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公開番号2025072013
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-09
出願番号2023182495
出願日2023-10-24
発明の名称プラズマCVD装置
出願人トヨタ自動車株式会社
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類C23C 16/50 20060101AFI20250430BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】プラズマCVD装置のモニタリングポートに設けられたガラス窓への汚れの付着を抑制すること。
【解決手段】モニタリングポート16は、成膜室14に接続され、ガラス窓18が設けられている。放射温度計20は、ガラス窓18越しに成膜室14内の温度を測定する。電磁コイル22は、モニタリングポート16に設けられている。電流が電磁コイル22に供給されることで、電磁コイル22は、モニタリングポート16の周辺に磁場24を発生させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
成膜室と、
前記成膜室に接続され、ガラス窓が設けられたモニタリングポートと、
前記ガラス窓越しに前記成膜室内の温度を測定する放射温度計と、
前記モニタリングポートに設けられた電磁コイルであって、電流が供給されることで前記モニタリングポートの周辺に磁場を発生させる電磁コイルと、
を有することを特徴とするプラズマＣＶＤ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、プラズマＣＶＤ装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、プラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置が記載されている。放射温度計が、当該プラズマＣＶＤ装置に設けられている。当該放射温度計は、モニタリングポートを介してガラス窓越しに成膜室内の温度を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平５－１９０４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
放射温度計は、モニタリングポートを介してガラス窓越しに成膜室内の温度を測定するため、ガラス窓の汚れ（例えば、成膜に伴い発生するイオンに起因する汚れ）は、測定誤差の原因となる。窒素パージによって、ガラス窓への汚れの付着を防止することが考えられるが、必ずしも汚れの付着を防止することができるとは限らない。パージ流量を増やすことは、成膜加工条件に影響を与えるため、むやみにパージ流量を増やすことはできない。また、放射温度計は測定対象の発光を計測するため、特定波長をカットする物質（例えば防汚被膜等）をガラス窓に設けると、測定誤差が生じる。
【０００５】
本開示の目的は、プラズマＣＶＤ装置のモニタリングポートに設けられたガラス窓への汚れの付着を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の１つの態様は、成膜室と、前記成膜室に接続され、ガラス窓が設けられたモニタリングポートと、前記ガラス窓越しに前記成膜室内の温度を測定する放射温度計と、前記モニタリングポートに設けられた電磁コイルであって、電流が供給されることで前記モニタリングポートの周辺に磁場を発生させる電磁コイルと、を有することを特徴とするプラズマＣＶＤ装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、プラズマＣＶＤ装置のモニタリングポートに設けられたガラス窓への汚れの付着を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係るＣＶＤ装置を示す断面図である。
変形例に係るＣＶＤ装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１を参照して、実施形態に係るＣＶＤ装置１０について説明する。図１は、ＣＶＤ装置１０を示す断面図である。
【００１０】
ＣＶＤ装置１０は、プラズマＣＶＤ装置であり、反応性ガスをプラズマ化することで、活性化したイオンを生成し、対象物（例えば基板）上に薄膜を形成する。
（【００１１】以降は省略されています）

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