特許ウォッチ

公開番号2025061568
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2025008789,2021027975
出願日2025-01-21,2021-02-24
発明の名称テープ貼付装置及びテープマガジン
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類B65H 35/07 20060101AFI20250403BHJP(運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い)
要約【課題】ダイシングテープの切替や交換を自動で実施可能なテープ貼付装置及びテープマガジンを提供する。
【解決手段】貼付装置3は、ロール状に巻回されたダイシングテープDTの一部が引き出された状態でダイシングテープDTを収納するテープマガジン4を換装自在に設置される基部31と、ダイシングテープDTの一部が引き出された引出領域Rを所定軌道に規制するように移動可能な可動ガイドローラ32a、32b、固定ガイドローラ33a、33b及びナイフプレート35と、を備えている。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ダイシングテープをダイシングフレーム及びワークに貼付するテープ貼付装置であって、
ロール状に巻回された前記ダイシングテープの一部が引き出された状態で前記ダイシングテープを収納するテープマガジンを換装自在に設置される基部と、
前記ダイシングテープの一部が引き出された引出領域を所定軌道に規制するように移動可能な規制部と、
を備えていることを特徴とするテープ貼付装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
ダイシングテープをダイシングフレーム及びワークに貼付するテープ貼付装置に換装可能なテープマガジンであって、
前記テープ貼付装置に換装自在なベースと、
前記ベースに設けられ、ロール状に巻回された前記ダイシングテープを支持する繰出軸と、
前記ベースに設けられ、前記ダイシングテープのセパレータを巻き取る巻取軸と、
を備え、
前記ダイシングテープは、一部が引き出された状態で前記繰出軸及び巻取軸に支持され、
前記ダイシングテープの一部が引き出された引出領域が、前記テープ貼付装置の規制部に所定軌道に規制され得ることを特徴とするテープマガジン。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングテープのテープ貼付装置及びこのテープ貼付装置に用いられるテープマガジンに関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。
【０００３】
特許文献１には、テーブル２１１に吸着固定されたウェーハＷにエキスパンドテープＥを貼着用ローラの加圧力により貼り付けることが記載されている。なお、符号は、特許文献１のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－４５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の装置では、ウェーハＷの品種に応じてテープを切り替える時又はテープの消耗に伴ってテープを交換する時に、各種ローラに巻回して所定軌道を通るようにセットされた使用済みのエキスパンドテープＥを取り除いた上で、新品のエキスパンドテープＥを所定軌道を通るように手作業で再びセットしなければならなかった。
【０００６】
そこで、ダイシングテープの切替や交換を自動で行うために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係るテープ貼付装置は、ダイシングテープをダイシングフレーム及びワークに貼付するテープ貼付装置であって、ロール状に巻回された前記ダイシングテープの一部が引き出された状態で前記ダイシングテープを収納するテープマガジンを換装自在に設置される基部と、前記ダイシングテープの一部が引き出された引出領域を所定軌道に規制するように移動可能な規制部と、を備えている。
【０００８】
この構成によれば、ダイシングテープがその一部を引き出された状態で収容されたテープマガジンがテープ貼付装置に換装され、規制部が、ダイシングテープの引出領域を所定の軌道に規制することにより、ダイシングテープの切替や交換を自動で実施することができる。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係るテープマガジンは、ダイシングテープをダイシングフレーム及びワークに貼付するテープ貼付装置に換装可能なテープマガジンであって、前記テープ貼付装置に換装自在なベースと、前記ベースに設けられ、ロール状に巻回された前記ダイシングテープを支持する繰出軸と、前記ベースに設けられ、前記ダイシングテープのセパレータを巻き取る巻取軸と、を備え、前記ダイシングテープは、一部が引き出された状態で前記繰出軸及び巻取軸に支持され、前記ダイシングテープの一部が引き出された引出領域が、前記テープ貼付装置の規制部に所定軌道に規制され得る。
【００１０】
この構成によれば、ダイシングテープがその一部を引き出された状態で収容されたテープマガジンがテープ貼付装置に換装され、規制部が、ダイシングテープの引出領域を所定の軌道に規制することにより、ダイシングテープの切替や交換を自動で実施することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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