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公開番号2025150060
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024050739
出願日2024-03-27
発明の名称フラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】所定位置に設置されたワークを取り出す際、及び所定位置までワークを搬送して設置する際に、当該ワークを保持する搬送ロボットの保持部がチャンバ内にある障害物(支持ピンや凸部)に衝突することを未然に防止することができるフラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置を提供することである。
【解決手段】フラットパネル製造システム1は、搬送ロボット20の保持部22を動作させて第1チャンバTCから第2チャンバPCに向かって進入させながら、当該保持部の先端部に保持されたセンサ装置30によって複数の保持部材22の下方向をセンシングするセンシング手段120と、そのセンシング状況に基づいて、複数の保持部材22のうち少なくともいずれかの保持部材22の下方向に障害物90が存在するか否かを判定する判定手段130と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを搬送する搬送ロボットと、当該搬送ロボットが配置されている第１チャンバと、当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバとを備え、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムであって、
複数の保持部材で前記ワークを保持可能なように構成された前記搬送ロボットの保持部の先端部に配置されるセンサ装置と、
前記搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、
前記ロボット制御手段によって前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記第１チャンバから前記第２チャンバに向かって進入させながら、前記センサ装置によって前記複数の保持部材の下方向をセンシングするセンシング手段と、
前記センシング手段によるセンシング状況に基づいて、前記複数の保持部材のうち少なくともいずれかの保持部材の下方向に障害物が存在するか否かを判定する判定手段と、を備える、
フラットパネル製造システム。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記搬送ロボットの保持部の先端部において、前記複数の保持部材それぞれの下方向をセンシング可能に取り付けられる取付機構を用いて前記センサ装置が配置される、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項３】
前記センサ装置は、前記搬送ロボットの保持部の先端部より当該搬送ロボットの進行方向に突出して配置される、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項４】
前記センサ装置は、複数のセンサで構成されるセンサユニットとして前記搬送ロボットの保持部の先端部に保持される、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項５】
フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムに用いられる搬送ロボットの動作を制御するロボット制御装置であって、
前記搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、
前記ロボット制御手段によって前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記搬送ロボットが配置されている第１チャンバから当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバに向かって進入させながら、前記搬送ロボットの保持部の先端部に配置されるセンサ装置によって当該保持部を構成する複数の保持部材の下方向をセンシングするセンシング手段と、
前記センシング手段によるセンシング状況に基づいて、前記複数の保持部材のうち少なくともいずれかの保持部材の下方向に障害物が存在するか否かを判定する判定手段と、を備える、
ロボット制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、産業界において、多くの産業用ロボットが普及している。例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）を含む大型のフラットパネル用のガラス基板に対して処理を行うための大型の製造システムがある。
【０００３】
このような大型の製造システムでは、ガラス基板などのワークに対して種々の処理を行うために、各処理に対応するプロセスチャンバが複数配置されている。さらに、搬送ロボット（搬送装置）がトランスファチャンバに配置されており、当該搬送ロボット（搬送装置）によって、各プロセスチャンバにおける所望の位置へワークが搬送される。
【０００４】
特許文献１では、搬送装置は、支持ピックの先端に光学センサを備えて、搬送室において当該支持ピックを上方移動させながら先端方向に光を照射することによって、搬送室とロードロック室との間の開口部の上端位置を特定している。また、ロードロック室において、支持ピックを上方移動／回転移動させながら先端方向／下方向に光を照射することによって、バッファ（溝）の上端位置／側壁位置を特定している。そして、特定された開口部の上端位置やバッファ（溝）の上端位置／側壁位置に基づいて、搬送装置の動作が補正される。このように、特許文献１では、搬送装置の動作位置に関する調整を自動的に行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－２２０５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、バッファ（溝）の上端位置／側壁位置を特定するために、ロードロック室において、支持ピックを上方移動／回転移動させながら先端方向／下方向に光を照射している。このため、支持ピックなどを含む搬送装置は、チャンバ内にある障害物（支持ピンや凸部）に衝突してしまう可能性がある。
【０００７】
また、このような搬送装置では、例えば、所定位置に設置されたワークを取り出す際、及び所定位置までワークを搬送して設置する際には、ワークを保持する保持部を上下させることになり、この時、保持部が障害物（支持ピンや凸部）に衝突してしまうおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明は、所定位置に設置されたワークを取り出す際、及び所定位置までワークを搬送して設置する際に、当該ワークを保持する搬送ロボットの保持部がチャンバ内にある障害物（支持ピンや凸部）に衝突することを未然に防止することができるフラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係るフラットパネル製造システムは、ワークを搬送する搬送ロボットと、当該搬送ロボットが配置されている第１チャンバと、当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバとを備え、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムであって、複数の保持部材でワークを保持可能なように構成された搬送ロボットの保持部の先端部に配置されるセンサ装置と、搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、ロボット制御手段によって搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバから第２チャンバに向かって進入させながら、センサ装置によって複数の保持部材の下方向をセンシングするセンシング手段と、センシング手段によるセンシング状況に基づいて、複数の保持部材のうち少なくともいずれかの保持部材の下方向に障害物が存在するか否かを判定する判定手段と、を備える。
【００１０】
この態様によれば、センサ装置は、搬送ロボットの保持部の先端部に配置され、センシング手段は、搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバから第２チャンバに向かって進入させながら、センサ装置によって複数の保持部材の下方向をセンシングする。そして、判定手段は、センシング状況に基づいて、複数の保持部材のうち少なくともいずれかの保持部材の下方向に障害物が存在するか否かを判定する。これにより、実際に、チャンバ内において、所定位置に設置されたワークを取り出すように、及び所定位置までワークを搬送して設置するように搬送ロボットを動作させる前に、複数の保持部材の下方向に障害物が配置されていることを把握することができる。その結果、所定位置に設置されたワークを取り出す際、及び所定位置までワークを搬送して設置する際に、当該ワークを保持する搬送ロボットの保持部がチャンバ内にある障害物（支持ピンや凸部）に衝突することを未然に防止することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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