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公開番号2025165514
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069597
出願日2024-04-23
発明の名称ウェーハ洗浄装置と加工装置及び加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251028BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハの加工装置にコンパクトに設置することができるウェーハ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハ洗浄装置50は、ウェーハWの上面を保持する保持パッド51と、該保持パッド51に保持されたウェーハWの下面の一部を洗浄する洗浄機構60と、保持パッド51と洗浄機構60とを水平方向に相対移動させる移動機構(揺動機構70とY軸移動機構80など)70とを備え、洗浄機構60は、上面が開口して内部に洗浄水を貯留する洗浄槽61と、該洗浄槽61に洗浄水を供給する洗浄水供給部(洗浄水供給源64など)62と、洗浄槽61に配置され洗浄水に超音波振動を伝播させる超音波振動子63を備え、洗浄槽61の開口において洗浄水に保持パッド51に保持されたウェーハWの下面の一部を一部を着水させることによって洗浄される部分が移動機構70による保持パッド51の移動によって当該ウェーハWの下面全面に及ぶようにする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの下面全面を洗浄するウェーハ洗浄装置であって、
ウェーハの上面を保持する保持パッドと、
該保持パッドに保持されたウェーハの下面の一部を洗浄する洗浄機構と、
前記保持パッドと前記洗浄機構とを水平方向に相対移動させる移動機構と、
を備え、
前記洗浄機構は、
上面が開口して該開口より上に盛り上がるように内部に洗浄水を貯留する洗浄槽と、
該洗浄槽に洗浄水を供給する洗浄水供給部と、
前記洗浄槽に配置され該洗浄水に超音波振動を伝播させる超音波振動子と、
を備え、
前記洗浄槽の前記開口より盛り上がっている前記洗浄水に前記保持パッドに保持されたウェーハの下面の一部を着水させることによって洗浄される部分が前記移動機構による前記保持パッドの移動によって当該ウェーハの下面全面に及ぶようにするウェーハ洗浄装置。
続きを表示（約 220 文字）【請求項２】
前記移動機構は、前記保持パッドを水平方向に直線または円弧の移動経路に沿って移動させる機構であって、
前記洗浄槽は、前記保持パッドの移動経路に交差する方向にウェーハの直径以上の長さで延在する請求項１記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項３】
前記移動機構は、前記保持パッドの中心を通る軸回りに回転させる機構であって、
前記洗浄槽は、ウェーハの半径以上の長さで延在する請求項１記載のウェーハ洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持パッドに保持されたウェーハの下面を洗浄するウェーハ洗浄装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハを研削砥石で研削して均一な厚みにしているが、研削前のウェーハにはゴミなどの異物（以下、「パーティクル」と称する）が付着していることがあり、そのようなウェーハをチャックテーブルに保持させると、ウェーハとチャックテーブルの保持面との間にパーティクルが介在するため、パーティクルが介在したところが薄くなることによって、研削後のウェーハを均一な厚みにすることができないという問題がある。
【０００３】
そこで、特許文献１には、チャックテーブルに保持される前のウェーハの下面に、回転するロールスポンジを接触させ、ウェーハの下面に付着しているパーティクルをロールスポンジによって除去して該ウェーハの下面を洗浄する洗浄装置が提案されている。
【０００４】
ところが、上記洗浄装置においては、ロールスポンジに付着したパーティクルによってウェーハの下面が傷つけられるという問題が発生する。このため、特許文献２には、ブラシを洗浄槽内に収容し、洗浄槽内に溜められた洗浄水の表面張力によって盛り上がった水面にウェーハの下面を接触させることによって、ウェーハの下面に付着したパーティクルを除去する洗浄装置が提案されている。また、特許文献３，４には、ウェーハの下面に付着したパーティクルを洗浄水の超音波振動によって非接触で除去する超音波洗浄装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－０３４４３９号公報
特開２０２０－１１５４９６号公報
特開２００４－３６３３６８号公報
特開２０２３－０８４７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２～４において提案された洗浄装置は、ブラシやウェーハなどの被洗浄物の全体を洗浄槽内に収容するために洗浄槽が大きくなり、洗浄装置が大型化する。したがって、洗浄装置を加工装置内にコンパクトに設置することができず、加工装置が大型化するという問題がある
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、ウェーハの加工装置にコンパクトに設置することができるウェーハ洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、ウェーハの下面全面を洗浄するウェーハ洗浄装置であって、ウェーハの上面を保持する保持パッドと、該保持パッドに保持されたウェーハの下面の一部を洗浄する洗浄機構と、前記保持パッドと前記洗浄機構とを水平方向に相対移動させる移動機構と、備え、前記洗浄機構は、上面が開口して該開口より上に盛り上がるように内部に洗浄水を貯留する洗浄槽と、該洗浄槽に洗浄水を供給する洗浄水供給部と、前記洗浄槽に配置され該洗浄水に超音波振動を伝播させる超音波振動子と、を備え、前記洗浄槽の前記開口より盛り上がっている前記洗浄水に前記保持パッドに保持されたウェーハの下面の一部を着水させることによって洗浄される部分が前記移動機構による前記保持パッドの移動によって当該ウェーハの下面全面に及ぶようにすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、保持パッドに保持されたウェーハの一部を洗浄槽に貯留された洗浄水に着水させ、該ウェーハの着水が移動機構によるウェーハの移動によって当該ウェーハの全体に及ぶようにした、つまり、保持パッドに保持されたウェーハの全体を洗浄槽内の洗浄水に浸漬させることなく、該ウェーハを洗浄槽に対してスキャン動作させることによってウェーハの下面全体を洗浄するようにしたため、洗浄槽を小型・コンパクトに構成することができ、ウェーハ洗浄装置を加工装置にコンパクトに設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係るウェーハ洗浄装置を備える研削装置の斜視図である。
本発明に係るウェーハ洗浄装置の斜視図である。
本発明に係るウェーハ洗浄装置によるウェーハの洗浄方法を示す破断側面図である。
本発明に係るウェーハ洗浄装置によるウェーハの洗浄方法を示す平面図である。
ウェーハの研削加工を示す部分側面図である。
本発明に係るウェーハ洗浄装置の別形態を示す部分斜視図である。
本発明の別形態に係るウェーハ洗浄装置によるウェーハの洗浄方法を示す破断側面図である。
本発明の別形態に係るウェーハ洗浄装置によるウェーハの洗浄方法を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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