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公開番号2025078470
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-20
出願番号2023191064
出願日2023-11-08
発明の名称弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサ
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250513BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波素子の反共振周波数よりも高周波側にリップルが発生することを抑制する。
【解決手段】弾性波素子10は、圧電体層100の第1主面100aに形成された第1IDT電極11および複数の第1反射器31と、圧電体層100の第2主面100bに形成された第2IDT電極22および複数の第2反射器42と、を備える。第1方向d1における複数の第1反射器31の間の領域を第1領域m1とし、第1方向d1における複数の第2反射器42の間の領域を第2領域m2とし、第1方向d1および第2方向d2の両方に垂直な第3方向d3から見て第1領域m1および第2領域m2を含む最小領域を反射器間領域MRとした場合に、反射器間領域MRの第1方向d1の端部領域Eにおいて、第1IDT電極11の第1電極指11a、11b、および、第2IDT電極22の第2電極指22a、22bが、第3方向d3に互いに対向していない領域を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
圧電体層と、
前記圧電体層の第１主面に形成された第１ＩＤＴ電極および複数の第１反射器と、
前記圧電体層の前記第１主面に背向する第２主面に形成された第２ＩＤＴ電極および複数の第２反射器と、
を備え、
前記第１ＩＤＴ電極は、前記第１主面に沿う方向において、第１方向と交差する第２方向に延びるように配置された複数の第１電極指を有し、
前記複数の第１反射器のそれぞれは、前記第１方向において前記第１ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の第１反射電極指を有し、
前記第２ＩＤＴ電極は、前記第２主面に沿う方向において、前記第１方向と交差する前記第２方向に延びるように配置された複数の第２電極指を有し、
前記複数の第２反射器のそれぞれは、前記第１方向において前記第２ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の第２反射電極指を有し、
前記第１方向における前記複数の第１反射器の間の領域を第１領域とし、
前記第１方向における前記複数の第２反射器の間の領域を第２領域とし、
前記第１方向および前記第２方向の両方に垂直な第３方向から見て前記第１領域および前記第２領域を含む最小領域を反射器間領域とした場合に、
前記反射器間領域の前記第１方向の端部領域において、前記第１電極指および前記第２電極指が前記第３方向に互いに対向していない領域を有する、
または、
前記反射器間領域の前記第１方向の端部領域において、前記第１反射電極指および前記第２反射電極指が前記第３方向に互いに対向していない領域を有する
弾性波素子。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
さらに、前記複数の第２電極指および前記複数の第２反射電極指を覆うように前記第２主面上に形成された第２絶縁層を有し、
前記第２主面上の領域のうち、前記端部領域に位置する前記第１電極指から見て前記第３方向に位置する領域には、前記第２電極指が配置されておらず前記第２絶縁層が形成されている
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項３】
さらに、前記複数の第１電極指および前記複数の第１反射電極指を覆うように前記第１主面上に形成された第１絶縁層を有し、
前記第１主面上の領域のうち、前記端部領域に位置する前記第２電極指から見て前記第３方向に位置する領域には、前記第１電極指が配置されておらず前記第１絶縁層が形成されている
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項４】
さらに、前記複数の第２電極指および前記複数の第２反射電極指を覆うように前記第２主面上に形成された第２絶縁層を有し、
前記第２主面上の領域のうち、前記端部領域に位置する前記第１反射電極指から見て前記第３方向に位置する領域には、前記第２反射電極指が配置されておらず前記第２絶縁層が形成されている
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項５】
さらに、前記複数の第１電極指および前記複数の第１反射電極指を覆うように前記第１主面上に形成された第１絶縁層を有し、
前記第１主面上の領域のうち、前記端部領域に位置する前記第２反射電極指から見て前記第３方向に位置する領域には、前記第１反射電極指が配置されておらず前記第１絶縁層が形成されている
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項６】
前記反射器間領域の前記第１方向の端部領域において、前記第１電極指および前記第２電極指が前記第３方向に互いに対向していない領域を有し、かつ、前記第１反射電極指および前記第２反射電極指が前記第３方向に互いに対向していない領域を有する
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項７】
前記第２主面上の領域のうち、前記端部領域に位置する前記第１電極指から見て前記第３方向に位置する領域には、前記第２電極指が配置されておらず前記第２反射電極指が配置されている
請求項６に記載の弾性波素子。
【請求項８】
前記第１主面上の領域のうち、前記端部領域に位置する前記第２電極指から見て前記第３方向に位置する領域には、前記第１電極指が配置されておらず前記第１反射電極指が配置されている
請求項６に記載の弾性波素子。
【請求項９】
前記端部領域は、前記反射器間領域の前記第１方向における一方の端部領域および他方の端部領域を有し、
前記一方の端部領域および前記他方の端部領域において、前記第１電極指および前記第２電極指が互いに対向していない本数は、前記第１電極指および前記第１反射電極指の総本数、または、前記第２電極指および前記第２反射電極指の総本数の０％を超え５％以下の範囲内となる本数である
請求項１～８のいずれかに記載の弾性波素子。
【請求項１０】
前記端部領域は、前記反射器間領域の前記第１方向における一方の端部領域および他方の端部領域を有し、
前記一方の端部領域および前記他方の端部領域において、前記第１反射電極指および前記第２反射電極指が互いに対向していない本数は、前記第１電極指および前記第１反射電極指の総本数、または、前記第２電極指および前記第２反射電極指の総本数の０％を超え５％以下の範囲内となる本数である
請求項１～８のいずれかに記載の弾性波素子。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話のデータ伝送速度を向上させるために、マルチバンドシステムが用いられている。その際、複数の周波数帯域の送受信を行う場合があるため、携帯電話のフロントエンド回路には、異なる周波数帯域の高周波信号を通過させる複数のフィルタ装置が配置される。この場合、上記複数のフィルタ装置には、隣接バンドとの高アイソレーション性が要求される。
【０００３】
特許文献１には、圧電構造の一部に音響波が閉じ込められる圧電振動子が開示されている。特許文献１の図９には、圧電振動子の一例として、圧電層と、圧電層の表面に形成されるＩＤＴ電極および反射器と、裏面に形成されるＩＤＴ電極および反射器と、を備える弾性波素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２５－２１７８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された弾性波素子では、弾性波素子の反共振周波数よりも高周波側にリップルが発生するという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、反共振周波数よりも高周波側にリップルが発生することを抑制できる弾性波素子等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波素子は、圧電体層と、前記圧電体層の第１主面に形成された第１ＩＤＴ電極および複数の第１反射器と、前記圧電体層の前記第１主面に背向する第２主面に形成された第２ＩＤＴ電極および複数の第２反射器と、を備え、前記第１ＩＤＴ電極は、前記第１主面に沿う方向において、第１方向と交差する第２方向に延びるように配置された複数の第１電極指を有し、前記複数の第１反射器のそれぞれは、前記第１方向において前記第１ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の第１反射電極指を有し、前記第２ＩＤＴ電極は、前記第２主面に沿う方向において、前記第１方向と交差する前記第２方向に延びるように配置された複数の第２電極指を有し、前記複数の第２反射器のそれぞれは、前記第１方向において前記第２ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の第２反射電極指を有し、前記第１方向における前記複数の第１反射器の間の領域を第１領域とし、前記第１方向における前記複数の第２反射器の間の領域を第２領域とし、前記第１方向および前記第２方向の両方に垂直な第３方向から見て前記第１領域および前記第２領域を含む最小領域を反射器間領域とした場合に、前記反射器間領域の前記第１方向の端部領域において、前記第１電極指および前記第２電極指が前記第３方向に互いに対向していない領域を有する、または、前記反射器間領域の前記第１方向の端部領域において、前記第１反射電極指および前記第２反射電極指が前記第３方向に互いに対向していない領域を有する。
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、上記の弾性波素子を含む。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るマルチプレクサは、上記の弾性波フィルタ装置を含む複数のフィルタを備え、前記複数のフィルタのそれぞれの入出力端子および入出力端子の一方は、共通端子に直接的または間接的に接続され、前記弾性波フィルタ装置を除く前記複数のフィルタの少なくとも１つは、前記弾性波フィルタ装置の通過帯域の周波数より高い通過帯域を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る弾性波素子等によれば、反共振周波数よりも高周波側にリップルが発生することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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