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発行日2025-10-10
公報種別意匠公報(S)
登録番号1810478
登録日2025-10-02
意匠に係る物品基板処理装置用ダイシングテープ支持具
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025008961
出願日2025-05-07
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人弁理士法人ITOH
意匠に係る物品の説明本物品は、基板処理装置において、ダイシングフレームに貼り付けられたダイシングテープ上の処理基板(被処理ウェハ)のダイシング工程において用いるものであり、処理基板を洗浄等の液処理する際に用いるものである。本物品は、「使用状態を示す参考図」に示すように、フレーム支持部の溝に付け外し可能に設置して用いるものである。本物品は、上面にフレーム支持部の内側の突起よりも僅かに高い突起を形成しているため、当該突起部がダイシングテープと当接してシール部となり、吸着保持したダイシングテープの液処理中の真空損失エラー発生を軽減することができる。
意匠の説明背面図、左側面図及び右側面図は、正面図と同一に表れるため、背面図、左側面図及び右側面図をそれぞれ省略する。実線で表れた部分が意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、意匠登録を受けようとする部分とそれ以外の部分の境界を示す線である。斜視図及び平面図に表れる細線は、立体表面の形状を特定するためのものである。

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