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021014030
出願日2021-06-28
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、半導体ウエハ等の基板を処理する反応管の炉口部に設けられる断熱ユニットを覆うカバーである。
意匠の説明
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