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公開番号2025071158
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2025023889,2023071284
出願日2025-02-18,2018-03-15
発明の名称EFEM
出願人シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】収容室内を不活性ガスに置換しやすくしつつ、収容室内のパーティクルも排出しやすくする。
【解決手段】EFEMは、ロードポート4と、隔壁に設けられた開口にロードポート4が接続されることで閉鎖された搬送室を内部に構成する筐体と、搬送室に窒素を供給するための供給管と、搬送室内のガスを排出するための排出管49とを含む。ロードポート4は、載置されたFOUP100の蓋101を開閉可能な開閉機構54と、スリット51bを介して搬送室と連通し且つ開閉機構54の一部を収容する収容室60とを有している。排出管49は、収容室60を介して搬送室内のガスを排出するように、収容室60に接続されている。
【選択図】図7

特許請求の範囲【請求項１】
ロードポートと、
側壁に設けられた開口に前記ロードポートが接続されることで閉鎖され、基板を搬送するための搬送室を内部に構成する筐体と、
前記搬送室内に配置され、前記基板の搬送を行う基板搬送装置と、
前記搬送室に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給手段と、
前記搬送室内のガスを排出するためのガス排出手段とを備えており、
前記ロードポートは、載置されたＦＯＵＰの蓋部を開閉可能な開閉機構と、前記搬送室と連通し且つ前記開閉機構の一部を収容する収容室とを有しており、
前記ガス排出手段は、前記収容室を介して前記搬送室内のガスを排出するように、前記収容室に接続されていることを特徴とするＥＦＥＭ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、閉鎖された搬送室に不活性ガスを供給し不活性ガス雰囲気に置換することが可能なＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ウェハ（半導体基板）が収容されるＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）が載置されるロードポートと、前面壁に設けられた開口にロードポートが接続されることで閉鎖され、ウェハの搬送が行われる搬送室が形成された筐体とを含み、ウェハに所定の処理を施す処理装置とＦＯＵＰとの間でウェハの受渡しを行う、ＥＦＥＭについて記載されている。
【０００３】
従来、ウェハ上で製造される半導体回路に対する搬送室内の酸素や水分等の影響は少なかったが、近年、半導体回路のさらなる微細化に伴い、それらの影響が顕在化してきている。そこで、特許文献１に記載のＥＦＥＭは、不活性ガスである窒素で搬送室内が満たされるように構成されている。具体的には、ＥＦＥＭは、筐体の内部で窒素を循環させるための、搬送室とガス帰還路とで構成された循環流路と、ガス帰還路の上部から窒素を供給するガス供給手段と、ガス帰還路の下部から窒素を排出するガス排出手段とを有する。窒素は、循環流路内の酸素濃度等の変動に応じて適宜供給及び排出される。これにより、搬
送室内を窒素雰囲気に保つことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－１４６３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のＥＦＥＭのロードポートは、載置されたＦＯＵＰの蓋部を開閉可能な開閉機構と、搬送室と連通し且つ開閉機構の一部を収容する収容室とを有しているが、ガス排出手段が循環流路のガス帰還路の下部に接続されている。このため、ＥＦＥＭの始動時（メンテナンス後含む）に、循環流路に窒素を供給しつつ循環流路からガスを排出しても、搬送室に連通する収容室は循環流路に含まれていないため、収容室を窒素雰囲気に置換するのに時間を要するという問題が生じる。さらに収容室内のパーティクルが開閉機構の動作によって舞い上がり、搬送室に侵入しやすいという問題が生じる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、収容室を不活性ガスに置換しやすくしつつ、収容室内のパーティクルも排出することが可能なＥＦＥＭを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のＥＦＥＭは、ロードポートと、側壁に設けられた開口に前記ロードポートが接続されることで閉鎖され、基板を搬送するための搬送室を内部に構成する筐体と、前記搬送室内に配置され、前記基板の搬送を行う基板搬送装置と、前記搬送室に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給手段と、前記搬送室内のガスを排出するためのガス排出手段とを備えている。そして、前記ロードポートは、載置されたＦＯＵＰの蓋部を開閉可能な開閉機構と、前記搬送室と連通し且つ前記開閉機構の一部を収容する収容室とを有しており、前記ガス排出手段は、前記収容室を介して前記搬送室内のガスを排出するように、前記収容室に接続されている。
【０００８】
これによると、ガス排出手段が、開閉機構が収容されたロードポートの収容室に接続されていることで、収容室内を不活性ガス雰囲気に置換しやすくなる。例えば、ＥＦＥＭの始動時（メンテナンスを行った後含む）に、不活性ガス供給手段で不活性ガスを供給しガス排出手段でガスを排出することで、搬送室及び収容室を不活性ガス雰囲気にすばやく置換しやすくなって、基板の搬送などの作業を開始するまでの時間を短くすることができる。また、ガス排出時に収容室内のパーティクルも排出することが可能となって、開閉機構の動作時に収容室内のパーティクルが舞い上がりにくくなって、搬送室内にパーティクルが侵入しにくくなる。
【０００９】
本発明において、前記搬送室の上部に設けられ、当該搬送室内に不活性ガスを送出するガス送出口と、前記搬送室の下部に設けられ、当該搬送室内の不活性ガスを吸引するガス吸引口と、前記ガス吸引口から吸引された不活性ガスを前記ガス送出口へ帰還させるガス帰還路と、前記ガス送出口から送出する不活性ガスに含まれるパーティクルを除去するフィルタとをさらに備えていることが好ましい。これにより、搬送室にパーティクルを除去した不活性ガスの下降気流を生じさせつつ、ガス帰還路を通じて不活性ガスを循環させることが可能となる。このため、不活性ガスの消費を抑制し、コストを削減することが可能となる。
【００１０】
また、本発明において、前記収容室には、前記ガス排出手段に不活性ガスを送るファンが設けられていることが好ましい。これにより、ファンが搬送室に設けられているよりも、パーティクルの舞上げを抑制することが可能となる。
（【００１１】以降は省略されています）

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