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公開番号2025073582
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-13
出願番号2023184501
出願日2023-10-27
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 65/00 20060101AFI20250502BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】高照度化を図ることが可能な中空型のエキシマランプを提供する。
【解決手段】エキシマランプ10は、紫外線を照射する中空型のエキシマランプであって、内側管25と外側管22とを溶着させた放電管20を備える。また、エキシマランプ10は、箔状の内側電極30と外側電極40とを備え、被覆管60が、外側管22および内側電極30の周りを覆うように溶着している。被覆管60と外側管22との間には、箔状の内側電極30が埋設されている。内側電極30は、平坦部32を有し、先端に向けて先鋭化されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
外側電極が外表面に配設される外側管と、
前記外側管内に同軸的に配置される内側管と、
前記外側管の少なくとも一部を覆う被覆管と前記外側管との間に埋設される箔状の内側電極とを備え、
前記内側電極が、電極幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、前記平坦部から両端に向けて先鋭化していることを特徴とするエキシマランプ。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記内側管が、
前記外側管と溶着する鍔状部分が設けられる内側管大径部と、
前記内側管大径部よりも放電空間側に形成され、前記内側管大径部と比べて径の小さい内側管小径部とを有することを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記外側管が、前記被覆管に被覆されず、前記被覆管に被覆された部分と比べて径の小さい外側管小径部を有し、
前記外側管小径部が、前記内側管小径部の少なくとも一部と対向していることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記内側管の厚さが、前記外側管および前記被覆管の厚さより小さいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記内側電極の電極幅は、前記内側管の外径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記外側管の内径は、前記内側管の外径の１．３倍以上であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記外側管の内表面に、前記内側電極と対向する区間に応じて、紫外線反射膜が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記被覆管が、前記外側管と部分的に溶着し、
補助放電空間が、前記被覆管と前記外側管との間の非溶着部分に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項９】
前記内側電極の一部が、前記補助放電空間に露出していることを特徴とする請求項８に記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、二重管構造の放電管（放電容器）を備え、内側管内の被照射物に対して紫外線を照射する中空型のエキシマランプに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
中空型のエキシマランプでは、外側管に対して内側管を溶着して同軸的に配置させる。内側管内を流れる原料ガスなどの被照射物に対して紫外線を照射するため、箔状の内側電極を外側管に埋設し、内側電極と対向するように外側電極を外側管表面に配置する（特許文献１参照）。
【０００３】
また、放電容器と、放電容器を覆う被覆管との間に内側電極を埋設し、アルミニウム膜などの外側電極が被覆管を覆う構成にすることによって、内側管の内側の被照射物に対して紫外線を照射することができる（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１４６２９５号公報
特開２０２０－１０７４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
エキシマランプの高照度化を図るために高電圧を印加する場合、それに対処して内側電極を構成する（例えば、箔状の電極の幅拡大など）必要がある。しかしながら、エキシマランプ（特に、小型のエキシマランプ）では、紫外線照射効率を高めるために放電空間の容積を大きくする必要があり、二重管構造の放電管を構成する内側管、外側管それぞれの径の大きさ、厚さなどに制限がある。そのため、埋設されている内側電極の剥離が生じる恐れがある。
【０００６】
したがって、高照度化を図ることが可能な中空型のエキシマランプを提供することが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のエキシマランプは、中空型のエキシマランプであって、外側電極が外表面に配設される外側管と、前記外側管内に同軸的に配置される内側管と、前記外側管の少なくとも一部を覆う被覆管と前記外側管との間に埋設される箔状の内側電極とを備える。そして、内側電極が、電極幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、前記平坦部から両端に向けて先鋭化している。
【０００８】
内側管の構成は様々であり、例えば内側管は、前記外側管と溶着する鍔状部分が設けられる内側管大径部と、前記内側管大径部よりも放電空間側に形成され、前記内側管大径部と比べて径の小さい内側管小径部とを設けた構成にすることができる。
【０００９】
内側管の構成は様々であり、例えば外側管は、前記被覆管に被覆されず、前記被覆管に被覆された部分と比べて径の小さい外側管小径部であって、前記内側管小径部の少なくとも一部と対向している外側管小径部を設けることができる。
【００１０】
例えば、内側管の厚さは、前記外側管および前記被覆管の厚さより小さくなるように定めることができる。また、内側電極の電極幅が、前記内側管の外径よりも小さくなるように定めることができる。外側管の内径については、外側管の内径を、前記内側管の外径の１．３倍以上とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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