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公開番号2025150129
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024050849
出願日2024-03-27
発明の名称フラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送ロボットがチャンバに向かって進入する進入角度を適切に把握することができるフラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置を提供することである。
【解決手段】フラットパネル製造システム1は、ロボット制御手段110によって搬送ロボット20の保持部22を動作させて第1チャンバTCから第2チャンバPCに向かって進入させながら、センサ装置30によって当該第2チャンバPC内部の目印をセンシングするセンシング手段120と、センシング手段120によってセンシングされることにより検知された少なくとも2つの目印の位置を算出する目印位置算出手段130と、少なくとも2つの目印の位置に基づいて、搬送ロボット20が第2チャンバPCに進入する進入角度を算出する進入角度算出手段140と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを搬送する搬送ロボットと、当該搬送ロボットが配置されている第１チャンバと、当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバとを備え、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムであって、
前記ワークを保持する前記搬送ロボットの保持部の先端部に配置されるセンサ装置と、
前記搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、
前記ロボット制御手段によって前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記第１チャンバから前記第２チャンバに向かって進入させながら、前記センサ装置によって当該第２チャンバ内部の目印をセンシングするセンシング手段と、
前記センシング手段によってセンシングされることにより検知された少なくとも２つの目印の位置を算出する目印位置算出手段と、
前記少なくとも２つの目印の位置に基づいて、前記搬送ロボットが前記第２チャンバに進入する進入角度を算出する進入角度算出手段と、を備える、
フラットパネル製造システム。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記搬送ロボットの保持部の先端部において、前記搬送ロボットの保持部の進行方向であって、かつ前記第２チャンバ内部の下側方向をセンシング可能に取り付けられる取付機構を用いて前記センサ装置が配置される、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項３】
前記少なくとも２つの目印は、前記ワークを載置する載置台の一部として前記第２チャンバ内部に設けられた部材である、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項４】
前記少なくとも２つの目印は、前記第２チャンバの開口部に対して平行又は直交する位置に設けられている、
請求項３に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項５】
前記センサ装置は、前記搬送ロボットの保持部の進行方向であって、かつ前記第２チャンバ内部の下側方向を、当該進行方向に直交する方向に所定範囲だけセンシング可能な２次元センサを含む、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項６】
前記進入角度算出手段によって算出された進入角度に基づいて、前記第２チャンバ内において前記搬送ロボットが到達する目標位置を推定する目標位置推定手段を、さらに備える、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項７】
フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムに用いられる搬送ロボットの動作を制御するロボット制御装置であって、
前記搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、
前記ロボット制御手段によって前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記搬送ロボットが配置されている第１チャンバから当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバに向かって進入させながら、前記搬送ロボットの保持部の先端部に配置されるセンサ装置によって当該第２チャンバ内部の目印をセンシングするセンシング手段と、
前記センシング手段によってセンシングされることにより検知された少なくとも２つの目印の位置を算出する目印位置算出手段と、
前記少なくとも２つの目印の位置に基づいて、前記搬送ロボットが前記第２チャンバに進入する進入角度を算出する進入角度算出手段と、を備える、
ロボット制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、産業界において、多くの産業用ロボットが普及している。例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）を含む大型のフラットパネル用のガラス基板に対して処理を行うための大型の製造システムがある。
【０００３】
このような大型の製造システムでは、ガラス基板などのワークに対して種々の処理を行うために、各処理に対応するプロセスチャンバが複数配置されている。さらに、搬送ロボット（搬送装置）がトランスファチャンバに配置されており、当該搬送ロボット（搬送装置）によって、各プロセスチャンバにおける所望の位置へワークが搬送される。
【０００４】
特許文献１では、搬送装置は、支持ピックの先端に光学センサを備えて、搬送室において当該支持ピックを上方移動させながら先端方向に光を照射することによって、搬送室とロードロック室との間の開口部の上端位置を特定している。また、ロードロック室において、支持ピックを上方移動／回転移動させながら先端方向／下方向に光を照射することによって、バッファ（溝）の上端位置／側壁位置を特定している。そして、特定された開口部の上端位置やバッファ（溝）の上端位置／側壁位置に基づいて、搬送装置の動作が補正される。このように、特許文献１では、搬送装置の動作位置に関する調整を自動的に行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－２２０５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、そもそもトランスファチャンバとプロセスチャンバとが真っ直ぐに高精度に設置されていない可能性がある。例えば、プロセスチャンバがトランスファチャンバに対して傾いて設置されていた場合、トランスファチャンバに配置されている搬送装置がプロセスチャンバに向かって進入したとしても、当該プロセスチャンバ内部を傾いて進行することになる。
【０００７】
そこで、本発明は、搬送ロボットがチャンバに向かって進入する進入角度を適切に把握することができるフラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係るフラットパネル製造システムは、ワークを搬送する搬送ロボットと、当該搬送ロボットが配置されている第１チャンバと、当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバとを備え、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムであって、ワークを保持する搬送ロボットの保持部の先端部に配置されるセンサ装置と、搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、ロボット制御手段によって搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバから第２チャンバに向かって進入させながら、センサ装置によって当該第２チャンバ内部の目印をセンシングするセンシング手段と、センシング手段によってセンシングされることにより検知された少なくとも２つの目印の位置を算出する目印位置算出手段と、少なくとも２つの目印の位置に基づいて、搬送ロボットが第２チャンバに進入する進入角度を算出する進入角度算出手段と、を備える。
【０００９】
この態様によれば、センサ装置は、搬送ロボットの保持部の先端部に配置され、センシング手段は、搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバから第２チャンバに向かって進入させながら、センサ装置によって当該第２チャンバ内部の目印をセンシングする。そして、進入角度算出手段は、目印位置算出手段によって算出された少なくとも２つの目印の位置に基づいて進入角度を算出する。これにより、ワークを保持する保持部が第２チャンバに向かって進入する進入角度を適切に把握することができる。
【００１０】
上記態様において、搬送ロボットの保持部の先端部において、搬送ロボットの保持部の進行方向であって、かつ第２チャンバ内部の下側方向をセンシング可能に取り付けられる取付機構を用いてセンサ装置が配置されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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