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公開番号2025102560
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2023220089
出願日2023-12-26
発明の名称伸縮継手
出願人株式会社有恒商会
代理人個人
主分類F16L 27/12 20060101AFI20250701BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】製造環境の悪化を防止する。
【解決手段】半導体製造装置に使用される伸縮継手20は、壁面が蛇腹構造を有する略方形筒状をなし、軸方向に伸縮可能に形成されている。伸縮継手20は、例えば延伸ポリテトラフルオロエチレン(ePTFE)等から構成される。伸縮継手20は、シート状のePTFEを、例えば工業用ミシン等で縫製加工して製造される。そして、ePTFEから構成される伸縮継手20は、高温でも耐切断性及び耐摩擦性を失わず、非常に高い耐熱性及び耐薬品性を有しているため、その使用あるいは経年に伴う劣化に起因するアウトガスや粉塵等の不純物(物質)の発生を防止し、半導体の製造環境の悪化を防止できる。この結果、半導体の製造環境のクリーンレベルを高く保つことができ、半導体製造装置の機能が阻害されることを防止することができる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
延伸ポリテトラフルオロエチレン（Expanded Poly Tetra Fluoro Ethylene；ePTFE）から構成される伸縮継手。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
所定の機器の物質が通過する部分に使用される、
ことを特徴とする請求項１に記載の伸縮継手。
【請求項３】
半導体製造装置の物質が通過する部分に使用される、
ことを特徴とする請求項２に記載の伸縮継手。
【請求項４】
所定の機器の伸縮機構に覆設され、該伸縮機構を保護するための保護カバーとして使用される、
ことを特徴とする請求項１に記載の伸縮継手。
【請求項５】
シート状の延伸ポリテトラフルオロエチレンを、ポリテトラフルオロエチレン製の糸で縫製加工して製造される、
ことを特徴とする請求項１に記載の伸縮継手。
【請求項６】
前記糸の縫目は、シート状の延伸ポリテトラフルオロエチレンで目止めされている、
ことを特徴とする請求項５に記載の伸縮継手。
【請求項７】
壁面が蛇腹構造に形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の伸縮継手。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、伸縮継手に関し、特に、製造環境の悪化を防止できる伸縮継手に関する。
続きを表示（約 780 文字）【背景技術】
【０００２】
蛇腹状の伸縮継手として、ゴム製のものが一般的である（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１０－３３９３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようなゴム製の伸縮継手は、二酸化硫黄等の不純物のアウトガスや粉塵等が伸縮継手自体から自然発生してしまうため、部品レベルで非常に厳しいクリーンレベルが要求される半導体の製造環境が悪化してしまうといった課題がある。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、製造環境の悪化を防止できる伸縮継手を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明に係る伸縮継手は、延伸ポリテトラフルオロエチレン（Expanded Poly Tetra Fluoro Ethylene；ePTFE）から構成される。
【０００７】
上記の伸縮継手は、所定の機器の物質が通過する部分に使用される、ようにしてもよい。
【０００８】
上記の伸縮継手は、半導体製造装置の物質が通過する部分に使用される、ようにしてもよい。
【０００９】
上記の伸縮継手は、所定の機器の伸縮機構に覆設され、該伸縮機構を保護するための保護カバーとして使用される、ようにしてもよい。
【００１０】
上記の伸縮継手は、シート状の延伸ポリテトラフルオロエチレンを、ポリテトラフルオロエチレン製の糸で縫製加工して製造される、ようにしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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