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公開番号2025069745
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-01
出願番号2023179656
出願日2023-10-18
発明の名称ウェーハの研削方法及びウェーハの製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 47/20 20060101AFI20250423BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研削機構が一つの研削装置において、研削したウェーハの厚み精度を向上させる。
【解決手段】チャックテーブル(20)に保持されたウェーハ(W)を研削砥石(62)で研削するウェーハの研削方法において、チャックテーブルの保持面(32)によって保持されたウェーハの上面を、研削砥石で所定の研削量(Ka)に満たない第1研削量(Kb)を研削する第1研削工程と、研削砥石をウェーハの上面から離しウェーハにかかる荷重を逃がす離隔工程と、ウェーハの上面に再び研削砥石を当接させ所定の研削量-第1研削量を研削する第2研削工程と、を行う。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
チャックテーブルに保持されたウェーハを研削砥石で研削するウェーハの研削方法であって、
前記チャックテーブルの保持面によって保持されたウェーハの上面を、前記研削砥石で所定の研削量に満たない第１研削量を研削する第１研削工程と、
前記研削砥石を前記ウェーハの上面から離し前記ウェーハにかかる荷重を逃がす離隔工程と、
前記ウェーハの上面に再び前記研削砥石を当接させ前記所定の研削量－前記第１研削量を研削する第２研削工程と、
からなる、ウェーハの研削方法。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
インゴットからスライスされたスライスウェーハの両面を研削してウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、
前記ウェーハの一方の面全面に保護部材を形成する保護部材形成工程と、
前記保護部材を介してチャックテーブルに前記ウェーハを保持させる第１保持工程と、
前記チャックテーブルに保持された前記ウェーハの他方の面を研削砥石で所定の研削量に満たない第１研削量を研削する第１研削工程と、
前記研削砥石を前記ウェーハの他方の面から離し前記ウェーハにかかる荷重を逃がす第１離隔工程と、
前記ウェーハの前記他方の面を前記研削砥石で前記所定の研削量－前記第１研削量の第２研削量を研削する第２研削工程と、
前記ウェーハの前記一方の面から前記保護部材を剥離する剥離工程と、
前記チャックテーブルに前記ウェーハの前記他方の面を保持させる第２保持工程と、
前記チャックテーブルに保持された前記ウェーハの前記一方の面を前記研削砥石で所定の研削量に満たない第３研削量を研削する第３研削工程と、
前記研削砥石を前記ウェーハの一方の面から離し前記ウェーハにかかる荷重を逃がす第２離隔工程と、
前記ウェーハの一方の面を前記研削砥石で前記所定の研削量－前記第３研削量の第４研削量を研削する第４研削工程と、
からなる、ウェーハの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの研削方法及びウェーハの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１や特許文献２に開示のように、ワイヤーソーなどの切断装置によってインゴットからスライスされたスライスウェーハの両面を研削して、所定の厚みの製品ウェーハを製造している。スライスウェーハに対して行う研削工程では、ウェーハの一方の面を研削した後、他方の面を研削して、ウェーハの各面におけるスライスの痕跡やうねりを除去しながら、ウェーハを所定の厚みにしている。
【０００３】
特許文献３に開示のように、ウェーハの一方の面の研削及び他方の面の研削において、第１研削機構による第１研削の後、ターンテーブルを回転させて、ウェーハを保持するチャックテーブルの位置を変更し、第２研削機構による第２研削を実施する研削装置及び研削方法が知られている。
【０００４】
また、特許文献４に開示のように、ウェーハの一方の面の研削及び他方の面の研削において、研削機構が一つの研削装置を用いる場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－２７２５５７号公報
特開２００６－２６９７６１号公報
特開２０１０－０６９５４９号公報
特開２０１５－１９９１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
研削装置でウェーハを研削する際には、研削砥石をウェーハに押し付けながら研削砥石とウェーハとを相対的に回転させており、研削砥石からウェーハに荷重が作用する。研削機構が一つの研削装置においてウェーハを研削する際に、研削の目標値である所定の研削量に達するまで連続して研削を行ってウェーハに荷重を与え続けると、ウェーハを保持するチャックテーブルに負荷がかかって傾き変化が生じるおそれがある。すると、所定の研削量を研削したウェーハは、チャックテーブルの傾き変化の影響を受けて、研削砥石による研削量が部分的にばらついてしまい、均一な厚みに研削することが難しいという問題があった。
【０００７】
なお、チャックテーブルの傾き変化が生じたときに、研削砥石を装着した研削機構にも傾きが生じることがある。研削機構の傾きも、ウェーハを均一な厚みに研削することを妨げる原因になる。
【０００８】
第１研削機構と第２研削機構を備える研削装置でウェーハを研削する場合は、第１研削機構による第１研削で発生したチャックテーブルの傾き変化が、第１研削後にチャックテーブルを支持するターンテーブルを回転させている間に解消され、チャックテーブルの傾き変化が生じていない状態で第２研削機構による第２研削を行うため、ウェーハを均一な厚みに研削しやすい。
【０００９】
このように、研削機構が一つの研削装置においては、研削機構が複数（二つ以上）の研削装置と比較して、厚み精度が悪くなりやすいという問題があった。一方、複数の研削機構を備える研削装置は、装置が大型化する、導入や運用に関するコストが高い、メンテナンスの負担が大きい、などの課題があり、研削機構が一つの研削装置の使用が選択されることも多い。
【００１０】
したがって、研削機構が一つの研削装置において、研削したウェーハの厚み精度を向上させる、という解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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