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公開番号2025165459
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069491
出願日2024-04-23
発明の名称カーフチェック方法及び加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20251028BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】TEGを配置したウェーハのカーフチェックを容易にする。
【解決手段】カメラ(52、53)でウェーハ(60)を撮像して加工ユニット(11、12)がカーフ(67)を形成するストリート(63)を決定し記憶するストリート記憶工程と、ストリート記憶工程で記憶したストリートをカメラで撮像してTEG(66)の位置座標を取得し記憶するTEG位置座標記憶工程と、ストリート記憶工程で記憶したストリートに加工ユニットによってカーフを形成するカーフ形成工程と、TEGの位置座標を用いて、カーフにTEGの無いところでカーフチェックするカーフチェック工程と、からなる、カーフチェック方法。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ストリートにＴＥＧを配置したウェーハに加工ユニットによって形成したカーフをチェックするカーフチェック方法であって、
カメラでウェーハを撮像し該加工ユニットが該カーフを形成するストリートを決定し記憶するストリート記憶工程と、
該ストリート記憶工程で記憶した該ストリートを該カメラで撮像してＴＥＧの位置座標を取得し記憶するＴＥＧ位置座標記憶工程と、
該ストリート記憶工程で記憶した該ストリートに該加工ユニットによってカーフを形成するカーフ形成工程と、
該ＴＥＧの該位置座標を用いて、該カーフに該ＴＥＧの無いところでカーフチェックするカーフチェック工程と、
からなる、カーフチェック方法。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
ストリートにＴＥＧを配置したウェーハに第１加工ユニットによって有底の第１カーフを形成し、第２加工ユニットによって該第１カーフに第２カーフを形成するウェーハの加工方法において、該第２加工ユニットによって形成したカーフのカーフチェック方法であって、
カメラで該ウェーハを撮像して該ストリートに該ＴＥＧが無いところをみつけ、その該ＴＥＧが無い領域を記憶する記憶工程と、
該第１カーフが形成されず、かつ該記憶工程で記憶した該ＴＥＧが無い該領域に該第２加工ユニットによって該ウェーハの表面にカーフを形成するカーフ形成工程と、
該カーフをカーフチェックするカーフチェック工程と、
からなる、カーフチェック方法。
【請求項３】
ストリートにＴＥＧを配置したウェーハを保持するチャックテーブルと、該ウェーハにカーフを形成する加工ユニットと、該ウェーハを撮像するカメラと、を備える加工装置であって、
該ウェーハを該カメラで撮像して該ウェーハに形成されているアライメントマークでパターンマッチングして加工するストリートを決定し記憶するストリート記憶部と、
該ストリートの該ＴＥＧを該カメラで撮像して該ＴＥＧの位置座標を取得し記憶するＴＥＧ位置座標記憶部と、
該加工ユニットによって該ストリートにカーフを形成するカーフ形成制御部と、
該カーフを該カメラで撮像して該ＴＥＧが無い箇所でカーフチェックするカーフチェック制御部と、
を備える、加工装置。
【請求項４】
ストリートにＴＥＧを配置したウェーハを保持するチャックテーブルと、該ウェーハに第１カーフを形成する第１加工ユニットと、該ウェーハに第２カーフを形成する第２加工ユニットと、該ウェーハを撮像するカメラと、を備える加工装置であって、
該カメラで該ウェーハを撮像してＴＥＧが無い領域を記憶する記憶部と、
該第１カーフが形成されず、かつ該記憶部に記憶した該ＴＥＧが無い該領域に該第２加工ユニットによって該ウェーハの表面にカーフを形成するカーフ形成制御部と、
該カーフをカーフチェックするカーフチェック制御部と、
を備える、加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハに形成したカーフの状態をチェックするカーフチェック方法と、加工ユニットによってウェーハにカーフを形成する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２及び３に開示されるように、切削加工やレーザー加工によってウェーハのストリートに沿ってカーフ（加工溝）を形成する加工装置は、カーフを撮像してチッピングの大きさなどを確認するというカーフチェックを行っている。
【０００３】
デバイスの特性を評価するためのＴＥＧ（Test Element Group）と呼ばれる評価素子をストリートに配置したウェーハでは、カーフを形成する加工によってＴＥＧがウェーハから剥がされることがある。この場合にＴＥＧを含む領域でカーフチェックを行うと、ＴＥＧが剥がれた箇所をチッピングと認識し、チッピングが大きいカーフであると誤って判断してしまうことがある。
【０００４】
このような不具合を防ぐため、特許文献４に開示のように、ウェーハのうちＴＥＧが無いところにカーフを形成し、そのカーフをカーフチェックするエリアとして作業者に予め登録させるという対策が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平７－１３０８０６号公報
特開２０２３－０５０７０４号公報
特開２０１９－０５４０９６号公報
特開２０１６－１９７７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ウェーハにおいてＴＥＧの無いところを作業者に予め登録させる作業には手間がかかり、加工装置における生産性が低下するという問題があった。
【０００７】
従って、ＴＥＧを配置したウェーハのカーフチェックを容易にするという解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、ストリートにＴＥＧを配置したウェーハに加工ユニットによって形成したカーフをチェックするカーフチェック方法であって、カメラでウェーハを撮像し該加工ユニットが該カーフを形成するストリートを決定し記憶するストリート記憶工程と、該ストリート記憶工程で記憶した該ストリートを該カメラで撮像してＴＥＧの位置座標を取得し記憶するＴＥＧ位置座標記憶工程と、該ストリート記憶工程で記憶した該ストリートに該加工ユニットによってカーフを形成するカーフ形成工程と、該ＴＥＧの該位置座標を用いて、該カーフに該ＴＥＧの無いところでカーフチェックするカーフチェック工程と、からなる。
【０００９】
本発明の一態様は、ストリートにＴＥＧを配置したウェーハに第１加工ユニットによって有底の第１カーフを形成し、第２加工ユニットによって該第１カーフに第２カーフを形成するウェーハの加工方法において、該第２加工ユニットによって形成したカーフのカーフチェック方法であって、カメラで該ウェーハを撮像して該ストリートに該ＴＥＧが無いところをみつけ、その該ＴＥＧが無い領域を記憶する記憶工程と、該第１カーフが形成されず、かつ該記憶工程で記憶した該ＴＥＧが無い該領域に該第２加工ユニットによって該ウェーハの表面にカーフを形成するカーフ形成工程と、該カーフをカーフチェックするカーフチェック工程と、からなる。
【００１０】
本発明の一態様は、ストリートにＴＥＧを配置したウェーハを保持するチャックテーブルと、該ウェーハにカーフを形成する加工ユニットと、該ウェーハを撮像するカメラと、を備える加工装置であって、該ウェーハを該カメラで撮像して該ウェーハに形成されているアライメントマークでパターンマッチングして加工するストリートを決定し記憶するストリート記憶部と、該ストリートの該ＴＥＧを該カメラで撮像して該ＴＥＧの位置座標を取得し記憶するＴＥＧ位置座標記憶部と、該加工ユニットによって該ストリートにカーフを形成するカーフ形成制御部と、該カーフを該カメラで撮像して該ＴＥＧが無い箇所でカーフチェックするカーフチェック制御部と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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