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公開番号2025070808
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023181362
出願日2023-10-20
発明の名称インゴットブロックの製造方法
出願人株式会社SUMCO
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】角部の欠陥を除去し易いインゴットブロックの製造方法を提供する。
【解決手段】円柱状のインゴットブロックの端面における外周縁の角部を周方向に面取りする面取りステップを有する、インゴットブロックの製造方法。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
円柱状のインゴットブロックの端面における外周縁の角部を周方向に面取りする面取りステップを有する、インゴットブロックの製造方法。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記面取りステップによって面取りされた前記角部を検査する検査ステップを有する、請求項１に記載のインゴットブロックの製造方法。
【請求項３】
前記検査ステップの結果に基づいて必要と判断した場合に、前記インゴットブロックの前記角部を所定の深さまで除去する角部除去又は前記端面の全体を所定の深さまで除去する端面除去を行う除去ステップを有する、請求項２に記載のインゴットブロックの製造方法。
【請求項４】
前記角部除去は再度の前記面取りステップによって行われる、請求項３に記載のインゴットブロックの製造方法。
【請求項５】
前記角部除去は、前記角部除去を完了した時までの総面取り量の長さが、面取り前の前記角部を形成するそれぞれの辺について３ｍｍ以下となる所定の条件下で行われる、請求項４に記載のインゴットブロックの製造方法。
【請求項６】
前記端面除去は、前記インゴットブロックを切断することで行われる、請求項３に記載のインゴットブロックの製造方法。
【請求項７】
最初の前記面取りステップは、面取り量の長さが、面取り前の前記角部を形成するそれぞれの辺について０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下となる条件下で行われる、請求項１に記載のインゴットブロックの製造方法。
【請求項８】
前記面取りステップによる面取りはＣ面取りである、請求項１に記載のインゴットブロックの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はインゴットブロックの製造方法に関する。
続きを表示（約 890 文字）【背景技術】
【０００２】
角柱状のインゴットブロックの角部を面取りするインゴットブロックの製造方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３９７３８４３号公報
国際公開第２０１９／１０２６２９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
切断ステップを経て作成されるインゴットブロックの角部にはカケやクラック（ひび）などの欠陥が発生し易い。このため、インゴットブロックの角部を面取りする必要がある。しかし、従来は角柱状のインゴットブロックの角部を面取りしていることから、面取り後にもインゴットブロックの高さ方向に見た時に角をなす部分が存在するため、当該部分に欠陥が残り易い。
【０００５】
そこで本発明の目的は、角部の欠陥を除去し易いインゴットブロックの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は以下のとおりである。
【０００７】
［１］
円柱状のインゴットブロックの端面における外周縁の角部を周方向に面取りする面取りステップを有する、インゴットブロックの製造方法。
【０００８】
［２］
前記面取りステップによって面取りされた前記角部を検査する検査ステップを有する、［１］に記載のインゴットブロックの製造方法。
【０００９】
［３］
前記検査ステップの結果に基づいて必要と判断した場合に、前記インゴットブロックの前記角部を所定の深さまで除去する角部除去又は前記端面の全体を所定の深さまで除去する端面除去を行う除去ステップを有する、［２］に記載のインゴットブロックの製造方法。
【００１０】
［４］
前記角部除去は再度の前記面取りステップによって行われる、［３］に記載のインゴットブロックの製造方法。
（【００１１】以降は省略されています）

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