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発行日2025-04-18
公報種別意匠公報(S)
登録番号1796616
登録日2025-04-10
意匠に係る物品ウェハ加熱用集光用レンズ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024021818
出願日2024-10-21
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人弁理士法人ITOH
意匠に係る物品の説明本物品は、ウェハを加熱するヒータにおいて、副遮光に指向性を持たせて、ウェハの過熱効率を向上させるために用いる集光レンズである。本物品は、「使用状態を示す参考図」に示すように、ウェハを載置したサセプタとヒータ素線との間に配置して使用する。
意匠の説明本物品は全体が透明である。背面図は正面図と、左側面図は右側面図と、それぞれ対称に表れるため、省略する。
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