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公開番号2025126537
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-29
出願番号2024022798
出願日2024-02-19
発明の名称移動装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類H02P 5/46 20060101AFI20250822BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】2つの変位部を同一の移動方向において移動させる場合に、移動方向における変位部の位置関係に応じた制御が必要な場合がある。
【解決手段】移動装置1は、第一変位部13を第一方向において移動させることができるように構成された第一リニアアクチュエータ11と、第二変位部23を第一方向において移動させることができるように構成された第二リニアアクチュエータ21と、第一変位部13及び第二変位部23に対してそれぞれ取り付けられている移動体本体61と、第一変位部13と移動体本体61との間に作用する力の大きさを検出可能に構成された力センサ71と、力センサ71の検出結果に基づいて、第一リニアアクチュエータ11及び第二リニアアクチュエータ21のうち少なくとも一方の動作を制御する制御部90とを備える。移動装置1により、簡素な構成により2つの変位部の同一方向における位置関係に応じた制御を行うことができる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第一変位部を第一方向において移動させることができるように構成された第一リニアアクチュエータと、
第二変位部を第一方向において移動させることができるように構成された第二リニアアクチュエータと、
前記第一変位部及び前記第二変位部に対してそれぞれ取り付けられ、前記第一リニアアクチュエータと前記第二リニアアクチュエータとに跨がって配置されており、前記第一リニアアクチュエータと前記第二リニアアクチュエータとが共に動作することにより第一方向において移動するように構成された移動体本体と、
前記第一変位部と前記移動体本体との間に配置され、前記第一変位部と前記移動体本体との間に作用する力の大きさを検出可能に構成された力センサと、
前記力センサの検出結果に基づいて、前記第一リニアアクチュエータ及び前記第二リニアアクチュエータのうち少なくとも一方の動作を制御する制御部とを備える、移動装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記力センサにより検出される前記第一変位部と前記移動体本体との間に作用する力の大きさが小さくなるように前記第一リニアアクチュエータ及び前記第二リニアアクチュエータのうち少なくとも一方を動作させる、請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記力センサの検出結果が所定の許容条件を満たすか否かを判断し、
前記許容条件が満たされないと判断した場合に、前記第一リニアアクチュエータ及び前記第二リニアアクチュエータのうち少なくとも一方を動作させることにより前記第一変位部と前記第二変位部との位置関係を変更する調整制御を行うように構成されている、請求項１に記載の移動装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記力センサによって検出した、前記第一変位部及び前記第二変位部が共に位置しうる平面に対して垂直な軸周りの力のモーメントの大きさと、圧縮方向の力の大きさとのそれぞれを用いて、前記許容条件を満たすか否かを判断する、請求項３に記載の移動装置。
【請求項５】
前記第一リニアアクチュエータを第一方向とは異なる第二方向において移動させることができるように構成された第三リニアアクチュエータと、
前記第二リニアアクチュエータを第二方向において移動させることができるように構成された第四リニアアクチュエータとを備え、
前記制御部は、さらに、前記力センサの検出結果に基づいて、前記第三リニアアクチュエータ及び前記第四リニアアクチュエータのうち少なくとも一方の動作を制御する、請求項１に記載の移動装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、２つの変位部に取り付けられた移動体本体を移動方向において移動させることができる移動装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
移動体を１軸方向に移動させるリニアアクチュエータを用いた移動装置が、様々な用途に用いられている。
【０００３】
このような移動装置には、例えば、複数のリニアガイド上に配置したステージ（移動体）を、リニアアクチュエータにより移動させるようにしたものがある。このような構成において、用途によっては、１つのリニアアクチュエータのみでは、駆動力が不足する場合がある。また、構成要素のレイアウト上の都合などで、アクチュエータが一方のリニアガイドに近くならざるを得ず、駆動側と従動側とのアンバランスが極端になる場合がある。このようなことが懸念される場合に、同一の移動方向に変位部をそれぞれ移動させるように２つのアクチュエータを配置して、両変位部にステージを取り付けて移動装置を構成する場合がある（例えば、下記特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－１２８７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のように、同一の移動方向に変位部をそれぞれ移動させるように２つのアクチュエータを配置した場合には、移動方向における互いの変位部の位置関係が重要となる。一例として、変位部をナットとするボールねじを用いたアクチュエータが用いられる場合において、２つのナットの移動方向における位置にずれが生じると、動作時の抵抗が大きくなり、必要な駆動力が大きくなったり装置の寿命が低減したりする。
【０００６】
なお、上記特許文献１には、ビームの直交度を、リニアモータに配置されたスケールを用いて移動量を測定して左右の移動量のずれを用いて演算し、直交度がある一定の範囲を逸脱した場合に、その範囲に入るように制御することが記載されている。しかしながら、スケールを用いた方法を用いることができない場面も考えられる。
【０００７】
本発明は、簡素な構成により２つの変位部の同一方向における位置関係に応じた制御を行うことができる移動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本第一の発明の移動装置は、第一変位部を第一方向において移動させることができるように構成された第一リニアアクチュエータと、第二変位部を第一方向において移動させることができるように構成された第二リニアアクチュエータと、第一変位部及び第二変位部に対してそれぞれ取り付けられ、第一リニアアクチュエータと第二リニアアクチュエータとに跨がって配置されており、第一リニアアクチュエータと第二リニアアクチュエータとが共に動作することにより第一方向において移動するように構成された移動体本体と、第一変位部と移動体本体との間に配置され、第一変位部と移動体本体との間に作用する力の大きさを検出可能に構成された力センサと、力センサの検出結果に基づいて、第一リニアアクチュエータ及び第二リニアアクチュエータのうち少なくとも一方の動作を制御する制御部とを備える、移動装置である。
【０００９】
かかる構成により、簡素な構成により第一変位部と第二変位部との第一方向における位置関係に応じた制御を行うことができる。
【００１０】
また、本第二の発明の移動装置は、第一の発明に対して、制御部は、力センサにより検出される第一変位部と移動体本体との間に作用する力の大きさが小さくなるように第一リニアアクチュエータ及び第二リニアアクチュエータのうち少なくとも一方を動作させる、移動装置である。
（【００１１】以降は省略されています）

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