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公開番号2025074049
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-13
出願番号2024187387
出願日2024-10-24
発明の名称積層体、パターン形成方法、硬化物及び電子部品
出願人太陽ホールディングス株式会社
代理人個人,個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20250502BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】高反射率のソルダーレジスト膜を高解像度で形成可能な積層体を提供する。
【解決手段】400nm以上500nm以下の波長範囲における平均透過率が70%以下である第一のフィルムと、前記第一のフィルム上に配置され、白色顔料を含み、400nm以上500nm以下の波長範囲における平均反射率が50%以上である感光性樹脂層と、を備える積層体。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均透過率が７０％以下である第一のフィルムと、
前記第一のフィルム上に配置され、白色顔料を含み、４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均反射率が５０％以上である感光性樹脂層と、を備える積層体。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記第一のフィルムは、平均厚みが２０μｍ以上５０μｍ以下である請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記感光性樹脂層は、平均厚みが５μｍ以上１００μｍ以下である請求項１に記載の積層体。
【請求項４】
前記感光性樹脂層は、前記感光性樹脂層の全固形分に対する前記白色顔料の含有率が９質量％以上９５質量％以下である請求項１に記載の積層体。
【請求項５】
前記第一のフィルムは、３６０ｎｍにおける透過率に対する４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均透過率の比が０．９以上１．５以下である請求項１に記載の積層体。
【請求項６】
前記感光性樹脂層は、３６０ｎｍにおける反射率に対する４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均反射率の比が４．０以上である請求項１に記載の積層体。
【請求項７】
前記感光性樹脂層は、熱硬化性樹脂を更に含む請求項１に記載の積層体。
【請求項８】
前記感光性樹脂層の前記第一のフィルムとは反対側の面に配置される第二のフィルムを更に備える請求項１に記載の積層体。
【請求項９】
基板上に、請求項１から７のいずれか１項に記載の積層体を、前記感光性樹脂層を前記基板に対向させて貼合することと、
前記積層体の前記第一のフィルムを介して前記感光性樹脂層を露光することと、
前記第一のフィルムを除去し、前記基板上に前記感光性樹脂層の硬化物を含むパターンを形成することと、を含むパターン形成方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターン形成方法により形成されるパターンに含まれる硬化物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層体、パターン形成方法、硬化物及び電子部品に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
プリント配線板に発光ダイオード（以下、ＬＥＤと略称することがある）を実装した発光装置が知られている。実装されるＬＥＤの光を効率よく利用するために、プリント配線板に高反射率のソルダーレジストを形成する場合がある。ソルダーレジストの形成には高い精度が求められる場合がある。
【０００３】
上記に関連して、例えば、特許文献１には成形精度を向上させることができる感光性ドライフィルムが提案されている。また、特許文献２には、レジストの高解像度を達成できるドライフィルムフォトレジスト用フィルムが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－０７１９１４号公報
特開２００４－１０９４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
支持フィルム上に感光性樹脂層が形成されたドライフィルムを用いて、高反射率のソルダーレジストを形成する場合、感光性樹脂層の高反射率に起因して露光時の解像度が低下する場合があった。そこで本発明の一態様は、高反射率かつ高解像度の硬化物を形成可能な積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下の態様を包含する。
［１］４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均透過率が７０％以下である第一のフィルムと、
前記第一のフィルム上に配置され、白色顔料を含み、４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均反射率が５０％以上である感光性樹脂層と、を備える積層体。
【０００７】
［２］前記第一のフィルムは、平均厚みが２０μｍ以上５０μｍ以下である［１］に記載の積層体。
【０００８】
［３］前記感光性樹脂層は、平均厚みが５μｍ以上１００μｍ以下である［１］又は［２］に記載の積層体。
【０００９】
［４］前記感光性樹脂層は、前記感光性樹脂層の全固形分に対する前記白色顔料の含有率が９質量％以上９５質量％以下である［１］から［３］のいずれかに記載の積層体。
【００１０】
［５］前記第一のフィルムは、３６０ｎｍにおける透過率に対する４００ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長範囲における平均透過率の比が０．９以上１．５以下である［１］から［４］のいずれかに記載の積層体。
（【００１１】以降は省略されています）

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