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発行日2025-10-08
公報種別意匠公報(S)
登録番号1810268
登録日2025-09-30
意匠に係る物品基板処理装置の熱処理装置におけるギャップピン保持部材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025004357
出願日2025-03-05
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、基板処理装置における熱処理装置において、処理対象である基板を熱板上に隙間を持たせて支持するためのギャップピンを、熱板に形成した凹部に留めておくための、保持部材である。
意匠の説明
この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

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