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公開番号2025066537
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-23
出願番号2023176219
出願日2023-10-11
発明の名称質量分析装置および質量分析装置に用いられるサンプル供給部材
出願人株式会社島津製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01J 49/04 20060101AFI20250416BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複雑な制御を必要とすることなく、質量分析装置におけるスループットの向上を図ることを課題とする。
【解決手段】
質量分析装置1は、ハウジング10内を真空に維持することで質量分析処理を実行する質量分析装置であって、ハウジング10に設けられたサンプル供給口11と、サンプル供給口11に挿入されるサンプル供給部材3とを備える。サンプル供給部材3は、サンプルを収容するサンプルプレート7を支持するサンプルプレートホルダ4と、サンプルプレートホルダ4に支持されたサンプルプレート7をカバーするサンプルプレートカバー5とを有する。サンプル供給口11に挿入されたサンプル供給部材3がハウジング10の内方または外方に向かって移動するとき、サンプルプレートホルダ4またはサンプルプレートカバー5によりサンプル供給口11を塞ぐことによりハウジング内10の真空が維持される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ハウジング内を真空に維持することで質量分析処理を実行する質量分析装置であって、
前記ハウジングに設けられたサンプル供給口と、
前記サンプル供給口に挿入されるサンプル供給部材と、
を備え、
前記サンプル供給部材は、
サンプルを収容するサンプルプレートを支持する第１の部材と、
前記第１の部材に支持された前記サンプルプレートをカバーする第２の部材と、
を有し、
前記サンプル供給口に挿入された前記サンプル供給部材が前記ハウジングの内方または外方に向かって移動するとき、前記第１の部材または前記第２の部材により前記サンプル供給口を塞ぐことにより前記ハウジング内の真空が維持される、質量分析装置。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記ハウジング内で前記第１の部材を前記第２の部材から離脱させることで、前記第１の部材に支持された前記サンプルプレートが、前記ハウジング内の所定の位置に移動して前記質量分析処理が実行される、請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項３】
前記ハウジング内で前記第１の部材を前記第２の部材から離脱させたとき、前記第２の部材だけで前記ハウジング内の真空を維持する、請求項２に記載の質量分析装置。
【請求項４】
前記ハウジング外で前記第２の部材を前記第１の部材から離脱させることで、前記第１の部材に支持される前記サンプルプレートの交換を行う、請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項５】
前記ハウジング外で前記第２の部材を前記第１の部材から離脱させたとき、前記第１の部材だけで前記ハウジング内の真空を維持する、請求項４に記載の質量分析装置。
【請求項６】
前記サンプル供給口に２つの真空シールが設けられ、前記２つの真空シールの間に中真空状態または低真空状態の中－低真空部が形成される、請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項７】
前記サンプル供給口に挿入された前記サンプル供給部材が前記ハウジングの内方に向かって移動し、前記第１の部材と前記第２の部材との接続部が前記中－低真空部に位置するとき、前記接続部を介して、前記第１の部材および前記第２の部材により囲まれた前記サンプルプレートを収容する空間が中真空状態または低真空状態とされる、請求項６に記載の質量分析装置。
【請求項８】
前記中－低真空部は、１０
１
～１０
３
Ｐａの圧力に設定される、請求項６に記載の質量分析装置。
【請求項９】
請求項１～請求項８に記載の質量分析装置に用いられるサンプル供給部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空状態で分析処理を実行する質量分析装置、および、その質量分析装置に用いられるサンプル供給部材に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
真空処理されたハウジング内で分析処理を実行する質量分析装置がある。サンプルプレート上のウェルに収容された分析対象のサンプルは、高真空中でイオン化され、分析処理される。大気中で調製されたサンプルプレートを質量分析装置内に導入するとき、質量分析装置を大気開放する必要がある。しかし、質量分析装置の検出器は真空中で管理されることが好ましいため、質量分析装置は、大気開放する試料室と大気開放しない分析室とを有することが多い。
【０００３】
下記特許文献１には、大気開放する試料室と大気開放されない分析室とを有する質量分析装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２３／０３２９８３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
大気開放する試料室を有する質量分析装置であっても、試料室にサンプルプレートを供給した後、試料室内を真空とするまでの回復時間が必要である。さらに、試料室と分析室との間を区切るゲートバルブを開放した後、分析室内が分析可能な状態となるまで真空回復をする時間が必要である。
【０００６】
このように、大気開放する試料室を有する質量分析装置であっても、サンプルプレートを交換した後、真空回復時間が必要であり、分析処理のスループットを低下させることになる。
【０００７】
また、ターボ分子ポンプなどの真空機器は使用圧力が規定されており、これら真空機器の破損を防ぐためには、真空ポンプや真空バルブなどの機器を決まった順序で制御する必要がある。このため、大気開放と真空回復とを行う上記の質量分析装置では、複雑な制御が必要である。
【０００８】
本発明の目的は、複雑な制御を必要とすることなく、質量分析装置におけるスループットの向上を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一局面に従う質量分析装置は、ハウジング内を真空に維持することで質量分析処理を実行する質量分析装置であって、ハウジングに設けられたサンプル供給口と、サンプル供給口に挿入されるサンプル供給部材とを備え、サンプル供給部材は、サンプルを収容するサンプルプレートを支持する第１の部材と、第１の部材に支持されたサンプルプレートをカバーする第２の部材とを有し、サンプル供給口に挿入されたサンプル供給部材がハウジングの内方または外方に向かって移動するとき、第１の部材または第２の部材によりサンプル供給口を塞ぐことによりハウジング内の真空が維持される。
【００１０】
本発明は、また、質量分析装置に用いられるサンプル供給部材にも向けられている。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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