特許ウォッチ

公開番号2025073625
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-13
出願番号2023184563
出願日2023-10-27
発明の名称基板搬送装置
出願人株式会社SCREENフェバックス
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250502BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送ローラが接触することによって生じる静電気を速やかに除電できる技術の提供。
【解決手段】基板搬送装置1であって、基板9に接触しつつ所定の回転軸線Lcのまわりで回転することにより基板9を搬送する搬送ローラ112と、基板9の主面の法線方向から見て、搬送ローラ112における搬送方向Dの下流側の端部Paよりも回転軸線Lcの側に配置された、イオンを発生するイオナイザ71と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板に接触しつつ所定の回転軸線のまわりで回転することにより前記基板を搬送する搬送ローラと、
前記基板の主面の法線方向から見て、前記搬送ローラにおける搬送方向の下流側の端部よりも前記回転軸線の側に配置された、イオンを発生するイオナイザと、
を備える、基板搬送装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記回転軸線と同軸に配置されて、前記搬送ローラを支持するローラ軸と、
前記ローラ軸に設けられて、前記イオナイザを支持するブラケットと、
を備える、基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置であって、
前記ブラケットにおける、前記ブラケットの重心に対して前記イオナイザの逆側に設けられた重り、
を備え、
前記ブラケットが、前記ローラ軸に回転可能に設けられ、前記重りの荷重によって前記イオナイザが鉛直上方に配置される、
基板搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板搬送装置であって、
前記ブラケットが、円筒状の周面を備え、
前記周面における、中心角が１８０度以下の円弧領域に、前記イオナイザが設けられる、
基板搬送装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれかに記載の基板搬送装置であって、
前記ローラ軸に、その延在方向に沿って複数の前記搬送ローラが支持されており、
前記ブラケットが、前記ローラ軸の延在方向に隣り合う前記搬送ローラの間隙に設けられる、
基板搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板搬送装置であって、
前記ローラ軸を複数備え、
前記複数のローラ軸が、互いに平行に延在するような姿勢で、延在方向と直交する方向に配列されており、
前記複数のローラ軸の各々に、前記ブラケットが複数設けられており、
前記複数のローラ軸の各々に設けられる前記複数のブラケットが、前記複数のローラ軸の配列方向に沿って千鳥状に配置される、
基板搬送装置。
【請求項７】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記回転軸線に沿って配置され、一方の主面において前記イオナイザを支持する平板状のブラケット、
を備える、基板搬送装置。
【請求項８】
請求項７に記載の基板搬送装置であって、
前記ブラケットの厚みと前記イオナイザの厚みとを合わせた厚みが、前記搬送ローラの半径よりも小さい、
基板搬送装置。
【請求項９】
請求項８に記載の基板搬送装置であって、
前記ブラケットの厚みと前記イオナイザの厚みとを合わせた厚みが、前記搬送ローラの半径の５分の１以下である、
基板搬送装置。
【請求項１０】
請求項１、２および７のうちのいずれかに記載の基板搬送装置であって、
前記搬送ローラが、前記基板の搬送速度を切り替える速度切替部に設けられる、
基板搬送装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本願は、基板搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
基板に対して各種の処理を行う基板処理装置には、基板を搬送する基板搬送装置が設けられる場合がある。基板搬送装置の一種に、搬送ローラが、基板に接触しつつ回転することにより、基板を一方向に搬送するものがある（例えば、特許文献１～３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－２２１９９８号公報
特許第６１３９４５１号公報
特許第６６５８４５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
搬送ローラが基板に接触しつつ回転すると、搬送ローラとの摩擦によって基板に静電気が発生する場合がある。静電気により基板が帯電すると、空気中のパーティクルなどが基板に引き寄せられて付着するおそれがある。また、基板が帯電して電位が高まると、様々な不都合（例えば、基板に形成されている配線パターンに電気が流れることによって配線パターンが破損する、基板とその近傍にある部材との間に放電が生じる、など）が生じて、歩留まりが低下するおそれがある。
【０００５】
例えば、特許文献２および特許文献３には、搬送経路の途中にイオナイザを設けることが記載されている。この構成によると、搬送ローラとの接触によって基板に生じた静電気を、イオナイザで発生されるイオンによって除電できる。
【０００６】
このような構成においては、基板の主面内の各位置に搬送ローラが接触してから（つまりは、静電気が発生してから）、該位置にイオンが供給されるまでの時間（イオン供給のタイムラグ）をどれだけ短くできるかが、重要になってくる。上記のとおり、静電気は、パーティクルの付着、配線パターンの破損、放電の発生、などを引き起し得るところ、イオン供給のタイムラグが短いほど、これらの事態が生じるリスクが低減されるからである。
【０００７】
本願は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送ローラが接触することによって生じる静電気を速やかに除電できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の態様は、基板搬送装置であって、基板に接触しつつ所定の回転軸線のまわりで回転することにより前記基板を搬送する搬送ローラと、前記基板の主面の法線方向から見て、前記搬送ローラにおける搬送方向の下流側の端部よりも前記回転軸線の側に配置された、イオンを発生するイオナイザと、を備える。
【０００９】
第２の態様は、第１の態様に係る基板搬送装置であって、前記回転軸線と同軸に配置されて、前記搬送ローラを支持するローラ軸と、前記ローラ軸に設けられて、前記イオナイザを支持するブラケットと、を備える。
【００１０】
第３の態様は、第２の態様に係る基板搬送装置であって、前記ブラケットにおける、前記ブラケットの重心に対して前記イオナイザの逆側に設けられた重り、を備え、前記ブラケットが、前記ローラ軸に回転可能に設けられ、前記重りの荷重によって前記イオナイザが鉛直上方に配置される。
（【００１１】以降は省略されています）

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