特許ウォッチ

公開番号2025165556
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069676
出願日2024-04-23
発明の名称シート固着装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251028BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハ等の被固着物の被固着面に固着領域が固着されている個片シートから余剰領域を正確に除去することが可能なシート固着装置を提供する。
【解決手段】シート固着装置であって、被固着面に対応する形状を有する固着領域と固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、準備ユニットによって準備された個片シートの固着領域を被固着物の被固着面に固着するための固着ユニットと、固着ユニットによって被固着面に固着領域が固着された個片シートから余剰領域を除去するための除去ユニットと、準備ユニット、固着ユニット及び除去ユニットを制御するためのコントローラと、を備える。コントローラは、被固着物の外縁の位置を特定してから、被固着物の外縁の位置を参照して固着領域と余剰領域との境界に沿って個片シートを切断するように除去ユニットを制御する。
【選択図】図15
特許請求の範囲【請求項１】
被固着物の被固着面に該被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置であって、
該被固着面に対応する形状を有する固着領域と該固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、
該準備ユニットによって準備された該個片シートの該固着領域を該被固着物の該被固着面に固着するための固着ユニットと、
該固着ユニットによって該被固着面に該固着領域が固着された該個片シートから該余剰領域を除去するための除去ユニットと、
該準備ユニット、該固着ユニット及び該除去ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、
該除去ユニットは、
該個片シートの該固着領域に該被固着面が固着されている状態の該被固着物を保持するための保持部と、
該個片シートを切断して該固着領域と該余剰領域とを分離するための切断部と、を有し、
該切断部は、
該保持部によって保持されている該被固着物に対して相対移動することが可能なカッターと、
該保持部によって保持されている該被固着物を撮像することが可能なカメラと、を含み、
該コントローラは、該保持部によって保持されている該被固着物を撮像するように該カメラを制御することによって形成される画像に基づいて該被固着物の外縁の位置を特定してから、該被固着物の該外縁の位置を参照して該固着領域と該余剰領域との境界に沿って該個片シートを該カッターによって切断するように該除去ユニットを制御する、シート固着装置。
続きを表示（約 320 文字）【請求項２】
該除去ユニットは、
該個片シートの該固着領域から分離された該余剰領域を含む不要シートを回収するための回収部と、
該保持部から該回収部へと該不要シートを搬送するための搬送部と、をさらに有する、請求項１に記載のシート固着装置。
【請求項３】
該準備ユニット、該固着ユニット及び該除去ユニットを収容するための筐体と、
該筐体内にダウンフローを生じさせるためのファンと、
該筐体内の微粒子数を計測するためのカウンタと、をさらに備え、
該コントローラは、該カウンタによって計測された微粒子数に応じて動作条件を変更するように該ファンを制御する、請求項１又は２に記載のシート固着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被固着物の被固着面に被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハを薄化してから個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
ウェーハの薄化は、例えば、研削装置において裏面側を研削することによって行われる。また、ウェーハの分割は、例えば、切削装置又はレーザー加工装置において複数のデバイスの境界を除去することによって行われる。
【０００４】
ただし、ウェーハを薄化する際には、その表面側が強く押圧されて複数のデバイスが破損するおそれがある。また、ウェーハを分割する際には、製造されるチップが離散してそれらの取り扱いが困難になるおそれがある。
【０００５】
これらの点を踏まえて、ウェーハを加工する前には、シート固着装置においてウェーハにシートを固着することが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このシート固着装置においては、巻回されているシート（原反ロール）から所望の部分を引き出して切り出した後に、切り出された部分（個片シート）をウェーハに固着することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－８１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
シート固着装置においては、ウェーハよりも大きいサイズの個片シートの中央の領域（固着領域）をウェーハに固着してから、この個片シートのうちウェーハからはみ出している領域（余剰領域）を除去するように個片シートが切断されることがある。ただし、個片シートが固着されているウェーハが所望の位置からずれた位置に置かれた状態で個片シートが切断されると、個片シートのみならずウェーハが切断されるおそれがある。
【０００８】
この点に鑑み、本発明の目的は、ウェーハ等の被固着物の被固着面に固着領域が固着されている個片シートから余剰領域を正確に除去することが可能なシート固着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、被固着物の被固着面に該被固着面に対応する形状を有するシートを固着するためのシート固着装置であって、該被固着面に対応する形状を有する固着領域と該固着領域を囲む余剰領域とを含む個片シートを準備するための準備ユニットと、該準備ユニットによって準備された該個片シートの該固着領域を該被固着物の該被固着面に固着するための固着ユニットと、該固着ユニットによって該被固着面に該固着領域が固着された該個片シートから該余剰領域を除去するための除去ユニットと、該準備ユニット、該固着ユニット及び該除去ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、該除去ユニットは、該個片シートの該固着領域に該被固着面が固着されている状態の該被固着物を保持するための保持部と、該個片シートを切断して該固着領域と該余剰領域とを分離するための切断部と、を有し、該切断部は、該保持部によって保持されている該被固着物に対して相対移動することが可能なカッターと、該保持部によって保持されている該被固着物を撮像することが可能なカメラと、を含み、該コントローラは、該保持部によって保持されている該被固着物を撮像するように該カメラを制御することによって形成される画像に基づいて該被固着物の外縁の位置を特定してから、該被固着物の該外縁の位置を参照して該固着領域と該余剰領域との境界に沿って該個片シートを該カッターによって切断するように該除去ユニットを制御する、シート固着装置が提供される。
【００１０】
なお、本発明のシート固着装置においては、該除去ユニットは、該個片シートの該固着領域から分離された該余剰領域を含む不要シートを回収するための回収部と、該保持部から該回収部へと該不要シートを搬送するための搬送部と、をさらに有することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許