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公開番号2025093251
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-23
出願番号2023208885
出願日2023-12-11
発明の名称気密容器、システム、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人近島国際特許事務所
主分類F16J 12/00 20060101AFI20250616BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】加圧される気密容器の内部の気密性を高める。
【解決手段】内部が加圧される気密容器は、開口を有するフレームと、前記開口を塞ぐように前記フレームに取り付けられる板部材と、を備える。前記板部材は、前記フレームに係合する端部を有する。前記端部は、前記板部材の端面を含む第1部と、前記第1部に連続し、かつ前記第1部に交差する第2部と、を有する。前記第1部及び前記第2部は、前記気密容器の内部の圧力により、互いに異なる方向から前記フレームに向けて押し付けられる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
内部が加圧される気密容器であって、
開口を有するフレームと、前記開口を塞ぐように前記フレームに取り付けられる板部材と、を備え、
前記板部材は、前記フレームに係合する端部を有し、
前記端部は、前記板部材の端面を含む第１部と、前記第１部に連続し、かつ前記第１部に交差する第２部と、を有し、
前記第１部及び前記第２部は、前記気密容器の内部の圧力により、互いに異なる方向から前記フレームに向けて押し付けられる、
ことを特徴とする気密容器。
続きを表示（約 860 文字）【請求項２】
前記板部材は、前記フレームの開口に対応する位置に配置される主部を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の気密容器。
【請求項３】
前記第２部は、前記主部に連続し、かつ前記主部に交差する、
ことを特徴とする請求項２に記載の気密容器。
【請求項４】
前記主部は、前記気密容器の外側に面する主面を有し、
前記第１部は、前記フレームの第１面に面する第１係合面を有し、
前記第２部は、前記フレームの前記第１面に交差する第２面に面する第２係合面を有する、
ことを特徴とする請求項２に記載の気密容器。
【請求項５】
前記第１係合面と前記第２係合面との境界において谷形状の底部が形成されるよう、前記第１係合面と前記第２係合面とが連続し、
前記第２係合面と前記主面との境界において山形状の頂部が形成されるよう、前記第２係合面と前記主面とが連続する、
ことを特徴とする請求項４に記載の気密容器。
【請求項６】
前記気密容器の内部は、１００Ｐａ以上２０００Ｐａ以下の圧力に加圧される、
ことを特徴とする請求項１に記載の気密容器。
【請求項７】
前記板部材の厚さは、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下である、
ことを特徴とする請求項１に記載の気密容器。
【請求項８】
前記板部材は、ステンレス鋼板、アルミニウム板、又は塗装鋼板である、
ことを特徴とする請求項１に記載の気密容器。
【請求項９】
前記フレームと前記第１部とは締結部材で固定されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の気密容器。
【請求項１０】
前記締結部材は、ボルトを含み、
前記第１部には、前記ボルトが挿通される貫通孔が形成されている、
ことを特徴とする請求項９に記載の気密容器。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、気密容器、システム、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置に関連する分野、及び平面型ディスプレイに関連する分野では、気密容器の内部で、基板の搬送や基板の処理が行われる。気密容器は、フレームと、フレームの開口を塞ぐ板部材とを有する。板部材は、システムのレイアウトやメンテナンスなどを考慮して、フレームの開口を開閉可能にフレームに装着される。気密容器の内部空間であるチャンバーの雰囲気を制御する技術として、フレームに板部材を外側からボルト等で締結する構造が知られている。
【０００３】
一方、特許文献１には、加工空間を開放する位置と加工空間を閉じる位置とに移動可能な移動カバーを備えた工作機械が開示されている。特許文献１には、移動カバーをアクチュエータにより固定カバーに弾性体を介して押し付けることにより、加工空間内のクーラントのミストが外部に飛散するのを低減することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１９９６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、気密容器の内部を加圧した際、板部材には、板部材とフレームと間に隙間が開く方向に力が加わるため、気密容器の内部の気密性が低下する虞がある。また、仮に気密容器に特許文献１に記載の構成を適用したとしても、移動カバーをアクチュエータで一方向に押し付ける構成では、気密容器の内部の気密性を確保することは困難である。
【０００６】
本開示は、加圧される気密容器の内部の気密性を高めるのに有利な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一態様は、内部が加圧される気密容器であって、開口を有するフレームと、前記開口を塞ぐように前記フレームに取り付けられる板部材と、を備え、前記板部材は、前記フレームに係合する端部を有し、前記端部は、前記板部材の端面を含む第１部と、前記第１部に連続し、かつ前記第１部に交差する第２部と、を有し、前記第１部及び前記第２部は、前記気密容器の内部の圧力により、互いに異なる方向から前記フレームに向けて押し付けられる、ことを特徴とする気密容器である。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、加圧される気密容器の内部の気密性を高めるのに有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態に係るシステムの一例である製造システムの説明図である。
（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態に係る気密容器の模式的な斜視図である。
（ａ）は第１実施形態に係る気密容器の斜視図である。（ｂ）は第１実施形態に係る気密容器の断面図である。
（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。
（ａ）は第１実施形態に係る気密容器の断面図である。（ｂ）は第１実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。
（ａ）は第２実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。（ｂ）は第３実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。（ｃ）は第４実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。
（ａ）は第５実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。（ｂ）及び（ｃ）は第５実施形態に係る板部材の取付構造の説明図である。
（ａ）は第６実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。（ｂ）は第７実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。（ｃ）は第８実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。
第９実施形態に係る気密容器の一部分の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の例示的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。以下の実施形態において、方向は直交座標系であるＸＹＺ座標系によって示される。ＸＹＺ座標系において、ＸＹ平面は水平面であり、Ｚ方向は上下方向であり、Ｚ軸のマイナス方向は鉛直方向（重力方向）である。
（【００１１】以降は省略されています）

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