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公開番号2025072135
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-09
出願番号2023182686
出願日2023-10-24
発明の名称音響変換装置
出願人MMIセミコンダクター株式会社
代理人個人,個人
主分類H04R 19/04 20060101AFI20250430BHJP(電気通信技術)
要約【課題】ダイアフラムと固定電極との間への異物の侵入を抑制すること。
【解決手段】MEMSマイクロフォン100は、板厚方向である第1方向に貫通する開口を有する基板10と、導電性を有し、開口11を覆うように配置されるダイアフラム20と、ダイアフラム20と対向する固定電極40と、を備え、固定電極40の外周より外側に、周波数特性調整用の開口70が形成されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
開口を有する基板と、
前記開口を覆うように配置されるダイアフラムと、
前記ダイアフラムと対向する固定電極と、を備え、
前記固定電極の外周より外側の領域に、周波数特性調整用の開口が形成されている、音響変換装置。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記周波数特性調整用の開口は、前記ダイアフラムに設けられている、請求項１に記載の音響変換装置。
【請求項３】
複数の前記周波数特性調整用の開口が設けられている、請求項１に記載の音響変換装置。
【請求項４】
前記ダイアフラムは、前記基板の板厚方向である第１方向に振動可能な可動膜と、前記可動膜の周囲に配置され前記基板に固定された固定膜と、を有し、
前記周波数特性調整用の開口は、前記可動膜に設けられている、請求項２に記載の音響変換装置。
【請求項５】
前記周波数特性調整用の開口は、前記基板の前記開口と対向する位置に設けられている請求項４に記載の音響変換装置。
【請求項６】
前記ダイアフラムは、前記基板の板厚方向である第１方向に振動可能な可動膜と、前記可動膜の周囲に配置され前記基板に固定された固定膜と、を有し、
前記周波数特性調整用の開口は、前記固定膜に設けられている、請求項２に記載の音響変換装置。
【請求項７】
前記周波数特性調整用の開口は、前記基板と対向する位置に設けられている請求項６に記載の音響変換装置。
【請求項８】
前記基板と前記ダイアフラムとの間に配置され、前記基板の前記開口を囲むように配置され、前記ダイアフラムを支持する支持部材を備え、
前記周波数特性調整用の開口は、前記支持部材を貫通する、請求項１に記載の音響変換装置。
【請求項９】
前記基板に固定されたバックプレートを備え、
前記固定電極は、前記バックプレートの前記ダイアフラムに対向する面に形成され、
前記バックプレートには、板厚方向に貫通する複数の孔が形成され、
前記周波数特性調整用の開口の面積は、前記複数の孔の面積よりも小さい、請求項１に記載の音響変換装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、音響変換装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、開口を有する基板と、開口を覆うように形成された振動電極板と、振動電極板を覆うように形成されたバックプレートと、バックプレートに設けられた固定電極板とを備えるマイクロフォンが知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載のマイクロフォンでは、振動電極板の中央部に、複数の孔が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６１２７５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術に係るマイクロフォンでは、基板の開口を通じて侵入した異物が、振動電極板の中央部に設けられた複数の孔を通り、振動電極板（ダイアフラム）と固定電極板との間に侵入するおそれがあった。
【０００５】
本開示は、ダイアフラムと固定電極との間への異物の侵入を抑制することが可能な音響変換装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る音響変換装置は、開口を有する基板と、開口を覆うように配置されるダイアフラムと、ダイアフラムと対向する固定電極と、を備え、固定電極の外周より外側の領域に、周波数特性調整用の開口が形成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本開示は、ダイアフラムと固定電極との間への異物の侵入を抑制することが可能な音響変換装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォンを示す分解斜視図である。
ダイアフラムを示す平面図である。
図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う切断面を示す断面図である。
第２実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォンのダイアフラムの部分を示す平面図である。
第３実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォンのダイアフラムの部分を示す平面図である。
第４実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォンのダイアフラムを示す平面図である。
図６中のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う切断面を示す断面図である。
図６中のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿う切断面を示す断面図である。
第５実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォンのダイアフラムを示す部分平面図である。
図９中のＸ－Ｘ線に沿う切断面を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施形態に係る音響変換装置について、添付の図面を参照しながら説明する。尚、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く場合がある。
【００１０】
［第１実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォン１００］
図１～図３を参照して、第１実施形態に係る１００について説明する。図１は、第１実施形態に係るＭＥＭＳマイクロフォン１００を示す分解斜視図である。図２は、ダイアフラム２０を示す平面図である。図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う切断面を示す断面図である。なお、各図において、直交する３方向であるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向を図示する。Ｚ軸方向は、基板１０の板厚方向であり、第１方向の一例である。また、以下の説明において、「上」、及び「下」を使用する場合があるが、ＭＥＭＳマイクロフォン１００の配置は、これに限定されない。
（【００１１】以降は省略されています）

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