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公開番号2025070494
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023180855
出願日2023-10-20
発明の名称熱交換器、およびウエハ保持台
出願人住友電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 23/473 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】効率的に熱交換が可能な熱交換器およびウエハ保持台を提供する。
【解決手段】熱交換器100は、ウエハ10が載せられる基体2と、基体2の内部に形成され、冷媒が流される冷媒流路5と、冷媒流路5に配置された金属多孔体6と、を備える。ウエハ保持台1は、ウエハ10が載せられる上面2Uを有する円板状の基体2と、基体2の内部に形成され、冷媒が冷媒流路5と、冷媒流路5に配置された金属多孔体6と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象物が載せられる基体と、
前記基体の内部に形成され、冷媒が流される冷媒流路と、
前記冷媒流路に配置された金属多孔体と、を備える、
熱交換器。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
前記金属多孔体の気孔率が９０％以上９８％以下である、請求項１に記載の熱交換器。
【請求項３】
前記金属多孔体は、三次元網目構造を有する、請求項１または請求項２に記載の熱交換器。
【請求項４】
前記金属多孔体は、前記冷媒流路の長さの５０％以上の領域に配置されている、請求項１または請求項２に記載の熱交換器。
【請求項５】
前記冷媒流路の断面は、少なくとも一つの隅部を有する形状であり、
前記金属多孔体の一部は、前記隅部に接するように配置されている、請求項１または請求項２に記載の熱交換器。
【請求項６】
前記金属多孔体は、前記冷媒流路の内周面に向き合う溶融切断面を備える、請求項５に記載の熱交換器。
【請求項７】
前記金属多孔体の主成分がニッケルまたは銅である、請求項１または請求項２に記載の熱交換器。
【請求項８】
ウエハが載せられる上面を有する円板状の基体と、
前記基体の内部に形成され、冷媒が流される冷媒流路と、
前記冷媒流路に配置された金属多孔体と、を備える、
ウエハ保持台。
【請求項９】
前記金属多孔体は三次元網目構造を有し、
前記金属多孔体の気孔率は９０％以上９８％以下である、請求項８に記載のウエハ保持台。
【請求項１０】
前記金属多孔体の主成分がニッケルまたは銅である、請求項８または請求項９に記載のウエハ保持台。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、熱交換器、およびウエハ保持台に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板載置台を備えるウエハプローバを開示する。ウエハプローバは、回路が形成された半導体のウエハを個々のチップに切断する前に、基板載置台に載置されたウエハを所定の温度に制御して、各チップの電気性能を測定する検査装置である。この電気性能の測定により、不良品のチップを検出する。検査時、ウエハはチップの実装環境を再現するためにヒータで加熱されたり、熱交換器を用いて冷却されたりする。加熱後のウエハは熱交換器を用いて速やかに冷却される。
【０００３】
特許文献１に開示される基板載置台は、筒状の支持部で支持された円板状のチャックトップを備える。チャックトップは、ウエハが載せられる基体である。基体の外周には、冷媒の入口と出口が設けられている。基体の内部には、入口につながる冷媒の往路と、出口につながる冷媒の復路とが設けられている。往路は、基体の外周から内周に向かって延びる渦巻き状の流路である。復路は、基体の内周から外周に向かって延びる渦巻き状の流路である。このような基体は熱交換器として機能する。即ち、流路に冷媒を循環させることで、基体の上面に載置されたウエハは冷却される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－２１２７７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の熱交換器では、渦巻き状の流路に冷媒を流通させることで冷媒と基体との接触面積を確保し、ウエハを冷却することができる。しかし、検査時間の短縮などを考慮すると、より一層効率的な熱交換が望まれる。一方で、冷媒と流路の内面との接触面積を増やすべく、流路の長大化または流路形状の複雑化を実現するには、微細で高精度の加工が必要になる。そのため、加工および組み立てが容易な熱交換器が望まれる。
【０００６】
本開示の目的の一つは、より効率的に熱交換が可能な熱交換器を提供することにある。また、本開示の他の目的は、ウエハを効率的に冷却できるウエハ保持台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の熱交換器は、対象物が載せられる基体と、前記基体の内部に形成され、冷媒が流される冷媒流路と、前記冷媒流路に配置された金属多孔体と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の熱交換器によれば、より効率的な熱交換が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１に記載される熱交換器を含むウエハ保持台の模式断面図である。
図２は、実施形態１に記載されるウエハ保持台に備わる基体を構成する第一部材の概略下面図である。
図３は、実施形態１に記載されるウエハ保持台の基体の部分断面図である。
図４は、試験例のシミュレーション結果を示すグラフである。
図５は、試験例における試験機の概略構成図である。
図６は、図５の試験機における金属多孔体の配置状態を示す概略平面図である。
図７は、試験例の試験結果を示すグラフである。
図８は、図５の試験機に配置された金属多孔体の部分拡大写真である。
図９は、図５の試験機における金属多孔体が配置された溝付き板の部分拡大写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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